新型真空蚀刻设备制造技术

本实用新型专利技术涉及新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱和设备箱，所述设备箱的内部固定安装有离心式风机，所述离心式风机的出风口和进风口分别连通有气体回流管和主真空吸管，所述蚀刻箱的内部固定安装有上喷盘和下喷盘，所述上喷盘和下喷盘相对的一侧均固定安装有与其内部相连通的喷嘴。本实用新型专利技术采用高流量、高负压、耐腐蚀和可变频的离心式风机有效解决现有对药水抽取过程中真空度不稳定的问题，可以避免局部吸取失效造成良品率下降的问题；通过设置气液分离器可以有效保证了药水的重复利用；通过离心式风机将蚀刻箱内的气体进行抽取的同时利用气体回流管送入蚀刻箱内，保证了蚀刻箱内部气压稳定。

New vacuum etching equipment

【技术实现步骤摘要】
新型真空蚀刻设备
本技术涉及蚀刻机
，具体为新型真空蚀刻设备。
技术介绍
现有的蚀刻机包括：上下喷盘组，滚轮传输机构和待处蚀刻线路板等。传统的设备由于上喷盘多个高压力喷淋喷嘴的药水同时在线路板（板面积大）上端积累未能及时向四周排出而形成的水池效应，导致喷嘴喷淋喷出的未反应药水不能及时和待蚀刻区域接触和进行化学反应，而发生反应后残留的药水产生的亚氯酸铜或其他介质阻碍了蚀刻速度影响生产效率，高压喷淋未反应过的药水也未能及时进入反应区域导致线路板图形发生侧面蚀刻影响蚀刻因子。传统的蚀刻设备供应商采用大功率泵驱动射流器产生真空，吸取反应后的药水，但是存在占地面积大、能耗高，和噪音大的缺陷，同时由于真空抽取速度和流量的不稳定会导致局部负压波动影响吸取药水，从而造成局部吸取失效进而造成良品率下降和局部蚀刻均匀性差。
技术实现思路
（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了新型真空蚀刻设备，解决了现有的蚀刻机存在水池效应、解决水池效应的设备效果差和解决水池效应过程中蚀刻箱的内部真空度不稳定的问题。（二）技术方案为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱和设备箱，所述设备箱的内部固定安装有离心式风机，所述离心式风机的出风口和进风口分别连通有气体回流管和主真空吸管，所述蚀刻箱的内部固定安装有上喷盘和下喷盘，所述上喷盘和下喷盘相对的一侧均固定安装有与其内部相连通的喷嘴，所述蚀刻箱的内部固定安装有安装座，所述安装座上设置有用于对线路板输送的输送装置，所述输送装置包括若干个上转轴和下转轴、四个驱动齿轮、两个驱动链条和驱动机构，若干个上转轴和下转轴的两端均通过轴承与安装座转动连接，四个所述驱动齿轮两个为一组对称分布在上转轴和下转轴的两侧，四个所述驱动齿轮均通过活动轴与安装座转动连接，每组所述驱动齿轮均与一个驱动链条相啮合，两个所述驱动链条均与若干个上转轴和下转轴的两端相啮合，所述驱动机构用于带动其中一个驱动齿轮转动，若干个所述上转轴和下转轴的表面分别固定安装有上滚轮片和下滚轮片，所述上滚轮片和下滚轮片分别交叉设置在上转轴和下转轴上，所述蚀刻箱外部的表面固定安装有气液分离器，所述主真空吸管的远离离心式风机的一端与气液分离器的气体出口相连通，所述气液分离器的进口连通有分真空吸管，所述安装座上固定安装有固定管，所述分真空吸管远离气液分离器的一端贯穿蚀刻箱并与固定管的内部相连通，所述固定管的表面固定安装有与其内部相连通的真空吸条，所述气液分离器的出液口连通有液体回流管，所述液体回流管的远离气液分离器的一端贯穿蚀刻箱并延伸至蚀刻箱的内部。作为本技术的一种优选技术方案，所述驱动机构为驱动电机，所述驱动电机设置在安装座上，所述驱动电机的输出轴通过联轴器与其中一个驱动齿轮的活动轴固定连接。作为本技术的一种优选技术方案，所述蚀刻箱内壁的底部固定安装有倾斜板，所述液体回流管位于蚀刻箱内部的一端固定在倾斜板上。