一种双远心曝光镜头制造技术

本实用新型专利技术提供了一种双远心曝光镜头，包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组，所述光阑位于所述前透镜组和所述后透镜组之间，所述前透镜组包括依次设置的第一透镜，其为双凹透镜；第二透镜，其为双凸透镜；第三透镜，其为双凸透镜；第四透镜，其为双凸透镜；第五透镜为双凹透镜；所述后透镜组包括依次设置的第七透镜，其为双凹透镜，第八透镜，其为弯月透镜；第十一透镜，其为双凸透镜；所述第八透镜和所述第十一透镜之间至少一弯月透镜。本实用新型专利技术的曝光镜头，物象远心度小，畸变小，透过率高，能够兼容双波长的光源。

A double telecentric exposure lens

【技术实现步骤摘要】
一种双远心曝光镜头
本技术涉及光学镜头
，尤其涉及一种应用于直写光刻领域的双远心曝光镜头。
技术介绍
工业镜头是机器视觉系统中十分重要的成像元件，在机器视觉系统中引用广泛，随着机器视觉系统在精密检测领域的广泛应用，普通工业镜头难以满足检测要求，为弥补普通镜头应用之不足，适应精密检测需求，远心镜头应运而生。远心镜头具有区别于普通镜头的优越特性：低畸变、恒放大倍率等，因此在机器视觉非接触测量领域中应用广泛，常采用特殊设计的远心镜头来避免传统镜头的透视畸变。双远心镜头则是指既满足物方远心光路特点又满足像方远心光路特点的成像系统，它包含了两种远心光路共同的优势，双远心镜头能提供较大景深，保证恒定放大倍率。基于上述双远心镜头的优势，其在直写光刻领域得到广泛应用，但是目前应用于直写光刻领域的双远心镜头工作在单一光源的窄波段下，使用虚拟玻璃材料，或者玻璃透过率低，难以保证曝光系统的透过率需求。并且目前的双远心曝光镜头多用于波长为405nm的光源，而干膜对于波长为405nm的光源吸收度较差，影响曝光效果。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种能够应用于宽波段，并且透过率高的双远心曝光镜头。为了实现上述目的，本技术提供一种双远心曝光镜头，包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组，所述光阑位于所述前透镜组和所述后透镜组之间，所述前透镜组包括依次设置的第一透镜，其为双凹透镜；第二透镜，其为双凸透镜；第三透镜，其为双凸透镜；第四透镜，其为双凸透镜；第五透镜为双凹透镜；所述后透镜组包括依次设置的第七透镜，其为双凹透镜，第八透镜，其为弯月透镜；第十一透镜，其为双凸透镜；所述第八透镜和所述第十一透镜之间至少一弯月透镜。进一步的，所述光阑和所述第七透镜之间设有第六透镜，所述第六透镜为双凸透镜。进一步的，所述前透镜前为物方，所述后透镜后为像方；或者所述前透镜前为像方，所述后透镜后为物方。进一步的，所述第八透镜，物方的曲率半径小于像方的曲率半径；进一步的，所述第八透镜和第十一透镜之间的弯月透镜，所述物方的曲率半径大于像方的曲率半径。进一步的，所述第八透镜和第十一透镜之间的弯月透镜的数量是一至三个。进一步的，所述第一透镜和第二透镜构成粘合透镜。进一步的，所述凹透镜使用火石玻璃材料。进一步的，所述凸透镜使用熔石英或者冕牌玻璃材料。进一步的，所述弯月透镜采用透过率高的材料。本技术的曝光镜头，物象远心度小，畸变小，透过率高。所述曝光镜头可以应用波长范围在360nm-410nm的光源。可以同时使用波长在405nm和375nm的光源，提高干膜的吸收度，够解决目前的较常用的光源波长为405nm干膜吸收度差的问题。附图说明图1为本技术的双远心曝光镜头的结构示意图；图2为本技术的双远心曝光镜头光路示意图图3为实施例中的双远心曝光镜头的MTF图；图4为实施例中的双远心曝光镜头的畸变图；图5为实施例中的双远心曝光镜头的像方远心度曲线图。图6位实施例中的双远心曝光镜头的物方远心度曲线图。具体实施方式下面结合附图，对本技术的优选实施例进一步的说明。如图所示，其为本技术的一优选实施例，双远心曝光镜头包括依次设置的前透镜组1、光阑2和后透镜组3，所述光阑2位于所述前透镜组1和所述后透镜组3之间。所述前透镜组1包括依次设置的第一透镜11，其为双凹透镜；第二透镜12，其为双凸透镜；第三透镜13，其为双凸透镜；第四透镜14，其为双凸透镜；第五透镜15为双凹透镜。较佳的，所述第一透镜11和第二透镜12构成粘合透镜。所述后透镜组3包括依次设置的第六透镜31，其为双凸透镜；第七透镜32，其为双凹透镜，第八透镜33，其为弯月透镜；第九透镜34，其为弯月透镜；第十透镜35，其为弯月透镜；第十一透镜36，其为双凸透镜。