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本实用新型公开了一种用于三自由度调节平台的全路径精度校准装置，包括：检测平台，以及设置于检测平台上的相机系统、光源系统、移动平台和激光干涉仪；所述移动平台包括移动平台组件以及辅助固定组件，移动平台组件包括直线模组、工作台和待校准平台，工作台...
该专利属于成都新西旺自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都新西旺自动化科技有限公司授权不得商用。

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