作为本技术的一种优选技术方案，所述蚀刻箱的一侧固定安装有与其内部相连通的排液管，所述排液管上设置有手动阀门。（三）有益效果与现有技术相比，本技术提供了新型真空蚀刻设备，具备以下有益效果：1、该新型真空蚀刻设备，采用高流量、高负压、耐腐蚀和可变频的离心式风机有效解决现有对药水抽取过程中真空度不稳定的问题，可以避免局部吸取失效造成良品率下降的问题。2、该新型真空蚀刻设备，通过设置气液分离器可以有效保证了药水的重复利用。3、该新型真空蚀刻设备，通过离心式风机将蚀刻箱内的气体进行抽取的同时利用气体回流管送入蚀刻箱内，保证了蚀刻箱内部气压稳定。4、该新型真空蚀刻设备，可以解决现有蚀刻机工作时产生的水池反应。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术部分结构示意图。图中：1、蚀刻箱；2、设备箱；3、离心式风机；4、气体回流管；5、主真空吸管；6、上喷盘；7、下喷盘；8、输送装置；81、上转轴；82、下转轴；83、驱动齿轮；84、驱动链条；85、上滚轮片；86、下滚轮片；9、分真空吸管；10、固定管；11、真空吸条；12、安装座；13、气液分离器；14、液体回流管；15、倾斜板；16、排液管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1-2，本技术提供以下技术方案：一种新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱1和设备箱2，设备箱2的内部固定安装有离心式风机3，离心式风机3的出风口和进风口分别连通有气体回流管4和主真空吸管5，蚀刻箱1的内部固定安装有上喷盘6和下喷盘7，上喷盘6和下喷盘7相对的一侧均固定安装有与其内部相连通的喷嘴，蚀刻箱1的内部固定安装有安装座12，安装座12上设置有用于对线路板输送的输送装置8，输送装置8包括若干个上转轴81和下转轴82、四个驱动齿轮83、两个驱动链条84和驱动机构，若干个上转轴81和下转轴82的两端均通过轴承与安装座12转动连接，四个驱动齿轮83两个为一组对称分布在上转轴81和下转轴82的两侧，四个驱动齿轮83均通过活动轴与安装座12转动连接，每组驱动齿轮83均与一个驱动链条84相啮合，两个驱动链条84均与若干个上转轴81和下转轴82的两端相啮合，驱动机构用于带动其中一个驱动齿轮83转动，若干个上转轴81和下转轴82的表面分别固定安装有上滚轮片85和下滚轮片86，上滚轮片85和下滚轮片86分别交叉设置在上转轴81和下转轴82上，蚀刻箱1外部的表面固定安装有气液分离器13，主真空吸管5的远离离心式风机3的一端与气液分离器13的气体出口相连通，气液分离器13的进口连通有分真空吸管9，安装座12上固定安装有固定管10，分真空吸管9远离气液分离器13的一端贯穿蚀刻箱1并与固定管10的内部相连通，固定管10的表面固定安装有与其内部相连通的真空吸条11，气液分离器13的出液口连通有液体回流管14，液体回流管14的远离气液分离器13的一端贯穿蚀刻箱1并延伸至蚀刻箱1的内部。本实施方案中，蚀刻箱1上设置有进料口（图中未示出）和出料口（图中未示出），利用输送装置8带动线路板在蚀刻箱1的内部进行移动，其中驱动机构（图中未示出）为输送装置8的工作提供动力，通过驱动机构（图中未示出）带动其中一个驱动齿轮83的活动轴转动，从而与该驱动齿轮83相啮合的驱动链条84发生转动，从而带动与该驱动链条84相啮合的上转轴81和下转轴82发生转动，同时上转轴81和下转轴82的另一端带动另一条驱动链条84转动，从而四个驱动齿轮83、两个驱动链条84和若干个上转轴81和下转轴82共同转动，既上滚轮片85和下滚轮片86共同转动，带动位于上滚轮片85和下滚轮片86的线路板