一种用于计量长度的干涉仪制造技术

本实用新型专利技术为一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，测量部件安装在支撑板顶部，测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，分光组件的后方设有限位台，分光组件和限位台之间设有螺杆，螺杆的两端与分光组件和限位台转动连接，螺杆外侧设有导轨，滑台套设在导轨上，滑台的中心与螺杆螺纹连接，测量镜安装在滑台顶部的前方，限位台朝分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，固定杆前端套接有环形的磁铁，固定杆外侧设有与磁铁相吸的凸轮，凸轮通过磁性与磁铁转动连接，本装置确保测量镜移动的距离和被测物件的长度相同，大大提高了测量镜的移动距离的精确度，提高了测量数据的准确性，减小了测量误差。

An interferometer for measuring length

【技术实现步骤摘要】
一种用于计量长度的干涉仪
本技术涉及属于干涉仪
，特别涉及一种用于计量长度的干涉仪。
技术介绍
大多数测量长度的激光干涉仪，其光学系统都是改进型的双光束迈克尔逊干涉体系，干涉仪的一臂(参考镜)固定，另一臂(测量镜)同被测物件联结在一起，当测量镜同被测物件沿光线方向移动时，干涉仪两臂的光程差不断变化，测量镜每移动λ/2的距离时，两臂的光程差变化一个波长，干涉条纹移动一条。因此只要精确测定条纹移动数，就可以算出测量镜的移动距离，从而获得被测物件的长度。但是，单靠肉眼观测，无法保证出测量镜是否移动了一个被测物件的长度的距离，容易影响测量数据，造成测量误差。
技术实现思路
鉴以此，本技术提供了一种用于计量长度的干涉仪，确保测量镜移动的距离和被测物件的长度相同，大大提高了测量镜的移动距离的精确度，提高了测量数据的准确性，减小了测量误差。本技术的技术方案是这样实现的：本技术提供了一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，所述测量部件安装在所述支撑板顶部，所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，所述分光组件的后方设有限位台，所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆，所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接，所述螺杆外侧设有导轨，所述滑台套设在所述导轨上，所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接，所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方，所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，所述固定杆前端套接有环形的磁铁，所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮，所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。>优选的，所述分光组件包括承台、分光板和补偿板，所述承台安装在所述支撑板的顶部，所述螺杆的一端与所述承台的侧壁转动连接，所述分光板和补偿板相互平行的安装在所述承台的顶部，所述分光板和补偿板均与所述承台成45°角。优选的，所述测量部件还包括发光源、观察屏和参考镜，所述发光源安装在所述承台的左侧，所述参考镜安装在所述承台的右侧，所述观察屏安装在所述承台的前方。优选的，所述承台的前端设有第一旋钮，所述第一旋钮通过连接件穿过所述承台与所述螺杆同轴连接。优选的，所述限位台的上方设有顶板，所述限位台和所述顶板之间设有可上下活动的滑动机构，所述固定杆与所述滑动机构连接。优选的，所述滑动机构包括转轴、导向杆和滑块，所述转轴安装在所述限位台和所述顶板的中心，所述转轴与所述限位台和所述顶板转动连接，所述导向杆所述转轴外壁面设有螺纹，所述导向杆安装在所述限位台和所述顶板之间，所述导向杆位于所述转轴的两端，所述滑块套设在所述转轴和导向杆上，所述滑块与所述导向杆滑动连接，所述滑块与所述转轴通过螺纹连接。优选的，所述顶板的上方设有第二旋钮，所述第二旋钮通过连接件穿过所述顶板与所述转轴同轴连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术提供了一种用于计量长度的干涉仪，将被测物件抵靠在所述测量镜的后端，控制所述滑台向后方滑动，被测物体与所述凸轮抵接的位置即为起点，将所述凸轮转动至短轴朝下，继续所述滑台向后方滑动，所述测量镜的后端与所述凸轮抵接的位置即为终点，起点与终点之间的长度即是一个被测物体的长度，确保所述测量镜移动的距离和被测物件的长度相同，大大提高了所述测量镜的移动距离的精确度，提高了测量数据的准确性，减小了测量误差。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的优选实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的实施例一的立体结构示意图；图2为本技术的实施例一中固定杆的爆炸图；图3为本技术的实施例二的立体结构示意图；图4为图3中B出的局部放大图。图中，1支撑板，2滑台，3测量镜，4限位台，5螺杆，6导轨，7固定杆，8磁铁，9凸轮，10承台，11分光板，12补偿板，13第一旋钮，14发光源，15观察屏，16参考镜，17顶板，18转轴，19导向杆，20滑块，21第二旋钮。具体实施方式为了更好理解本技术
