真空干燥装置制造方法及图纸

本申请提供一种真空干燥装置，包括真空腔室及承载部，真空腔室的室门设置在真空腔室的侧部，真空腔室的室门上开设有基板输送窗口，承载部位于真空腔室内部，承载部包括多个承载台，用于承载待干燥的基板。真空干燥装置在真空腔室的室门上设置了基板输送窗口，通过较小面积的基板输送窗口传输基板，有效减少了外部空气向腔室内部引入，避免了量子点材料的发光性能被进入的水氧破坏，有利于后续的抽真空过程顺利进行，保证多次实验结果的重复性及可靠性。

Vacuum drying device

【技术实现步骤摘要】
真空干燥装置
本申请属于干燥设备
，具体涉及一种真空干燥装置。
技术介绍
量子点由于具有激发波谱宽、发射波长易于调节、色纯度高、发光效率高等优良性能，在发光器件领域具有广泛的应用前景。量子点往往分散在溶液中形成量子点墨水，然后通过喷墨打印、喷涂、旋涂、刮涂、移印、转印等方式沉积在基板上，再利用真空干燥设备进行抽真空除溶剂后形成量子点发光膜。但是，现有用于干燥量子点发光器件的真空干燥设备，在抽气或充气的过程中，腔室入口打开，空气中水氧会进入腔体，以至于后续工作时需要连续抽多次才能达到真空环境，故无法保证多次实验结果的重复性及可靠性。此外，真空度快速变化的过程中，腔室内气流剧烈变化，会造成基板边缘位置的干燥速率快于中心位置，形成的量子点膜层厚度不均一，最终器件亮度不均匀或者出现漏电流，发光性能差。因此，需要提供一种新的真空干燥装置。
技术实现思路
针对上述技术问题，本申请提供一种真空干燥装置。本申请一个技术方案的真空干燥装置，包括真空腔室及承载部，真空腔室的室门设置在真空腔室的侧部，真空腔室的室门上开设有基板输送窗口，承载部位于真空腔室内部，承载部包括多个承载台，用于承载待干燥的基板。优选的，基板输送窗口允许承载有基板的承载台进出。优选的，基板输送窗口的侧投影为长方形。优选的，基板输送窗口的水平长度大于承载台的长度，基板输送窗口的竖直长度大于承载台和基板的总厚度。优选的，真空干燥装置包括主气流管道及气流缓冲区。优选的，主气流管道的一端连通于气流缓冲区，另一端连通于一抽气装置。优选的，气流缓冲区包括多个分气流管道和导流网板，分气流管道连接于主气流管道，导流网板位于分气流管道与承载部之间。优选的，分气流管道上开设有多个孔洞。优选的，承载部的多个承载台用于放置多个基板，每个承载台温度可控，用于加热或冷却，每个承载台的加热面积覆盖整个基板，每个承载台沿中心向边缘处的温度递减，温度可调。优选的，真空干燥装置还包括驱动部，驱动部用于分别单独移动承载部的多个承载台。有益效果：本技术的真空干燥装置在真空腔室的室门上设置了基板输送窗口，通过较小面积的基板输送窗口传输基板，有效减少了外部空气向腔室内部引入，避免了量子点材料的发光性能被进入的水氧破坏，有利于后续的抽真空过程顺利进行，保证多次实验结果的重复性及可靠性。此外，气流缓冲区的设置有利于实现有效的气流调控，提高了成膜均匀性，优化器件发光性能。附图说明图1为本申请中一个实施方式的真空干燥装置的外部示意图；图2为本申请中一个实施方式的真空干燥装置的内部示意图。在附图中相同的部件使用了相同的附图标记。附图仅示意性地显示了本申请的实施方案。具体实施方式下面将结合本申请实施方式，对本申请实施例中的技术方案进行详细地描述。应注意的是，所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式，而不是全部实施方式。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“连通”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。利用现有真空干燥设备干燥承载有功能墨水的基板时，向真空腔室放置基板或从中取出基板的过程中，腔室会引入大量空气。空气中的水氧不仅会对量子点材料的发光性能造成破坏，而且不利于后续的抽真空操作顺利进行，多次实验的结果差别较大，重复性差，不可靠。参见图1，一种实施方式的真空干燥装置，包括真空腔室100及承载部，所述真空腔室的室门200设置在所述真空腔室的侧部，所述真空腔室的室门200上开设有基板输送窗口300。参见图2，所述承载部位于真空腔室内部，所述承载部包括多个承载台400，用于承载待干燥的基板500。