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱（1）和设备箱（2），其特征在于：所述设备箱（2）的内部固定安装有离心式风机（3），所述离心式风机（3）的出风口和进风口分别连通有气体回流管（4）和主真空吸管（5），所述蚀刻箱（1）的内部固定安装有上喷盘（6）和下喷盘（7），所述上喷盘（6）和下喷盘（7）相对的一侧均固定安装有与其内部相连通的喷嘴，所述蚀刻箱（1）的内部固定安装有安装座（12），所述安装座（12）上设置有用于对线路板输送的输送装置（8），所述输送装置（8）包括若干个上转轴（81）和下转轴（82）、四个驱动齿轮（83）、两个驱动链条（84）和驱动机构，若干个上转轴（81）和下转轴（82）的两端均通过轴承与安装座（12）转动连接，四个所述驱动齿轮（83）两个为一组对称分布在上转轴（81）和下转轴（82）的两侧，四个所述驱动齿轮（83）均通过活动轴与安装座（12）转动连接，每组所述驱动齿轮（83）均与一个驱动链条（84）相啮合，两个所述驱动链条（84）均与若干个上转轴（81）和下转轴（82）的两端相啮合，所述驱动机构用于带动其中一个驱动齿轮（83）转动，若干个所述上转轴（81）和下转轴（82）的表面分别固定安装有上滚轮片（85）和下滚轮片（86），所述上滚轮片（85）和下滚轮片（86）分别交叉设置在上转轴（81）和下转轴（82）上，所述蚀刻箱（1）外部的表面固定安装有气液分离器（13），所述主真空吸管（5）的远离离心式风机（3）的一端与气液分离器（13）的气体出口相连通，所述气液分离器（13）的进口连通有分真空吸管（9），所述安装座（12）上固定安装有固定管（10），所述分真空吸管（9）远离气液分离器（13）的一端贯穿蚀刻箱（1）并与固定管（10）的内部相连通，所述固定管（10）的表面固定安装有与其内部相连通的真空吸条（11），所述气液分离器（13）的出液口连通有液体回流管（14），所述液体回流管（14）的远离气液分离器（13）的一端贯穿蚀刻箱（1）并延伸至蚀刻箱（1）的内部。/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱（1）和设备箱（2），其特征在于：所述设备箱（2）的内部固定安装有离心式风机（3），所述离心式风机（3）的出风口和进风口分别连通有气体回流管（4）和主真空吸管（5），所述蚀刻箱（1）的内部固定安装有上喷盘（6）和下喷盘（7），所述上喷盘（6）和下喷盘（7）相对的一侧均固定安装有与其内部相连通的喷嘴，所述蚀刻箱（1）的内部固定安装有安装座（12），所述安装座（12）上设置有用于对线路板输送的输送装置（8），所述输送装置（8）包括若干个上转轴（81）和下转轴（82）、四个驱动齿轮（83）、两个驱动链条（84）和驱动机构，若干个上转轴（81）和下转轴（82）的两端均通过轴承与安装座（12）转动连接，四个所述驱动齿轮（83）两个为一组对称分布在上转轴（81）和下转轴（82）的两侧，四个所述驱动齿轮（83）均通过活动轴与安装座（12）转动连接，每组所述驱动齿轮（83）均与一个驱动链条（84）相啮合，两个所述驱动链条（84）均与若干个上转轴（81）和下转轴（82）的两端相啮合，所述驱动机构用于带动其中一个驱动齿轮（83）转动，若干个所述上转轴（81）和下转轴（82）的表面分别固定安装有上滚轮片（85）和下滚轮片（86），所述上滚轮片（85）和下滚轮片（86）分别交叉设置在上转轴（81）和下转轴（82）上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：林其龙，沈升荣，刘国平，姚坤茂，
申请(专利权)人：迅得自动化珠海有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44