其中所述第八透镜33的朝向光阑2一侧的曲率半径小于另一侧的曲率半径，所述第九透镜34和第十透镜35朝向光阑2一侧的曲率半径大于另一侧的曲率半径。需要说明的是，上述第一透镜11、第二透镜12至第十一透镜36的描述，第一、第二等仅是为了区分透镜的命名方式，不代表排列顺序。上述为本技术的一较佳实施例，其并不用于限定本技术的范围。其中，所述后透镜组3可以仅包含所述第七透镜32、所述第八透镜33、所述第九透镜34、所述第十透镜35和所述第十一透镜36；或者所述后透镜组3中仅包含所述第六透镜31、所述第七透镜32、所述第八透镜33、所述第九透镜34、所述第十一透镜36；或者所述后透镜组3中仅包含所述第七透镜32、所述第八透镜33、所述第九透镜34、所述第十一透镜36；或者所述后透镜组3中包含所述八透镜33和所述第十一透镜36之间包含多个弯月透镜，所述多个弯月透镜朝向所述光阑2一侧的曲率半径大于另一侧的曲率半径。即，所述后透镜组中，所述第六透镜31并非是必须的，加入所述第六透镜31可以对光起到更好的汇聚作用；所述第八透镜33和所述第十一透镜36之间包含至少一个弯月透镜，所述弯月透镜朝向所述光阑2一侧的曲率半径大于另一侧的曲率半径。较佳的，位于所述第八透镜33和所述第十一透镜36之间的弯月透镜的数量为一至三个，弯月透镜可以增加光线的平滑度，使得像差减小。但是多个弯月透镜会增加成本，透过率减小。所述物方可以位于所述前透镜组1前方，所述像方位于所述后透镜组3后方；若所述物方位于所述后透镜组3后方，所述像方位于所述前透镜组1前方，所述透镜设置的顺序不变，所述透镜180度翻转。图1和图2的示例为物方位于所述前透镜组1前方，所述像方位于所述后透镜组3后方。若所述像方位于所述后透镜组3后方，所述物方位于所述前透镜组1前方，以所述第七透镜32为例，经过180度翻转后，所述朝向光阑2方向的曲率半径大于另一侧的曲率半径。即无论物方位于所述前透镜组1前，还是所述后透镜组3后，所述透镜朝向所述物方的曲率半径的范围是相同的，相应的，所述透镜朝向所述像方的曲率半径的范围是相同的。对于第八透镜33来说，所述物方的曲率半径小于像方的曲率半径；对于所述第八透镜33和第十一透镜36之间的弯月透镜来说，所述物方的曲率半径小于像方的曲率半径。较佳的，所述双远心曝光镜头的曲率半径R的范围如下：第一透镜11的物面侧：105mm＜R＜160mm，第一透镜的像面侧：50mm＜R＜75mm；第二透镜12的物面侧：55mm＜R＜85mm，第二透镜的像面侧：60mm＜R＜90mm；第三透镜13的物面侧：50mm＜R＜75mm，第三透镜的像面侧：125mm＜R＜195mm；第四透镜14的物面侧：40mm＜R＜60mm，第四透镜的像面侧：135mm＜R＜210mm；第五透镜15的物面侧：45mm＜R＜70mm，第五透镜的像面侧：95mm＜R＜150mm；第六透镜31的物面侧：50mm＜R＜80mm，第六透镜的像面侧：1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双远心曝光镜头，包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组，所述光阑位于所述前透镜组和所述后透镜组之间，其特征在于：所述前透镜组包括依次设置的第一透镜，其为双凹透镜；第二透镜，其为双凸透镜；第三透镜，其为双凸透镜；第四透镜，其为双凸透镜；第五透镜为双凹透镜；所述后透镜组包括依次设置的第七透镜，其为双凹透镜，第八透镜，其为弯月透镜；第十一透镜，其为双凸透镜；所述第八透镜和所述第十一透镜之间至少一弯月透镜。/n

【技术特征摘要】
1.一种双远心曝光镜头，包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组，所述光阑位于所述前透镜组和所述后透镜组之间，其特征在于：所述前透镜组包括依次设置的第一透镜，其为双凹透镜；第二透镜，其为双凸透镜；第三透镜，其为双凸透镜；第四透镜，其为双凸透镜；第五透镜为双凹透镜；所述后透镜组包括依次设置的第七透镜，其为双凹透镜，第八透镜，其为弯月透镜；第十一透镜，其为双凸透镜；所述第八透镜和所述第十一透镜之间至少一弯月透镜。


2.根据权利要求1所述的一种双远心曝光镜头，其特征在于：所述光阑和所述第七透镜之间设有第六透镜，所述第六透镜为双凸透镜。


3.根据权利要求1所述的一种双远心曝光镜头，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张柯，李伟成，张雷，
申请(专利权)人：苏州源卓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32