本实施方式是在真空腔室的腔门上开设基板输送窗口，通过较小的基板输送窗口传输基板，有效减少了外部空气向腔室内部引入，避免了量子点材料的发光性能被进入的水氧破坏，有利于后续的抽真空过程顺利进行，保证多实验结果的重复性及可靠性。在本实施方式中，承载部包括多个承载台400，便于一次性对多个基板同时进行干燥，大大简化了工艺流程。在一个具体的实施方式中，基板输送窗口300允许承载有基板500的承载台400进出。基板输送窗口300在保证单个承载有基板的承载台可以进出的情况下，设置足够小的开口面积，避免在传输基板的过程中向真空腔室内引入过多的空气。在一个具体的实施方式中，基板输送窗口300的侧投影为长方形。基板输送窗口300的水平长度大于承载台400的长度，基板输送窗口300的竖直长度大于承载台400和基板500的总厚度，可以保证基板的顺利传输。在一个具体的实施方式中，真空腔室内包括主气流管道600及气流缓冲区。通过在真空干燥装置内设置气流缓冲区，以提高工作状态下腔室气流的稳定性，避免干燥过程中因气流不均而引起的成膜性差。在一个具体的实施方式中，主气流管道600的一端连通于一级气流缓冲区，另一端连通于抽气装置。主气流管道600通过抽气管路与抽气装置连接，也可以从主气流管道入口对真空干燥装置进行气体填充。在一个具体的实施方式中，气流缓冲区包括多个分气流管道700和导流网板800。所有的分气流管道700连接于主气流管道，分气流管道700在真空腔室内部呈对称分布。分气流管道700的数量可以根据实际干燥要求而定，不作具体限定。一方面，设备在进行抽真空操作时，真空腔室内气压减小，不同位置处的瞬时气压不同，基板中心与边缘处的干燥环境不一致，影响干燥均匀性。分气流管道700的设置，缓解了腔室抽真空过程中瞬时气压差距引起的气流不均。另一方面，在向真空腔室内充气的过程中，如果气流变化剧烈，可能会破坏膜层。分气流管道700的设置，也避免了腔室充气过程中气流变化对膜层的影响。在一个具体的实施方式中，分气流管道700上开设有多个孔洞710。每个分气流管道上开设一定数量的气孔，有利于调节气体流动性，缓解气流变化，从而提高腔室内不同位置的气流均匀性，促进基板上墨水均匀干燥成膜。分气流管道上孔洞710的形状可以是圆孔或方孔，只要满足调节气流的作用即可，不做具体限定。在一个具体的实施方式中，分气流管道700上孔洞710的数量及孔洞的开孔大小通过程序设定。通过程序控制每个分气流管道700的开孔数量与大小，可以根据实际情况具体选择，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括真空腔室及承载部，/n所述真空腔室的室门设置在所述真空腔室的侧部，所述真空腔室的室门上开设有基板输送窗口，/n所述承载部位于真空腔室内部，所述承载部包括多个承载台，用于承载待干燥的基板。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括真空腔室及承载部，
所述真空腔室的室门设置在所述真空腔室的侧部，所述真空腔室的室门上开设有基板输送窗口，
所述承载部位于真空腔室内部，所述承载部包括多个承载台，用于承载待干燥的基板。


2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述基板输送窗口允许承载有基板的承载台进出。


3.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述基板输送窗口的侧投影为长方形。


4.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述基板输送窗口的水平长度大于所述承载台的长度，所述基板输送窗口的竖直长度大于所述承载台和所述基板的总厚度。


5.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述的真空干燥装置包括主气流管道及气流缓冲区。


6.根据权利要求5所述的真空干燥装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王思元，王允军，
申请(专利权)人：苏州星烁纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32