一种用银纸包覆CVD ZnS红外光学材料热等静压处理方法技术

技术编号:23831057 阅读:25 留言:0更新日期:2020-04-18 01:08
一种用银纸包覆CVD ZnS红外光学材料热等静压处理方法,将用银纸完全包覆的CVD ZnS晶体放入热等静压密闭腔室内,抽真空后通入惰性气体氩气,对腔内进行高温高压处理。本发明专利技术用银纸包覆CVD ZnS红外光学材料热等静压处理方法,其可以消除Zn、S的非化学计量配比和晶界处的孔洞、夹杂,消除因Zn‑H键而造成6.2μm波长左右出现吸收,降低CVD ZnS材料内部的缺陷和散射中心,拓宽透过波段,提高光学透过率。

A method of hot isostatic pressing for CVD ZnS infrared optical material coated with silver paper

【技术实现步骤摘要】
一种用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法
本专利技术属于红外光学材料
,特别是一种用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法。
技术介绍
ChemicalVaporDepositionZincSulfide,简称标准硫化锌(CVDZnS),是指高温下采用化学气相沉积法制备的硫化锌产品,是一种优异的红外光学材料,在8-12μm波长范围内有良好红外透射性能,在可见光范围内时透射性能极差。然而,为了提高CVDZnS材料在可见范围的透射性能,降低CVDZnS材料内部的缺陷和散射中心,拓宽透过波段,提高光学透过率,经常在材料的表面包覆一层金属纸。目前常用包覆手段有钴、铁材料包覆,但是这些包覆手段对消除散射中心和晶界处的孔洞、夹杂作用小,无法消除Zn-H键在6.2μm波长左右出现吸收,并且通过这些方法处理获得CVDZnS透过波段和光学透过率都几乎无变化,成为业界一大难题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法,其可以消除Zn、S的非化学计量配比和晶界处的孔洞、夹杂,消除因Zn-H键而造成6.2μm波长左右出现的吸收,降低CVDZnS材料内部的缺陷和散射中心,拓宽透过波段,提高光学透过率。为实现上述目的,本专利技术采取以下技术方案:一种用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法,包括下列步骤:A.将CVDZnS样品表面进行光学加工处理,使其表面粗糙度Ra=0.06~0.09μm;B.然后将加工处理好的厚度为4mm的CVDZnS样品放入装有乙醇的超声波清洗池里清洗,清洗时间为10~20min,清洗完成后取出并用干净纱布擦拭掉表面残留乙醇;C.将晾干的CVDZnS样品用厚度为0.1~0.3mm的银纸包覆,放入热等静压密闭腔室内,对腔室进行抽真空,然后通入氩气,控制热等静压腔内压力为120~150Mpa,升温速率0.3~0.5℃/min,热等静压腔内处理温度为800~900℃,处理时间60~80h,降温速率0.2~0.4℃/min。优选的,所述步骤A中,表面粗糙度Ra=0.08μm。优选的,所述步骤B中,所述乙醇纯度为99.9%,清洗时间为15min。优选的,所述步骤C中,所述银纸的厚度为0.2mm。优选的,所述步骤C中,控制热等静压腔内压力为130Mpa。优选的,所述步骤C中,升温速率为0.4℃/min,热等静压腔内处理温度为890℃,处理时间70h,降温速率为0.3℃/min。优选的,所述步骤C中,通入的氩气纯度为99.99%。本专利技术的有益效果是:本专利技术用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法,其可以消除Zn、S的非化学计量配比和晶界处的孔洞、夹杂,消除因Zn-H键而造成6.2μm波长左右出现吸收,降低CVDZnS材料内部的缺陷和散射中心,拓宽透过波段,提高光学透过率。附图说明图1是本专利技术用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法的流程示意图。图2是本专利技术用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法处理的CVDZnS与空白处理及其他金属包覆处理的CVDZnS在0.38μm-2μm的透过光谱图。图3是本专利技术用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法处理的CVDZnS与空白处理及其他金属包覆处理的CVDZnS在2μm-16μm的透过光谱图。具体实施方式为使本专利技术的技术路线更加清晰明了,下面将结合
技术实现思路
