一种防溅回收组件制造技术

本发明专利技术公开了一种防溅回收组件，该半导体清洗设备包括多个升降机构，每个所述升降机构的升降端设置有多个回收环，每个所述回收环的上方对应设置有防溅板，相邻的防溅板之间形成引流槽道；和控制器，所述控制器接收清洗指令并控制对应的所述升降机构的升降以使对应的防溅板与清洗盘持平。采用本发明专利技术的防溅回收组件时，控制器接收清洗指令，并控制对应的升降机构调整对应的防溅板与清洗盘持平，并将清洗液回收到对应的回收环中。由于采用本发明专利技术的防溅回收组件能够根据不同的清洗液选择对应的防溅板以及回收环，因此，能够有效的防止交叉污染。

A kind of anti splashing recovery component

【技术实现步骤摘要】
一种防溅回收组件
本专利技术涉及半导体加工
，更具体地说，涉及一种防溅回收组件。
技术介绍
为了有效地清除单晶圆表面结构的残余物、微尘、脏污需要对单晶圆表面进行清洗。目前，通过采用半导体清洗设备对单晶圆进行清洗，在清洗单晶圆时，将单晶圆置于半导体清洗设备的腔体中，快速旋转单晶圆并通过气体喷流的方式清洗单晶圆上下两面，然而气体喷流时会有如酸、碱、有机溶液等构成的清洗液或是夹带脏污的残液透过旋转机制的剪切力溅射于半导体清洗设备腔体内部，并无法预期溅射的相对位置区域。因此，清洗单晶圆时容易造成交叉污染。因此，如何减少单晶圆清洗时交叉污染，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术所要解决的技术问题是如何减少单晶圆清洗时交叉污染，为此，本专利技术提供了一种防溅回收组件。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种防溅回收组件，包括：多个升降机构，每个所述升降机构的升降端设置有多个回收环，每个所述回收环的上方对应设置有防溅板，相邻的防溅板之间形成引流槽道；控制器，所述控制器接收清洗指令并控制对应的所述升降机构的升降以使对应的防溅板与清洗盘持平。本专利技术其中一个实施例中，所述升降机构包括第一升降机构和第二升降机构。本专利技术其中一个实施例中，所述第一升降机构的升降端设置有第一回收环、第二回收环和第三回收环，其中，所述第三回收环固定在所述第一升降机构的升降端，所述第二回收环位于所述第三回收环的回收腔体中，所述第一回收环固定在所述第三回收环上。本专利技术其中一个实施例中，所述第一回收环包括：第一回收板、防溅罩和第一防溅板，其中，所述第一回收板用于固定在所述第三回收环上，所述防溅罩自所述第一回收板向靠近所述清洗盘的方向延伸，所述第一防溅板自所述第一回收板或所述防溅罩向靠近所述清洗盘的方向延伸。本专利技术其中一个实施例中，所述第一防溅板的表面设置有第一隔离环圈。本专利技术其中一个实施例中，所述第三回收环包括提耳、第三外层回收板、第三内层回收板和第三防溅板，其中，所述提耳与所述第一升降机构的升降端固定；所述第三外层回收板自所述提耳沿轴向向下延伸，所述第三内层回收板自所述第三外层回收板沿轴向向上延伸，并与所述第三外层回收板之间形成回收腔体，所述第三防溅板自所述第三内层回收板向靠近所述清洗盘的方向延伸。本专利技术其中一个实施例中，所述第二回收环包括第二回收板和第二防溅板，其中，所述第二回收板上设置有第一导向孔，所述第一导向孔沿轴向延伸，所述第三内层回收板穿过所述第一导向孔，并能够在所述第一导向孔内沿轴向滑动；所述第二防溅板自所述第二回收板向所述清洗盘的方向延伸；且所述第二防溅板与所述第一防溅板之间形成第一引流槽道，所述第二防溅板与所述第三防溅板之间形成第二引流槽道。本专利技术其中一个实施例中，所述第二防溅板的表面设置有第二隔离环圈。本专利技术其中一个实施例中，所述第二防溅板的内部嵌设有第一喷液导管，所述第二防溅板的上表面设置有与所述第一喷液导管连通的第一喷嘴。本专利技术其中一个实施例中，所述第三防溅板的表面设置有第三隔离环圈。本专利技术其中一个实施例中，所述第三防溅板的内部嵌设有第二喷液导管，所述第三防溅板的上表面设置有与所述第二喷液导管连通的第二喷嘴。本专利技术其中一个实施例中，所述第二升降机构的升降端设置有外罩、第四回收环、第五回收环和第六回收环，其中，所述外罩固定在所述第二升降机构的升降端，所述第四回收环和第五回收环固定在所述外罩上，所述第六回收环设置在所述第五回收环上。本专利技术其中一个实施例中，所述第四回收环包括第四内层回收板、第四外层回收板、第四防溅板和第五防溅板，所述第四防溅板自所述第四外层回收板向所述清洗盘的方向延伸，第五防溅板自所述第四内层回收板向所述清洗盘的方向延伸，所述第四防溅板与所述第三防溅板之间形成第三引流槽道，所述第四防溅板与所述第五防溅板之间形成第四引流槽道，所述第四内层回收板与所述第四外层回收板之间形成回收腔体；所述第五回收环包括自所述第四内层回收板向轴向延伸的第五回收板，所述第五回收板与所述第四内层回收板之间形成回收腔体。本专利技术其中一个实施例中，所述第四防溅板的表面设置有第四隔离环圈；所述第五防溅板的表面设置有第五隔离环圈。本专利技术其中一个实施例中，所述第四防溅板的内部嵌设有第三喷液导管，所述第三防溅板的上表面设置有与所述第三喷液导管连通的第三喷嘴；所述第五防溅板的内部嵌设有第四喷液导管，所述第五防溅板的上表面设置有与所述第四喷液导管连通的第四喷嘴。本专利技术其中一个实施例中，所述第六回收环包括第六外层回收板和第六内层回收板，所述第六内层回收板固定在所述第五回收板上，且所述第六外层回收板与所述第六内层回收板之间形成回收腔体。本专利技术其中一个实施例中，还包括设置在底部的第七回收环，所述第七回收环包括第七外层回收板和第七内层回收板，所述第七外层回收板套设在所述第六外层回收板上，且所述第七内层回收板自所述第七外层回收板沿径向延伸，所述第一内层回收板的端面形成回收腔体。从上述的技术方案可以看出，采用本专利技术的防溅回收组件时，控制器接收清洗指令，并控制对应的升降机构调整对应的防溅板与清洗盘持平，并将清洗液回收到对应的回收环中。由于采用本专利技术的防溅回收组件能够根据不同的清洗液选择对应的防溅板以及回收环，因此，能够有效的防止交叉污染。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术所提供的一种防溅回收组件的主视结构示意图；图2为本专利技术所提供的一种防溅回收组件的立体结构示意图；图3为本专利技术所提供的一种防溅回收组件的立体结构示意图；图4为本专利技术所提供的一种防溅回收组件的剖视结构示意图；图5和图6为本专利技术所提供的一种防溅回收组件的两种状态下的剖视结构示意图。图中，100为升降机构、200为回收环、201为第一回收环、202为第二回收环、203为第三回收环、204为第四回收环、205为第五回收环、206为第六回收环、207为第七回收环、2011为第一回收板、2012为防溅罩、2013为第一防溅板、2014为第一隔离环圈、2021为第二回收板、2022为第二防溅板、2023为第二隔离环圈、2024为第一喷液导管、2031为提耳、2032为第三外层回收板、2033为第三内层回收板、2034为第三防溅板、2035为第三隔离环圈、2036为第二喷液导管、2041为第四外层回收板、2042为第四外层回收板、2043为第五防溅板、2044为第五防溅板、2045为第四隔离环圈、2046为第五隔离环圈、2051为第五回收板、2061为第六外层回收板、2062为第六内层回收板。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防溅回收组件，其特征在于，包括：/n多个升降机构，每个所述升降机构的升降端设置有多个回收环，每个所述回收环的上方对应设置有防溅板，相邻的防溅板之间形成引流槽道；/n控制器，所述控制器接收清洗指令并控制对应的所述升降机构的升降以使对应的防溅板与清洗盘持平。/n

