【技术实现步骤摘要】
晶圆级光学结构及其形成的方法
本专利技术大致上关于一种晶圆级光学结构，以及形成晶圆级光学结构的方法。特别地，本专利技术针对一种没有溢流问题或是没有溢胶问题的晶圆级的光学结构，克服了现有技术中存在的一些问题。本专利技术还针对一种在不会发生溢流的问题或是不会发生溢胶的问题的情况下，形成晶圆级光学结构的方法，以克服现有技术中存在的一些问题。
技术介绍
除了需要独立地组装大量的个别组件来制造光学透镜组之外，也有可能借助于传统的半导体制造程序，在光学玻璃的晶圆上同时制造出大面积的光学透镜组。这种顶级的技术即称为“晶圆级的光学透镜组”。例如，这种的光学透镜组可以应用在3D传感器中。晶圆级的制造，与多个微光学组件的整合，形成了一种有前景的替代解决方案。在此方案中，会将CMOS的影像传感器、已模塑到玻璃芯片上的多枚聚合物透镜、将多枚聚合物透镜分隔开来的多个间隔片、以及覆盖层组装在一起。当间隔片附着到透镜层上而固定在透镜层上时，通常需要有粘合剂的帮助，以将间隔片牢牢地固定在透镜层上。为此目的，通常是使用柔软的、如液体般的粘合剂...
【技术保护点】
1.一种晶圆级光学结构，包括：/n光学上透明的晶圆；/n设置在所述光学上透明的晶圆上的至少两个光学透镜组，其中所述至少两个光学透镜组中的每一者，都包括与一残留层整合成一体的透镜；/n位在所述光学上透明的晶圆上的至少一条沟槽，其中所述至少一条沟槽位在两个相邻的所述至少两个光学透镜组之间，以分隔相邻的所述至少两个光学透镜组；/n设置在所述光学上透明的晶圆上的至少一间隔片，其中所述至少一枚间隔片设置在相邻的所述至少两个光学透镜组之间，以对应地部分位在所述至少一条沟槽中的一条中；以及/n位在所述至少一条沟槽中的一条内的粘合剂，并与所述至少一枚间隔片中的一枚直接接触。/n
【技术特征摘要】
20181024 US 16/170,0211.一种晶圆级光学结构，包括：
光学上透明的晶圆；
设置在所述光学上透明的晶圆上的至少两个光学透镜组，其中所述至少两个光学透镜组中的每一者，都包括与一残留层整合成一体的透镜；
位在所述光学上透明的晶圆上的至少一条沟槽，其中所述至少一条沟槽位在两个相邻的所述至少两个光学透镜组之间，以分隔相邻的所述至少两个光学透镜组；
设置在所述光学上透明的晶圆上的至少一间隔片，其中所述至少一枚间隔片设置在相邻的所述至少两个光学透镜组之间，以对应地部分位在所述至少一条沟槽中的一条中；以及
位在所述至少一条沟槽中的一条内的粘合剂，并与所述至少一枚间隔片中的一枚直接接触。
2.根据权利要求1所述的晶圆级光学结构，其中所述至少两个光学透镜组中的每一者，都还进一步包括一延伸肩部，并且所述延伸肩部不与相邻的所述至少一枚间隔片接触。
3.根据权利要求2所述的晶圆级光学结构，其中相邻的所述延伸肩部中的两者，界定所述至少一条沟槽中的一条。
4.根据权利要求2所述的晶圆级光学结构，其中所述粘合剂与所述延伸肩部直接接触。
5.根据权利要求1所述的晶圆级光学结构，其中所述粘合剂与所述光学上透明的晶圆直接接触。
6.根据权利要求1所述的晶圆级光学结构，进一步包括：
多个所述沟槽，且所述多个沟槽具有可变的宽度。
7.根据权利要求1所述的晶圆级光学结构，进一步包括：
光学上透明的基板，设置在所述至少一枚间隔片上。
8.根据权利要求7所述的晶圆级光学结构，其中在借助于所述粘合剂，将所述光学上透明的基板接合到所述至少一枚间隔片上。
9.根据权利要求7所述的晶圆级光学结构，进一步包括：
至少两个成像光学透镜组，其设置在所述光学上透明的基板上，并分别对应于所述至少两个光学透镜组。
10.根据权利要求1所述的晶圆级光学结构，进一步包括：
至少两个底部光学透镜组，其设置在所述光学上透明的晶圆上、位于所述至少两个光学透镜组的下方、并分别对应于所述至少两个光学透镜组。
11.一种形成晶圆级光学结构的方法，包括：
提供光学上透明的晶圆，其具有设置在所述光学上透明的晶圆上的一层残留层，并且具有设置在所述残留层上的至少两枚透镜，其中所述至少两枚透镜中的每一者，都分别与所述残留层整合成一体；
部分地移除位在两个相邻的所述至少两个透镜之间的所述残留层，以形成至少一条沟槽，并一起形成至少两个光学透镜组，其中所述至少两个光学透镜组中的每一者，都包括与所述残留层整合成一体的所述透镜；
将...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志圣，黄腾德，许书豪，詹竣宇，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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