和附图对本专利技术实施方案作进一步详细描述。如图1所示,本专利技术提供的一种用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法,将用银纸完全包覆的CVDZnS晶体放入热等静压密闭腔室内,抽真空后通入惰性气体氩气,对腔内进行高温高压处理。以下通过对比实验,来说明本专利技术用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法处理的CVDZnS与空白处理及其他金属包覆处理的CVDZnS的光学透过率的区别。首先将CVDZnS表面进行光学加工处理,表面粗糙度Ra=0.08μm,然后将加工处理好的厚度为4mm的样品放入装有乙醇(纯度为99.9%)的超声波清洗池里清洗,清洗时间为15min,清洗完成后取出并用干净纱布擦拭掉表面残留乙醇。将晾干的CVDZnS分为五组,其中三组分别用厚度为0.2mm的银纸、钴纸、铁纸包覆,剩余两组不进行包覆。将三组包覆金属纸的样品,以及一组未包覆金属纸的样品,按照图1所示流程,分别放入热等静压密闭腔室内,对腔室进行抽真空,然后通入氩气,控制热等静压腔内压力为130Mpa,升温速率0.4℃/min,热等静压腔内处理温度为890℃,处理时间70h,降温速率0.3℃/min,待处理完成后取出样品进行光学透过测试,同时将剩余一组未包覆金属纸的样品直接进行光学透过测试,透过光谱图如图2、图3所示,其中,标注“Ag”的曲线是用银纸包覆处理后的CVDZnS在0.38μm-2μm与2μm-16μm的透过光谱图,标注“Co”的曲线是用钴纸包覆处理后的CVDZnS在0.38μm-2μm与2μm-16μm的透过光谱图;标注“Fe”的曲线是用铁纸包覆处理后的CVDZnS在0.38μm-2μm与2μm-16μm的透过光谱图;标注“nometal”的曲线是无任何材料包覆处理后的CVDZnS在0.38μm-2μm与2μm-16μm的透过光谱图;标注“notreatment”的曲线是处理前的CVDZnS在0.38μm-2μm与2μm-16μm的透过光谱图。本专利技术将CVDZnS放入以氩气为传压介质的密闭腔室内,表面被银纸包覆,不仅可以提高CVDZnS所处区域的温度一致性,降低材料残余应力,还能够吸附出材料内部的氢、氧杂质;对腔内通入氩气能够使被处理的CVDZnS各向均衡受压,能够消除Zn、S的非化学计量配比和晶界处的孔洞、夹杂,消除因Zn-H键而造成6.2μm波长左右出现的吸收,降低CVDZnS材料内部的缺陷和散射中心,拓宽透过波段,提高光学透过率。以上所述,仅是本专利技术的较佳实施例而已,并非对本专利技术的结构作任何形式上的限制。凡是依据本专利技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本专利技术的技术方案的范围内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种用银纸包覆CVD ZnS红外光学材料热等静压处理方法,其特征在于,包括下列步骤:/nA.将CVD ZnS样品表面进行光学加工处理,使其表面粗糙度Ra=0.06~0.09μm;/nB.然后将加工处理好的厚度为4mm的CVD ZnS样品放入装有乙醇的超声波清洗池里清洗,清洗时间为10~20min,清洗完成后取出并用干净纱布擦拭掉表面残留乙醇;/nC.将晾干的CVD ZnS样品用厚度为0.1~0.3mm的银纸包覆,放入热等静压密闭腔室内,对腔室进行抽真空,然后通入氩气,控制热等静压腔内压力为120~150Mpa,升温速率0.3~0.5℃/min,热等静压腔内处理温度为800~900℃,处理时间60~80h,降温速率0.2~0.4℃/min。/n

【技术特征摘要】
1.一种用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法,其特征在于,包括下列步骤:
A.将CVDZnS样品表面进行光学加工处理,使其表面粗糙度Ra=0.06~0.09μm;
B.然后将加工处理好的厚度为4mm的CVDZnS样品放入装有乙醇的超声波清洗池里清洗,清洗时间为10~20min,清洗完成后取出并用干净纱布擦拭掉表面残留乙醇;
C.将晾干的CVDZnS样品用厚度为0.1~0.3mm的银纸包覆,放入热等静压密闭腔室内,对腔室进行抽真空,然后通入氩气,控制热等静压腔内压力为120~150Mpa,升温速率0.3~0.5℃/min,热等静压腔内处理温度为800~900℃,处理时间60~80h,降温速率0.2~0.4℃/min。


2.根据权利要求1所述的用银纸包覆CVDZnS红外光学材料热等静压处理方法,其特征在于:所述步骤A中,表面粗糙度Ra=0.08μm。


3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭立赵永田杨海魏乃光袁琴杨建纯石红春李冬旭黎建明
申请(专利权)人:有研国晶辉新材料有限公司
类型:发明
国别省市:河北;13

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