【技术特征摘要】
1.一种防溅回收组件，其特征在于，包括：
多个升降机构，每个所述升降机构的升降端设置有多个回收环，每个所述回收环的上方对应设置有防溅板，相邻的防溅板之间形成引流槽道；
控制器，所述控制器接收清洗指令并控制对应的所述升降机构的升降以使对应的防溅板与清洗盘持平。


2.如权利要求1所述的防溅回收组件，其特征在于，所述升降机构包括第一升降机构和第二升降机构。


3.如权利要求2所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第一升降机构的升降端设置有第一回收环、第二回收环和第三回收环，其中，所述第三回收环固定在所述第一升降机构的升降端，所述第二回收环位于所述第三回收环的回收腔体中，所述第一回收环固定在所述第三回收环上。


4.如权利要求3所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第一回收环包括：第一回收板、防溅罩和第一防溅板，其中，所述第一回收板用于固定在所述第三回收环上，所述防溅罩自所述第一回收板向靠近所述清洗盘的方向延伸，所述第一防溅板自所述第一回收板或所述防溅罩向靠近所述清洗盘的方向延伸。


5.如权利要求4所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第一防溅板的表面设置有第一隔离环圈。


6.如权利要求4所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第三回收环包括提耳、第三外层回收板、第三内层回收板和第三防溅板，其中，所述提耳与所述第一升降机构的升降端固定；所述第三外层回收板自所述提耳沿轴向向下延伸，所述第三内层回收板自所述第三外层回收板沿轴向向上延伸，并与所述第三外层回收板之间形成回收腔体，所述第三防溅板自所述第三内层回收板向靠近所述清洗盘的方向延伸。


7.如权利要求6所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第二回收环包括第二回收板和第二防溅板，其中，所述第二回收板上设置有第一导向孔，所述第一导向孔沿轴向延伸，所述第三内层回收板穿过所述第一导向孔，并能够在所述第一导向孔内沿轴向滑动；
所述第二防溅板自所述第二回收板向所述清洗盘的方向延伸；且所述第二防溅板与所述第一防溅板之间形成第一引流槽道，所述第二防溅板与所述第三防溅板之间形成第二引流槽道。


8.如权利要求7所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第二防溅板的表面设置有第二隔离环圈。


9.如权利要求8所述的防溅回收组件，其特征在于，所述第二防溅板的内部嵌设有第一喷液导管，所述第二防溅板的上表...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31