压力传感器单元及压力传感器制造技术

压力传感器单元及压力传感器，该压力传感器单元包括依次设置的微结构层、柔性导电薄膜层及叉指电极层，在结构层朝向柔性导电薄膜层一侧的表面上形成有多个凸凹微结构。该压力传感器单元具有较高的本征重复性、灵敏度及分辨率。

Pressure sensor unit and pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
压力传感器单元及压力传感器
本专利技术涉及柔性设备
，尤其是一种压力传感器单元及压力传感器。
技术介绍
商业化三层式柔性压力传感器由于分开制造后再组装的特性，具备制造简单，成本低、可设计性强。图1所示为现有技术中压力传感器单元的结构示意图，图2所示为图1所示的压力传感器单元多次检测结果的压力-电阻关系图。如图1及图2所示，现有技术中的压力传感器单元一般包括起到保护作用的硬质背板91、导电薄膜92及叉指电极93，导电薄膜92设置于硬质背板91及叉指电极93之间。由于硬质背板91不易变形，且导电薄膜92的脆性较大，导致压力传感器单元难以随着外加压力的改变而实现均匀形变，使得现有的压力传感器单元的本征重复性(即对同一压力传感器进行多次测量，其压力-电阻曲线的重合程度)、线性度(即传感器输入-输出曲线与选定的拟合直线之间的偏差)、灵敏度(即选取压力传感器压力-电阻曲线的斜率为该压力传感器的灵敏度)及分辨率(即最小检出限值)较低，不符合压力传感器发展的需要。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种压力传感器单元及压力传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器单元，其特征在于：包括微结构层、柔性导电薄膜层及叉指电极层，所述柔性导电薄膜层设置于所述微结构层与所述叉指电极层之间，在所述微结构层朝向所述柔性导电薄膜层一侧的表面上形成有多个凸凹微结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器单元，其特征在于：包括微结构层、柔性导电薄膜层及叉指电极层，所述柔性导电薄膜层设置于所述微结构层与所述叉指电极层之间，在所述微结构层朝向所述柔性导电薄膜层一侧的表面上形成有多个凸凹微结构。


2.根据权利要求1所述的压力传感器单元，其特征在于：所述凸凹微结构呈棱台形、锯齿形、波浪形、半圆形或金字塔形。


3.根据权利要求1所述的压力传感器单元，其特征在于：所述微结构层由聚二甲基硅氧烷、Eco-flex、热塑性聚氨酯、聚乙烯醇、氯丁橡胶或丁腈橡胶形成。


4.根据权利要求1所述的压力传感器单元，其特征在于：所述柔性导电薄膜层由柔性高分子材料和导电无机填料复合而成。


5.根据权利要求4所述的压力传感器单元，其特征在于：以质量百分比计所述柔性导电薄膜层中柔性高分子材料为75％-95％，导电无机填料为5％-25％。


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【专利技术属性】
技术研发人员：冯雪，傅棋琪，陈颖，
申请(专利权)人：浙江清华柔性电子技术研究院，清华大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33