基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器及其制备方法技术

技术编号:23895764 阅读:60 留言:0更新日期:2020-04-22 08:25
本发明专利技术公开了基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器及其制备方法,包括二氧化钛纳米管以及石墨烯,所述二氧化钛纳米管和石墨烯之间设置有二氧化钛薄膜。本发明专利技术在二氧化钛纳米管上镀一层二氧化钛薄膜,降低异质结缺陷和载流子的复合几率,优化它与石墨烯的接触,抑制暗电流,提高光电流,从而达到提升探测器响应度和响应率的目的。

【技术实现步骤摘要】
基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器及其制备方法
本专利技术属于半导体薄膜光电探测器领域,具体涉及基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器及其制备的方法。
技术介绍
随着光电检测技术的不断发展与深化,其测量光谱范围也在不断扩大,已经扩展到了波长为10nm至400nm的紫外光区域。与之相对应,紫外线强度测试仪器的研制与测量技术也得到了飞速进步。紫外光电探测器是一项新兴的用途很广的光电检测技术,其应用领域非常广泛,比如在国防、燃烧工程、紫外告警系统以及医学方面均有着很广阔的应用前景。在军用方面,它主要用于紫外报警系统、紫外跟踪系统;在民用方面,它主要用于测量紫外线的辐射强度,在医学上可用于探测癌变细胞、血色素、白血球、红血球等。随着紫外报警和紫外跟踪技术的迅速发展,紫外光电探测器已经变成光电探测领域非常有价值的研究方向之一。继红外探测技术之后,紫外光探测技术已经发展成为又一项军民两用的光电检测技术并获得了快速的发展。目前已投入商用的紫外线探测器件主要以硅基紫外光电管和紫外光电倍增管为主,它虽然有灵敏度高的优点,但是同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器,包括二氧化钛纳米管以及石墨烯,其特征在于,所述二氧化钛纳米管和石墨烯之间设置有二氧化钛薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器,包括二氧化钛纳米管以及石墨烯,其特征在于,所述二氧化钛纳米管和石墨烯之间设置有二氧化钛薄膜。


2.根据权利要求1所述的基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器,其特征在于,所述二氧化钛薄膜的厚度为10-100nm。


3.根据权利要求1所述的基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器,其特征在于,所述二氧化钛纳米管的长度范围为10-100μm。


4.根据权利要求1~3任一项所述的基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器,其特征在于,所述石墨烯为单层石墨烯。


5.基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器的制备方法,其特征在于,所述制备方法为阳极氧化法、模板法、水热合成法或微波合成法。


6.根据权利要求5所述的基于二氧化钛纳米管和石墨烯异质结紫外光电探测器的制备方法,其特征在于,阳极氧化法包括以下步骤:
a)将钛片和惰性电极放入阳极氧化装置中,钛片作为阳极,惰性电极作为阴极,在电解液中进行恒电流阳极氧化,电压为20-60V,时间为2-6h,电解液温度为20-60℃,清洗干燥,得到...

【专利技术属性】
技术研发人员:王丹吴志明代进洪黄张英石沅林蒋亚东
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:发明
国别省市:四川;51

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