技术实现思路
，下面提供具体实施例，并结合附图对本技术做进一步的说明，在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。实施例一参见图1至图2，本技术提供了一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板1和测量部件，所述测量部件安装在所述支撑板1顶部，所述测量部件包括分光组件、滑台2和测量镜3，所述分光组件将光线反射到所述测量镜3上，所述分光组件的后方设有限位台4，所述分光组件和所述限位台4之间设有螺杆5，所述螺杆5的两端与所述分光组件和限位台4转动连接，所述螺杆5外侧设有导轨6，所述导轨6位于所述螺杆5的两侧，所述滑台2套设在所述导轨6上，所述滑台2与所述导轨6滑动连接，所述滑台2的中心与所述螺杆5螺纹连接，所述测量镜3安装在所述滑台2顶部的前方，所述限位台4朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆7，所述固定杆7垂直于与所述限位台4的壁面安装，所述固定杆7为套杆式结构，所述固定杆7前端套接有环形的磁铁8，所述磁铁8与所述固定杆7固定连接，所述固定杆7外侧设有与所述磁铁8相吸的凸轮9，所述凸轮9通过磁性与所述磁铁8转动连接，所述凸轮9后端与所述固定杆7抵接，所述凸轮9在所述磁铁8的磁性作用下，不会因为重心偏移而自我转动，所述磁铁8和凸轮9与所述固定杆7的端面平齐。测量时，将被测物件放在所述滑台2顶部，将被测物件抵靠在所述测量镜3的后端，被测物件不会遮挡住所述测量镜3，确保测量能够正常进行，将所述凸轮9转动至长轴朝下，通过转动所述螺杆5带动所述滑台2沿着所述导轨6向后方滑动，直到被测物体与所述凸轮9抵接，此时所述测量镜3的位置即为起点，将所述凸轮9转动至短轴朝下，所述凸轮9对被测物体取消限制关系，此时继续转动所述螺杆5带动所述滑台2沿着所述导轨6向后方滑动，直到所述测量镜3的后端与所述凸轮9抵接，此时所述测量镜3的位置即为终点，起点与终点之间的长度即是一个被测物体的长度，确保所述测量镜3移动的距离和被测物件的长度相同，大大提高了所述测量镜3的移动距离的精确度，提高了测量数据的准确性，减小了测量误差。所述分光组件包括承台10、分光板11和补偿板12，所述分光板11背面有镀银或镀铝的半反射面，所述承台10安装在所述支撑板1的顶部，所述螺杆5的一端与所述承台10的侧壁转动连接，所述分光板11和补偿板12相互平行的安装在所述承台10的顶部，所述分光板11和补偿板12均与所述承台10成45°角。所述测量部件还包括发光源14、观察本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，其特征在于，所述测量部件安装在所述支撑板顶部，所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，所述分光组件的后方设有限位台，所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆，所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接，所述螺杆外侧设有导轨，所述滑台套设在所述导轨上，所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接，所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方，所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，所述固定杆前端套接有环形的磁铁，所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮，所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于计量长度的干涉仪，包括支撑板和测量部件，其特征在于，所述测量部件安装在所述支撑板顶部，所述测量部件包括分光组件、滑台和测量镜，所述分光组件的后方设有限位台，所述分光组件和所述限位台之间设有螺杆，所述螺杆的两端与所述分光组件和限位台转动连接，所述螺杆外侧设有导轨，所述滑台套设在所述导轨上，所述滑台的中心与所述螺杆螺纹连接，所述测量镜安装在所述滑台顶部的前方，所述限位台朝所述分光组件一侧的壁面上安装有固定杆，所述固定杆前端套接有环形的磁铁，所述固定杆外侧设有与所述磁铁相吸的凸轮，所述凸轮通过磁性与所述磁铁转动连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述分光组件包括承台、分光板和补偿板，所述承台安装在所述支撑板的顶部，所述螺杆的一端与所述承台的侧壁转动连接，所述分光板和补偿板相互平行的安装在所述承台的顶部，所述分光板和补偿板均与所述承台成45°角。


3.根据权利要求2所述的一种用于计量长度的干涉仪，其特征在于，所述测量部件还包括发光源、观察屏和参考镜，所述发光源安装在所述承台的左侧，所述参考镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎健南，谢儒铭，赵香芳，王通，吴祥任，
申请(专利权)人：海南省博测计量检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：海南;46