温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及新型真空蚀刻设备，包括蚀刻箱和设备箱，所述设备箱的内部固定安装有离心式风机，所述离心式风机的出风口和进风口分别连通有气体回流管和主真空吸管，所述蚀刻箱的内部固定安装有上喷盘和下喷盘，所述上喷盘和下喷盘相对的一侧均固定安装有与其...
该专利属于迅得自动化(珠海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迅得自动化(珠海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。