温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及集成电路生产设备技术领域，且公开了一种防震且易于清洗的晶圆盒，包括盒体，所述盒体的两侧内壁设有压力腔，所述压力腔的内侧面为可伸缩的固定囊。该防震且易于清洗的晶圆盒，通过固定囊的鼓出，将清理部位露出，同时通过气压控制固定囊间隔鼓出，...
该专利属于王尧所有，仅供学习研究参考，未经过王尧授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。