【技术实现步骤摘要】
一种通讯波段透明的硫系相变材料及其制备方法
本专利技术涉及属于微电子
，更具体地，涉及一种通讯波段透明的硫系相变材料及其制备方法。
技术介绍
随着光子集成电路、光子计算机等概念的提出，非易失相变材料(PCM)在光开关、光逻辑器件和光存储器件中的应用研究逐渐开始走入人们的视野。然而，在将现有的PCM应用于光路和光器件中时，却涉及到了PCM透光波段的问题。因此，对于集成光器件使用的光学相变材料，除了要具有其作为PCM的基本性能，还需要关注其适用的光学工作波段。希望其在使用的波长损耗低，且与晶态的折射率差异足够大。以1550nm为中心的通讯C波段是最重要的光通信波段。但是，现有的相变材料即使在非晶态时在该波段却都有极为明显的损耗。GeSbTe225，作为一种性能卓越的经典非易失相变材料，其非晶态的透明波段在中、远红外，虽然其适用操作波段宽至几十微米，但在通信波段附近，非晶态的Ge2Sb2Te5依然有很强的吸收，集成在光路中将造成明显的光损耗，即便不局限于非易失相变材料，过渡金属氧化物相变材料氧化钒VO2在应用于通信波...
【技术保护点】
1.一种通讯波段透明的硫系相变材料，其特征在于：其组分化学通式为Ge
【技术特征摘要】
20190829 CN 20191080991831.一种通讯波段透明的硫系相变材料，其特征在于：其组分化学通式为GezSb2Tey-S(Se)x，0<x≤4，0≤y≤4，0≤z≤2。
2.根据权利要求1所述通讯波段透明的硫系相变材料，其特征在于：在所述GezSb2Tey-S(Se)x中，z＝2，0<x≤1，y＝4。
3.根据权利要求1所述通讯波段透明的硫系相变材料，其特征在于：在所述GezSb2Tey-S(Se)x中，z＝2，1<x≤2，y＝3。
4.根据权利要求1所述通讯波段透明的硫系相变材料，其特征在于：在所述GezSb2Tey-S(Se)x中，z＝2，2<x≤3，y＝2。
5.根据权利要求1所述通讯波段透明的硫系相变材料，其特征在于：在所述GezSb2Tey-S(Se)x中，z＝2，3<x≤4，y＝1。
6.根据权利要求1所述通...
【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，杨泽林，李朝晖，曾平羊，夏迪，宋景翠，朱莺，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：广东;44
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