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浙江清华柔性电子技术研究院
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压力传感器单元及压力传感器制造技术
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下载压力传感器单元及压力传感器的技术资料
文档序号:23847064
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压力传感器单元及压力传感器,该压力传感器单元包括依次设置的微结构层、柔性导电薄膜层及叉指电极层,在结构层朝向柔性导电薄膜层一侧的表面上形成有多个凸凹微结构。该压力传感器单元具有较高的本征重复性、灵敏度及分辨率。...
该专利属于浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学授权不得商用。
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