集成电路装置上自动老化测试的系统和方法制造方法及图纸

本文描述了用于测试系统的各实施例，该测试系统使用至少一个测试室和测试器在测试温度范围下执行电子装置的老化测试。所述至少一个测试室是无门的并且具有框架，该框架限定用于接收容纳电子装置的至少一个老化板的室开口。该测试器包括：主框架；多个承载盒，其安装到主框架并且容纳该容纳电子装置的至少一个老化板；门板，其在测试器的前端处以允许进入测试器；以及壁板，其设置在与门板相对的表面上。壁板被放置成邻近至少一个测试室的室开口并且固定到至少一个测试室的室开口，以在测试期间提供空气和温度密封。

System and method of automatic aging test on integrated circuit device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】集成电路装置上自动老化测试的系统和方法交叉引用本申请要求于2017年7月25日提交的美国临时专利申请第62/536,692号的权益，并且美国临时专利申请第62/536,692号的全部内容通过引用并入本文。
本文描述了各实施例，其总体涉及用于执行电子装置的老化测试的系统、装置和方法。
技术介绍
老化测试包括在各种条件下测试电子装置(诸如但不限于集成电路、计算机芯片、存储器芯片或芯片上系统)例如达延长的时间段，以确定电子装置在现场使用之前是否有任何问题。换句话说，可以对电子装置进行应力测试以检测早期故障，从而增加被测试的电子装置的可靠性。在应力测试之后，对装置进行筛选以确定它们是否通过了应力测试。为了帮助执行老化测试，可以使用老化板，该老化板是具有电套接口的电路板，该电套接口用于接收要测试的电子装置(也称为被测器件(DUT))。老化板的电套接口为DUT提供电力，还可以根据正在执行的老化测试的类型向DUT提供某些电测试信号。老化板由可以承受各种测试条件的材料制成，并且由非常可靠且在DUT发生故障之前不应发生故障的部件制成。例如，可以在包括多个连续的小时或天(诸如从24小时到168小时)的各种时间段内完成该老化测试。老化测试的各种条件可以包括：例如，在一定热温度范围或低温度范围内(诸如最高125℃)改变温度；改变其他环境因素(诸如湿度)；以及改变提供给DUT的电压量和/或电流量。
技术实现思路
在广泛方面中，本文描述的至少一个实施例提供了一种用于执行电子装置的老化测试的测试系统，其中该系统包括：至少一个测试室，其用于在测试温度范围下测试电子装置以获得测试结果，至少一个测试室是无门的并且具有框架，该框架限定用于接收容纳电子装置的至少一个老化板的室开口；以及测试器(即测试装置)，其包括：主框架；多个承载盒，其安装到主框架并且容纳上述容纳电子装置的至少一个老化板；门板，其在测试器的前端以允许进入测试器；壁板，其设置在与门板相对的表面上，其中当测试器被装载到至少一个测试室中时，壁板和主框架可释放地固定放置成邻近至少一个测试室的室开口，以在测试期间通过空气和温度密封为至少一个测试室提供无接缝的门。在至少一个实施例中，测试器包括具有电力连接的门板，用于连接到老化板，以向电子装置提供电力。在至少一个实施例中，用于提供电力、测试信号并且记录测试结果的至电子装置的连接被包括在测试器中并且与至少一个测试室分开。在至少一个实施例中，测试器还包括：测试控制器，其生成命令信号并且分析测试结果；N个测试卡，其与测试控制器联网；N个多源电力模块；以及N个转接板，其测试N个BIB。在至少一个实施例中，测试器包括外部测试设备，该外部测试设备用于在测试器被装载到至少一个测试室中时在独立测试期间或在温度测试期间经由外部连接来测试老化板。在至少一个实施例中，外部测试设备包括一套测试卡，该一套测试卡与容纳在测试器内的一套老化板接口连接，该老化板具有用于接收测试信号的单独连接器。在至少一个实施例中，外部测试设备被封闭在机架内以进行访问和保护。在至少一个实施例中，壁板包括绝缘层，当壁板在测试期间被固定时，该绝缘层邻近室开口。在至少一个实施例中，测试可以由测试器在室温下执行，而无需将测试器的承载盒插入到至少一个测试室中。在至少一个实施例中，测试系统还包括预测试器，该预测试器用于对电子装置执行预测试，以在至少一个测试室中进行进一步测试之前检查电子装置是否处于工作条件。在至少一个实施例中，预测试器被配置为执行以下至少一项：检查何时将电子装置正确地插入到至少一个老化板的套接口中以进行测试；执行初始测试以确保电子装置没有缺陷；对开短路执行测试；以及执行功能测试。在至少一个实施例中，测试系统还包括装载器，该装载器用于在执行预测试之前将电子装置装载到至少一个老化板的套接口中。在至少一个实施例中，装载器包括拾取和放置机构，该拾取和放置机构被配置为自动将未通过预测试的电子装置替换为另一电子装置。