一种X射线CT成像装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种X射线CT成像装置，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；X射线管可转动连接于X射线管回转座上；局部高精度探测器可转动连接于局部高精度探测器回转座上；椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，X射线管设置在椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，电路板样品、局部高精度探测器依次设置于X射线管发出的射线经椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。本发明专利技术解决了现有技术中难以对大面积集成电路板进行局部高精度扫描的难题，能够对电路板关键部件的散热结构、芯片焊接等情况进行CT成像，极大地提高了大面积集成电路板的质量检测效果。

An X-ray CT imaging device

【技术实现步骤摘要】
一种X射线CT成像装置
本专利技术涉及CT成像领域，具体涉及一种X射线CT成像装置。
技术介绍
为了研究集成电路板的散热结构、芯片焊接情况，通常需要利用X射线技术来对电路板的关键部位进行CT成像。但是，对于电脑、显示屏、大型服务器等的大面积电路板，尺寸通常较大，现有的工业CT无法完成高精度的扫描，主要原因在于：大型电路板宽度或高度较大，沿电路板方向，低功率高精度工业CT无法穿透电路板；大功率工业CT则可以穿透，但又会面临精度不够的问题。目前，尚无相关的装置产品可解决该问题。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种X射线CT成像装置，可应用于大面积集成电路板上，通过聚焦X射线并采用高精度小型探测器来解决局部高精度扫描的问题。本专利技术采用以下的技术方案来实现：一种X射线CT成像装置，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上；所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上；所述椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，所述X射线管设置在所述椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，并且，所述电路板样品、所述局部高精度探测器依次设置于所述X射线管发出的射线经所述椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括主探测器；所述主探测器设置在所述电路板样品相对于所述X射线管的另一侧上，所述电路板样品位于所述X射线管和所述主探测器的连线方向上；所述局部高精度探测器回转座固定连接在所述主探测器的侧部。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括回转平台；所述电路板样品可转动连接于所述回转平台上。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括X-Y移动平台，所述X-Y移动平台包括相互垂直设置的第一滑轨组件和第二滑轨组件；所述第一滑轨组件包括第一滑轨、第一滑块以及用于驱动所述第一滑块的第一电机；所述第二滑轨组件包括第二滑轨、第二滑块以及用于驱动第二滑块的第二电机；所述第二滑轨固定连接在所述第一滑块上，所述回转平台固定连接在所述第二滑块上。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括底座；所述第一滑轨组件固定连接在所述底座上。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括固定垂直设置在所述底座上的两个侧板；所述X射线管和所述主探测器相对设置在两个所述侧板上。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括设置在一所述侧板上的第三滑轨组件，所述第三滑轨组件包括第三滑轨和第三滑块，所述X射线管回转座固定连接在所述第三滑块上。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括支撑臂；所述支撑臂包括两个通过旋转关节铰接的杆体，所述支撑臂的一端固定连接在所述第三滑块的侧部，另一端与所述椭圆反射镜固定连接。进一步地，所述X射线CT成像装置还包括设置在一所述侧板上的第四滑轨组件，所述第四滑轨组件包括第四滑轨和第四滑块，所述主探测器固定连接在所述第四滑块上。进一步地，所述椭圆反射镜为多层镀膜反射镜。相比于现有技术，本专利技术能达到的有益效果为：本专利技术基于椭圆光学性质的聚焦反射原理，由椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上的X射线管所发出的X射线，经椭圆反射镜反射后会聚焦到椭圆的另一个焦点上，而电路板和局部高精度探测器均设置在X射线反射后的路径上(即镜面反射点和椭圆另一个焦点的连线上)，对电路板实现了局部高精度的细节成像。本专利技术通过对X射线进行聚焦，并采用局部高精度探测器进行成像，使扫描同时具备高穿透性和高精度，解决了现有技术中难以对大面积集成电路板进行局部高精度扫描的难题，能够对电路板关键部件的散热结构、芯片焊接等情况进行CT成像，极大地提高了大面积集成电路板的质量检测效果，同时有助于加深对大面积集成电路板的认识和研究。附图说明图1为本专利技术的立体示意图；图2为本专利技术的另一立体示意图；图3为本专利技术的普通工业CT模式的成像原理图；图4为本专利技术的局部高精度成像模式的成像原理图。图中：10、X射线管；20、X射线管回转座；30、椭圆反射镜；40、局部高精度探测器；50、局部高精度探测器回转座；60、主探测器；70、电路板样品；80、回转平台；90、X-Y移动平台；91、第一滑轨组件；92、第二滑轨组件；100、底座；110、侧板；120、第三滑轨组件；130、第四滑轨组件；140、支撑臂。具体实施方式下面，结合附图以及具体实施方式，对本专利技术做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。本专利技术公开了一种X射线CT成像装置，用于大面积集成电路板的CT成像扫描。参阅图1-图2，本专利技术包括：X射线管10、X射线管回转座20、椭圆反射镜30、局部高精度探测器40、局部高精度探测器回转座50、主探测器60、回转平台80、X-Y移动平台90、底座100、侧板110、第三滑轨组件120、第四滑轨组件130以及支撑臂140。首先，详细说明本装置的具体连接关系：底座100为本装置的支承件，侧板110垂直设置在底座100上的两侧，X-Y移动平台90连接在底座100上并位于两侧板110之间。X-Y移动平台90包括相互垂直设置的第一滑轨组件91和第二滑轨组件92；第一滑轨组件91包括第一滑轨、第一滑块以及用于驱动第一滑块的第一电机，第二滑轨组件92包括第二滑轨、第二滑块以及用于驱动第二滑块的第二电机；同时，第一滑轨固定连接在底座100上、第二滑轨固定连接在第一滑块上、回转平台80固定连接在第二滑块上。电路板样品70可转动地连接在回转平台80上，因此，通过X-Y移动平台90和回转平台80的作用，可以使电路板样品70在平面的X-Y方向上移动以及绕自身作旋转运动，实现电路板样品70的位置调整。另外，在一侧的侧板110上设置第三滑轨组件120，第三滑轨组件120包括第三滑轨和第三滑块，X射线管回转座20固定连接在第三滑块上，X射线管10可转动连接于X射线管回转座20上；因此X射线管10可以在垂直方向上移动，以及绕自身作旋转运动，从而可调整X射线的发射方向。支撑臂140包括两个通过旋转关节铰接的杆体，支撑臂140的一端固定连接在第三滑块的侧部，另一端与椭圆反射镜30固定连接，因此椭圆反射镜30的反射角度亦可作转动调整。另外，在另一侧的侧板110上设置第四滑轨组件130，第三滑轨组件120和第四滑轨组件130相对设置。第四滑轨组件130包括第四滑轨和第四滑块，主探测器60固定连接在第四滑块上，因此主探测器60可以在垂直方向上作位置调整。而局部高精度探测器回转座50固定连接在主探测器60的侧部，局部高精度探测器40可转动连接在局部高精度探测器回转座50上，因此局部高精度探测器40可以在垂直方向上移动以及绕自身转动，实现与X射线管10相对应的位置调整。X射线管10位于底座100的一侧，主探测器60和局部高精度探测器40位于底座100的另一侧，电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线CT成像装置，其特征在于，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上；所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上；所述椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，所述X射线管设置在所述椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，并且，所述电路板样品、所述局部高精度探测器依次设置于所述X射线管发出的射线经所述椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。/n

