一种防震且易于清洗的晶圆盒制造技术

本发明专利技术涉及集成电路生产设备技术领域，且公开了一种防震且易于清洗的晶圆盒，包括盒体，所述盒体的两侧内壁设有压力腔，所述压力腔的内侧面为可伸缩的固定囊。该防震且易于清洗的晶圆盒，通过固定囊的鼓出，将清理部位露出，同时通过气压控制固定囊间隔鼓出，也便于清理工具的探入，使得晶圆盒的清洗效果更好，内部的清洁度更好，满足清洁度要求日益严格的工艺需求，在压力腔内负压时固定囊凹陷缩入，形成了较大的插槽，便于晶圆的插入，晶圆插入后增加压力腔内气压，使限位块夹紧晶圆，一方面，晶圆盒可以适应更多厚度的晶圆，另一方面，将晶圆夹持固定，使其受力更加均匀，减少其晃动，利于晶圆的保护。

A shock proof and easy to clean crystal box

【技术实现步骤摘要】
一种防震且易于清洗的晶圆盒
本专利技术涉及集成电路生产设备
，具体为一种防震且易于清洗的晶圆盒。
技术介绍
集成电路制作过程需要经过多种工艺，需要在多个区域内流转，而随着制作工艺的微缩，对晶圆的洁净度和表面完整的要求越来越高，现有的晶圆盒通常采取中空结构，期内配置多个插槽，将多片晶圆分割固定，同时通过盒盖对晶圆进行限位。为了保证晶圆的洁净，晶圆盒需要定时清理，由于晶圆和越来越薄，对应的插槽越比较窄，插槽比较容易容留颗粒物，需要定期清理，由于插槽比较窄小，需要浸泡、冲淋、干燥等多个步骤，较为繁琐且难以保证晶圆盒缝隙的清洁度，清洁度可能难以满足日益微缩的集成电路制作工艺。进一步地，由于晶圆的尺寸在变大变薄，为了便于晶圆放入晶圆盒，晶圆盒的两侧插槽宽度通常大于晶圆厚度，在通过晶圆盒该上的限位槽对晶圆进行固定限位，因此晶圆在盒内的受力可以晃动的且受力并不均匀，当震动或冲击力较大时，可能会使晶圆受到较大的伤害，而随着单片晶圆的成本的提高，晶圆的损坏日益不可接受。
技术实现思路
针对上述
技术介绍
的不足，本专利技术提供了一种防震且易于清洗的晶圆盒的技术方案，具有保护效果好易清理的优点，解决了
技术介绍
提出的问题。本专利技术提供如下技术方案：一种防震且易于清洗的晶圆盒，包括盒体，所述盒体的两侧内壁设有压力腔，所述压力腔的内侧面为可伸缩的固定囊，所述固定囊和压力腔构成一个封闭的腔体，所述固定囊远离压力腔的一面设有用于夹紧晶圆的限位块，所述压力腔连通连通腔，所述连通腔连接外部气压控制装置。优选的，所述固定囊在未伸缩的状态下为半圆柱形。优选的，所述限位块为对称设在固定囊的三棱柱。优选的，相邻的两个所述压力腔可设置为不同的气压。优选的，所述连通腔内部设有两个的腔室，所述连通腔的两个腔室分别连通两个相邻的压力腔。优选的，所述连通腔的两个腔室通过阀门控制是否连通。优选的，所述压力腔的内部设有气压传感器。本专利技术具备以下有益效果：1、该防震且易于清洗的晶圆盒，通过固定囊的鼓出，将清理部位露出，且鼓起扩大了表面积进一步便于清洗，同时，通过气压控制固定囊间隔鼓出，也便于清理工具的探入，更进一步方便清理，使得晶圆盒的清洗效果更好，内部的清洁度更好，满足清洁度要求日益严格的工艺需求。2、该防震且易于清洗的晶圆盒，在压力腔内负压时固定囊凹陷缩入，形成了较大的插槽，便于晶圆的插入，晶圆插入后增加压力腔内气压，使限位块夹紧晶圆，一方面，晶圆盒可以适应更多厚度的晶圆，减少晶圆盒的插槽厚度规格数，降低生产和管理成本，另一方面，将晶圆夹持固定，使其受力更加均匀，减少其晃动，利于晶圆的保护，同时，通过监测压力腔内气压即可监控晶圆的存放状态(晶圆碎裂时，固定囊鼓出，压力腔内气压降低)及时发现问题，避免损失扩大。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术放置晶圆时的结构示意图；图3为本专利技术清洗时的结构示意图；图4为本专利技术局部立体结构示意图。