在至少一个实施例中，当在套接口中的一个处进行的测试未通过N次连续测试的预测试时，该套接口被认为是有缺陷的，并且被进一步测试屏蔽。在这样的实施例中，从正常工作的套接口列表中屏蔽未通过的套接口，该正常工作的套接口列表存储在老化板的存储器和/或与中央控制服务器联接的数据存储装置中。在至少一个实施例中，测试系统还包括：中央控制服务器，其用于发送命令信号并且使测试系统的操作自动化；测试器运输器，其用于运输测试器，该测试器运输器包括移动机构以用于使测试器运输器在测试系统的各个部件之间移动；以及分类器，其用于接收经测试的电子装置并且根据测试结果对经测试的电子装置进行分类。在至少一个实施例中，在测试器已经开始测试之后，连续地向测试器提供电力，从测试器运输器或已经与测试器对接的测试部件为测试器提供电力。在至少一个实施例中，至少一个测试室包括热室，并且测试温度范围是热温度范围。在至少一个实施例中，至少一个测试室包括冷室，并且测试温度范围是冷温度范围。在至少一个实施例中，至少一个测试室包括室温测试室，并且测试温度范围是室温。在至少一个实施例中，分类器包括智能拾取和放置机构，该智能拾取和放置机构被配置为识别具有共同测试结果类别中的测试结果的多个经测试的电子装置，同时拾取所识别的电子装置，并且将所拾取的电子装置放置到与共同测试结果类别相关联的分类箱中。在至少一个实施例中，中央控制服务器与测试系统的不同组件无线通信。在另一广泛方面中，本文描述的至少一个实施例提供了一种用于对电子装置进行老化测试的测试系统的装载器，其中该装载器包括：拾取和放置机构，其用于将电子装置装载到老化板的套接口中；以及预测试器，其用于对电子装置执行预测试，以检查电子装置是否处于工作条件以进行进一步测试。根据本文描述的任何装载器实施例的至少一个方面进一步限定装载器。在另一广泛方面中，本文描述的至少一个实施例提供了一种与用于测试电子装置的测试系统一起使用的测试器，其中该测试器包括至少一个老化板以用于接收电子装置，并且根据本文描述的任何测试器实施例的至少一个方面进一步限定测试器。在另一广泛方面中，本文描述的至少一个实施例提供了一种用于对电子装置进行老化测试的测试系统的分类器，其中分类器被配置为接收经测试的电子装置，并且基于电子装置的测试结果对每个经测试的电子装置进行分类，根据本文描述的任何分类器实施例的至少一个方面进一步限定分类器。在另一广泛方面中，本文描述的至少一个实施例提供了一种用于执行电子装置的老化测试的测试系统，其中该系统包括：中央控制服务器，其用于发送命令信号并且使测试系统的操作自动化；装载器，其用于将电子装置装载到老化板的套接口中，并且对电子装置进行预测试，以检查电子装置何时处于工作条件以进行进一步测试；测试器运输器，该测试器运输器包括：测试器，其用于接收具有经预测试的电子装置的老化板；以及移动机构，其用于使测试器运输器在测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于执行电子装置的老化测试的测试系统，其中所述系统包括：/n至少一个测试室，其用于在测试温度范围下测试所述电子装置以获得测试结果，所述至少一个测试室是无门的并且具有框架，所述框架限定用于接收容纳所述电子装置的至少一个老化板的室开口；以及/n测试器，其包括：/n主框架；/n多个承载盒，其安装到所述主框架并且容纳所述至少一个老化板，所述至少一个老化板容纳所述电子装置；/n门板，其在所述测试器的前端处以允许进入所述测试器；以及/n壁板，其设置在与所述门板相对的表面上，/n其中当所述测试器被装载到所述至少一个测试室中时，所述壁板和所述主框架可释放地固定放置成邻近所述至少一个测试室的所述室开口，以在测试期间通过空气和温度密封为所述至少一个测试室提供无接缝的门。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170725 US 62/536,6921.一种用于执行电子装置的老化测试的测试系统，其中所述系统包括：
至少一个测试室，其用于在测试温度范围下测试所述电子装置以获得测试结果，所述至少一个测试室是无门的并且具有框架，所述框架限定用于接收容纳所述电子装置的至少一个老化板的室开口；以及
测试器，其包括：
主框架；
多个承载盒，其安装到所述主框架并且容纳所述至少一个老化板，所述至少一个老化板容纳所述电子装置；
门板，其在所述测试器的前端处以允许进入所述测试器；以及
壁板，其设置在与所述门板相对的表面上，
其中当所述测试器被装载到所述至少一个测试室中时，所述壁板和所述主框架可释放地固定放置成邻近所述至少一个测试室的所述室开口，以在测试期间通过空气和温度密封为所述至少一个测试室提供无接缝的门。