【技术特征摘要】
1.一种X射线CT成像装置，其特征在于，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；所述X射线管可转动连接于所述X射线管回转座上；所述局部高精度探测器可转动连接于所述局部高精度探测器回转座上；所述椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，所述X射线管设置在所述椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，并且，所述电路板样品、所述局部高精度探测器依次设置于所述X射线管发出的射线经所述椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。


2.如权利要求1所述的X射线CT成像装置，其特征在于，所述X射线CT成像装置还包括主探测器；所述主探测器设置在所述电路板样品相对于所述X射线管的另一侧上，所述电路板样品位于所述X射线管和所述主探测器的连线方向上；所述局部高精度探测器回转座固定连接在所述主探测器的侧部。


3.如权利要求2所述的X射线CT成像装置，其特征在于，所述X射线CT成像装置还包括回转平台；所述电路板样品可转动连接于所述回转平台上。


4.如权利要求3所述的X射线CT成像装置，其特征在于，所述X射线CT成像装置还包括X-Y移动平台，所述X-Y移动平台包括相互垂直设置的第一滑轨组件和第二滑轨组件；所述第一滑轨组件包括第一滑轨、第一滑块以及用于驱动所述第一滑块的第一电机；所述第二滑轨组件包括第二滑轨、第二滑块以及用于驱动第二滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：贡志锋，马艳玲，高建波，张书彦，詹霞，王晨，张鹏，魏海冰，
申请(专利权)人：东莞材料基因高等理工研究院，广东书彦材料基因创新科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44