【技术实现步骤摘要】
一种用于计量长度的干涉仪
本技术涉及属于干涉仪
,特别涉及一种用于计量长度的干涉仪。
技术介绍
大多数测量长度的激光干涉仪,其光学系统都是改进型的双光束迈克尔逊干涉体系,干涉仪的一臂(参考镜)固定,另一臂(测量镜)同被测物件联结在一起,当测量镜同被测物件沿光线方向移动时,干涉仪两臂的光程差不断变化,测量镜每移动λ/2的距离时,两臂的光程差变化一个波长,干涉条纹移动一条。因此只要精确测定条纹移动数,就可以算出测量镜的移动距离,从而获得被测物件的长度。但是,单靠肉眼观测,无法保证出测量镜是否移动了一个被测物件的长度的距离,容易影响测量数据,造成测量误差。
技术实现思路
鉴以此,本技术提供了一种用于计量长度的干涉仪,确保测量镜移动的距离和被测物件的长度相同,大大提高了测量镜的移动距离的精确度,提高了测量数据的准确性,减小了测量误差。本技术的技术方案是这样实现的:本技术提供了一种用于计量长度的干涉仪,包括支撑板和测量部件,所述测量部件安装在所述支撑板顶部,所述测量部件包括分光组件、滑台和测量 ...
【技术保护点】
1.一种用于计量长度的干涉仪,包括支撑板和测量部件,其特征在于,所述测量部件安装在所述支撑板顶部,所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜,所述分光组件的后方设有限位台,所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆,所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接,所述螺杆外侧设有导轨,所述滑台套设在所述导轨上,所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接,所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方,所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆,所述固定杆前端套接有环形的磁铁,所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮,所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于计量长度的干涉仪,包括支撑板和测量部件,其特征在于,所述测量部件安装在所述支撑板顶部,所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜,所述分光组件的后方设有限位台,所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆,所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接,所述螺杆外侧设有导轨,所述滑台套设在所述导轨上,所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接,所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方,所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆,所述固定杆前端套接有环形的磁铁,所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮,所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于计量长度的干涉仪,其特征在于,所述分光组件包括承台、分光板和补偿板,所述承台安装在所述支撑板的顶部,所述螺杆的一端与所述承台的侧壁转动连接,所述分光板和补偿板相互平行的安装在所述承台的顶部,所述分光板和补偿板均与所述承台成45°角。
3.根据权利要求2所述的一种用于计量长度的干涉仪,其特征在于,所述测量部件还包括发光源、观察屏和参考镜,所述发光源安装在所述承台的左侧,所述参考镜...
【专利技术属性】
技术研发人员:黎健南,谢儒铭,赵香芳,王通,吴祥任,
申请(专利权)人:海南省博测计量检测技术有限公司,
类型:新型
国别省市:海南;46
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