2.根据权利要求1所述的测试系统，其中所述门板具有电力连接，用于连接到所述至少一个老化板，以向所述电子装置提供电力。


3.根据权利要求1或2所述的测试系统，其中用于提供电力、测试信号并且记录测试结果的至所述电子装置的连接被包括在所述测试器中并且与所述至少一个测试室分开。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的测试系统，其中所述测试器还包括：
测试控制器，其生成命令信号并且分析测试结果；
N个测试卡，其与所述测试控制器联网；
N个多源电力模块；以及
N个转接板，其测试N个老化板。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的测试系统，其中所述测试器包括外部测试设备，所述外部测试设备用于在所述测试器被装载到所述至少一个测试室中时在独立测试期间或在温度测试期间经由外部连接来测试所述至少一个老化板。


6.根据权利要求5所述的测试系统，其中所述外部测试设备包括一套测试卡，所述一套测试卡与容纳在所述测试器内的一套老化板接口连接，所述老化板具有用于接收测试信号的单独连接器。


7.根据权利要求5或权利要求6所述的测试系统，其中所述外部测试设备被封闭在机架内以进行访问和保护。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的测试系统，其中所述壁板包括绝缘层，当所述壁板在测试期间被固定时，所述绝缘层邻近所述室开口。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的测试系统，其中所述测试可以由所述测试器在室温下执行，而无需将所述测试器的所述承载盒插入到所述至少一个测试室中。


10.根据权利要求1至9中任一项所述的测试系统，其中所述测试系统还包括预测试器，所述预测试器用于对所述电子装置执行预测试，以在所述至少一个测试室中进行进一步测试之前检查所述电子装置是否处于工作条件。


11.根据权利要求10所述的测试系统，其中所述预测试器被配置为执行以下至少一项：检查何时将所述电子装置正确地插入到所述至少一个老化板的套接口中以进行测试；执行初始测试以确保所述电子装置没有缺陷；对开短路执行测试；以及执行功能测试。


12.根据权利要求11所述的测试系统，其中所述测试系统还包括装载器，所述装载器用于在执行所述预测试之前将所述电子装置装载到所述至...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·LM·张，
申请(专利权)人：皇虎科技加拿大有限公司，
类型：发明
国别省市：加拿大;CA