图中：1、盒体；2、固定囊；3、限位块；4、压力腔；5、连通腔；6、晶圆。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-4，一种防震且易于清洗的晶圆盒，包括盒体1，盒体1的两侧内壁设有压力腔4，压力腔4的内侧面为可伸缩的固定囊2，固定囊2和压力腔4构成一个封闭的腔体，随着压力腔4内的气压变化，固定囊2鼓起涨出或收缩凹陷，固定囊2远离压力腔4的一面设有用于夹紧晶圆6的限位块3，压力腔4连通连通腔5，连通腔5连接外部气压控制装置。其中，固定囊2在未伸缩的状态下为半圆柱形，减少固定囊2的伸缩量，提高固定囊2的使用寿命。其中，限位块3为对称设在固定囊2的三棱柱，两个三棱柱以晶圆6放置位置对称，在压力腔4内气压的作用下，分别从两侧夹紧晶圆6。其中，相邻的两个压力腔4可设置为不同的气压，在清洗时，轮流鼓起相邻的固定囊2，进一步拓展清理空间，便于清理。其中，连通腔5内部设有两个的腔室，分别位于上部和下部，连通腔5的两个腔室分别连通两个相邻的压力腔4，上腔室连通从后往前数单数压力腔4，下腔室连通双数压力腔4，通过上下腔室依次控制相邻的两个压力腔4内的气压，进而控制相邻的两个固定囊2的状态。其中，连通腔5的两个腔室通过阀门控制是否连通，需要统一控制充气时将其阀门打开，使连通腔5的上下腔室连通，当清理时关闭连通，依次控制相邻的两个压力腔4的气压。其中，压力腔4的内部设有气压传感器，通过传感器的变化判断晶圆盒内的晶圆6状态，及时发现问题，避免损失扩大，气压传感器的使用为公知常识，不做展开。本专利技术的工作原理及使用流程：存放晶圆6，使用外部气压装置抽出连通腔5和压力腔4内气体，在负压的作用下，固定囊2缩入压力腔4内，形成宽度较大插槽，依次在插槽内插入晶圆6，在缓慢通过连通腔5向压力腔4内注入气体，随着压力腔4内气压升高，固定囊2慢慢鼓起，但由于晶圆6的作用，固定囊2两侧鼓起，使限位块3夹紧晶圆6，通过监控压力腔4内气压监控夹紧力度，避免过大将晶圆6损坏，取出时，抽出气体完成取晶圆6。晶圆盒清洗，晶圆6取出后，关闭连通腔5内部阀门，使两个腔室不连通，先使用外部气压控制装置增加上腔室压力，同时使下腔室负压，进而相邻的固定囊2一个鼓起一个缩回，使用清理装置对鼓出的固定囊2进行清洗，清洗完毕改变压力状态，清洗另一组的固定囊2，直至完全清洗完毕。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防震且易于清洗的晶圆盒，包括盒体(1)，其特征在于：所述盒体(1)的两侧内壁设有压力腔(4)，所述压力腔(4)的内侧面为可伸缩的固定囊(2)，所述固定囊(2)和压力腔(4)构成一个封闭的腔体，所述固定囊(2)远离压力腔(4)的一面设有用于夹紧晶圆的限位块(3)，所述压力腔(4)连通连通腔(5)，所述连通腔(5)连接外部气压控制装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种防震且易于清洗的晶圆盒，包括盒体(1)，其特征在于：所述盒体(1)的两侧内壁设有压力腔(4)，所述压力腔(4)的内侧面为可伸缩的固定囊(2)，所述固定囊(2)和压力腔(4)构成一个封闭的腔体，所述固定囊(2)远离压力腔(4)的一面设有用于夹紧晶圆的限位块(3)，所述压力腔(4)连通连通腔(5)，所述连通腔(5)连接外部气压控制装置。


2.根据权利要求1所述的一种防震且易于清洗的晶圆盒，其特征在于：所述固定囊(2)在未伸缩的状态下为半圆柱形。


3.根据权利要求2所述的一种防震且易于清洗的晶圆盒，其特征在于：所述限位块(3)为对称设在固定囊...

【专利技术属性】
技术研发人员：王尧，
申请(专利权)人：王尧，
类型：发明
国别省市：安徽;34