一种PBN-PG陶瓷加热器制造技术

技术编号:23952734 阅读:113 留言:0更新日期:2020-04-25 16:06
本实用新型专利技术涉及一种PBN‑PG陶瓷加热器,属于特种设备加热领域,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路的间距不等,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔。本实用新型专利技术通过对加热器纹路进行优化设计,将发热纹路之间的间距设计为由内到外依次递减,实现外圈纹路单位长度发热量大于内圈,对外圈进行发热量补偿,大大提高了加热器温度均匀性,加热器表面温度均匀性在1200℃下可达到误差仅为±3℃。

A pbn-pg ceramic heater

【技术实现步骤摘要】
一种PBN-PG陶瓷加热器
本技术涉及一种PBN-PG陶瓷加热器,属于特种设备加热领域。
技术介绍
随着工业水平的不断进步,市场对加热器的要求也越来越高,不仅要求加热速度快,还对加热的均匀性提出更高的要求。而PBN-PG陶瓷加热器以其高纯度(99.999%)、化学性质稳定(耐酸碱腐蚀)、发热均匀(面加热)、可设计成复杂形状、抗热震性等特点,正逐步应用到OLED、CIGS点源蒸镀加热、MBE加热、MOCVD、PECVD加热领域。目前市场上的PBN-PG陶瓷加热器,以PBN(热解氮化硼)材料为基体,涂PG(热解石墨)涂层,通过加工形成导电发热层,再涂PBN保护层制得。专利技术人在长期加热器设计时发现,无论是钽丝和钼丝加热器还是PBN-PG陶瓷加热器,在保证加热器发热均匀的情况下,加热器呈现内高外低的温度分布,温区分布并不完美,其原因为内圈发热体周边还是发热体,而外圈周边是冷态环境,致使外圈热损失大于内圈,从而呈现内高外低的温度分布。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供一种PBN-PG陶瓷加热器。本技术的技术方案如下:一种PBN-PG陶瓷加热器,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路的间距不等,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔。优选的,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减。优选的,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为2%-20%。>优选的,所述相邻的发热纹路之间的间距为5-10mm。优选的,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减值为0.5mm。本技术的有益效果在于:本技术通过对加热器纹路进行优化设计,将发热纹路之间的间距设计为由内到外依次递减,实现外圈纹路单位长度发热量大于内圈,对外圈进行发热量补偿,大大提高了加热器温度均匀性,加热器表面温度均匀性在1200℃下可达到误差仅为±3℃。附图说明图1是常见的等宽发热纹路的PBN-PG陶瓷加热器示意图;其中,相邻的发热纹路的间距均为7.5mm;图2是本申请优化的内宽外窄发热纹路的PBN-PG陶瓷加热器示意图;其中,相邻的发热纹路的间距由内到外逐级递减0.5mm,分别为8.5mm、8mm、7.5mm、7mm、6.5mm。具体实施方式下面通过实施例并结合附图对本技术做进一步说明,但不限于此。如图1-2所示。实施例1:一种PBN-PG陶瓷加热器,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路之间的间距均为7.5mm,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔用于连接电源。实施例2一种PBN-PG陶瓷加热器,其结构如实施例1所述,不同之处在于,相邻的发热纹路之间的间距由内到外逐级递减0.5mm,分别为8.5mm、8mm、7.5mm、7mm、6.5mm。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PBN-PG陶瓷加热器,其特征在于,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路的间距不等,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种PBN-PG陶瓷加热器,其特征在于,包括圆盘状的加热体,加热体中心开设有热电偶孔,加热体表面以热电偶孔为圆心向外周排布设有圆弧状的发热纹路,相邻的发热纹路的间距不等,加热体两侧设有长方形的固定把手,固定把手中心开设有电极孔。


2.如权利要求1所述的陶瓷加热器,其特征在于,所述相邻的发热纹路的间距由内到外依次递减。

【专利技术属性】
技术研发人员:刘汝强王殿春王之腾赵旭荣吴思华
申请(专利权)人:山东国晶新材料有限公司
类型:新型
国别省市:山东;37

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