一种光调制微纳结构及微集成光谱仪制造技术

本实用新型专利技术涉及光谱设备技术领域，尤其涉及一种光调制微纳结构及微集成光谱仪。该光调制微纳结构包括位于光电探测层上面的光调制层，光调制层能够对入射光进行调制，从而在光电探测层上形成差分响应，以便于重构得到原光谱，从而解决现有的光谱仪过于依赖精密光学部件而使得光谱仪体积庞大、很重且昂贵的缺陷。该光调制层包括底板和至少一个调制单元，底板设在光电探测层上，各个调制单元位于底板上，每个调制单元内分别设有若干个穿于底板内的调制孔，同一调制单元内的各个调制孔排布成一具有特定排布规律的二维图形结构，利用不同的二维图形结构实现对不同波长的光的调制作用，并提高光谱仪的分析准确性。

An optical modulation micro nano structure and micro integrated spectrometer

【技术实现步骤摘要】
一种光调制微纳结构及微集成光谱仪
本技术涉及光谱设备
，尤其涉及一种光调制微纳结构及微集成光谱仪。
技术介绍
光谱仪是获得光谱信息的仪器。光谱携带的信息量丰富，可用于物质识别、检测和分析，在农业、生物、化学、天文、医疗、环境检测、半导体工业等领域得到广泛应用。根据工作原理，现有商用的光谱仪可分为两种：基于单色仪的和基于傅里叶变换的。具体为：基于单色仪原理是指通过光栅将不同波长的光在空间上分开，再用狭缝将不同波长的光滤出来，由光敏元件探测；基于傅里叶变换原理是指将光分成两束，经过不同光程后干涉，对干涉谱进行傅里叶变换得到原始光谱。上述现有的这两类光谱仪都存在以下问题：一方面，这两类光谱仪都需要精密移动的分光部件，如光栅、棱镜、狭缝或反射镜，这些精密光学部件的需求使光谱仪体积庞大、很重且昂贵。第二方面，光谱仪的各光学部件必须保持极其清洁且完美地对齐，才能保证产品使用质量，这就使光谱仪的制造昂贵且使仪器非常精密，一旦光学部件失去对齐，则修理上非常复杂，导致维护成本很高。第三方面，这两类光谱仪的精度越高，所要求的光经过的路程越长，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光调制微纳结构，其特征在于，包括位于光电探测层上面的光调制层，所述光调制层包括底板和至少一个调制单元，所述底板设在所述光电探测层上，各个所述调制单元位于所述底板上，每个所述调制单元内分别设有若干个穿于所述底板内的调制孔，同一所述调制单元内的各个所述调制孔排布成一具有特定排布规律的二维图形结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种光调制微纳结构，其特征在于，包括位于光电探测层上面的光调制层，所述光调制层包括底板和至少一个调制单元，所述底板设在所述光电探测层上，各个所述调制单元位于所述底板上，每个所述调制单元内分别设有若干个穿于所述底板内的调制孔，同一所述调制单元内的各个所述调制孔排布成一具有特定排布规律的二维图形结构。


2.根据权利要求1所述的光调制微纳结构，其特征在于，所述二维图形结构的特定排布规律包括：
同一所述二维图形结构内的所有所述调制孔同时具有相同的特定截面形状，各个所述调制孔按照结构参数大小渐变顺序成阵列排布；和/或
同一所述二维图形结构内的各个所述调制孔分别具有特定截面形状，各个所述调制孔按照特定截面形状进行组合排列。


3.根据权利要求2所述的光调制微纳结构，其特征在于，所述调制孔的结构参数包括内径、长轴长度、短轴长度、旋转角度、边长或角数；所述调制孔的特定截面形状包括圆形、椭圆形、十字形、正多边形、星形或矩形。


4.根据权利要求2所述的光调制微纳结构，其特征在于，各个所述调制孔按照特定截面形状进行组合排列时，所述排列的顺序为按照预设周期顺序逐行或逐列排布。


5.根据权利要求1-...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔开宇，蔡旭升，朱鸿博，黄翊东，刘仿，张巍，冯雪，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：新型
国别省市：北京;11