用于硅片背面的抛光液添加剂、抛光液以及背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法技术

一种用于硅片背面的抛光液添加剂、抛光液以及背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法，属于太阳能电池技术领域。按重量百分数计，抛光液添加剂包括：烷基三甲基氢氧化氨1～3％、磷酸钠盐0.5～2％、非离子表面活性剂2～5％和水90～96.5％。按重量百分数计，抛光液包括：碱类物质3～5％、抛光液添加剂2～5％以及水90～95％。背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法，包括：对进行扩散制程后的硅片的背面进行酸抛以去除磷硅玻璃；然后对硅片进行清洗；利用抛光液对清洗后的硅片的背面进行抛光。其能提高硅片背面的反射率和少子寿命，并能够提高背钝化晶硅太阳能电池的电池效率。

Polishing method for polishing liquid additive, polishing liquid and silicon wafer of back passivated crystalline silicon solar cell

【技术实现步骤摘要】
用于硅片背面的抛光液添加剂、抛光液以及背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法
本申请涉及太阳能电池
，具体而言，涉及一种用于硅片背面的抛光液添加剂、抛光液以及背钝化晶硅太阳能电池的硅片的抛光方法。
技术介绍
目前太阳能电池主要以晶体硅作为基底材料，由于在硅片表面周期性破坏，会产生大量悬挂键(danglingbond)，使得晶体表面存在大量位于带隙中的缺陷能级；除此之外，位错、化学残留物、表面金属的沉积均会导入缺陷能级，使得硅片表面成为复合中心，造成较大的表面复合速率，进而限制了转换效率。背钝化电池对比常规电池主要优势在于降低电池片背面界面态，提高钝化能力，并藉由延长光线路程，提高长波响应以及短路电流，使得背钝化电池较常规电池转换效率提高了1.0-1.2％甚至以上。其中，与钝化层接触的背面表面结构形态对于后续钝化层沉积质量以及界面形态共融起到核心作用。现有技术的背钝化(PassivateEmitterRearContact,PERC)太阳能电池，其主要制程为：制绒、磷扩散、背面刻蚀、退火、背面镀膜AlOx、背面镀膜Si本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片背面的抛光液添加剂，其特征在于，按重量百分数计，所述抛光液添加剂包括：烷基三甲基氢氧化氨1～3％、磷酸钠盐0.5～2％、非离子表面活性剂2～5％和水90～96.5％。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片背面的抛光液添加剂，其特征在于，按重量百分数计，所述抛光液添加剂包括：烷基三甲基氢氧化氨1～3％、磷酸钠盐0.5～2％、非离子表面活性剂2～5％和水90～96.5％。


2.根据权利要求1所述的抛光液添加剂，其特征在于，按重量百分数计，所述抛光液添加剂包括：所述烷基三甲基氢氧化氨2％、所述磷酸钠盐1～2％、所述非离子表面活性剂3～4％和所述水92～94％。


3.根据权利要求1或2所述的抛光液添加剂，其特征在于，所述烷基三甲基氢氧化氨选自十二烷基三甲基氢氧化铵和十六烷基三甲基氢氧化铵中的任一种或两者。


4.根据权利要求1或2所述的抛光液添加剂，其特征在于，所述磷酸钠盐选自三聚磷酸钠、焦磷酸钠和六偏磷酸钠中的任一种或任意多种。


5.根据权利要求1或2所述的抛光液添加剂，其特征在于，所述非离子表面活性剂选自聚乙二醇醚和聚乙二醇中的任一者或两者。


6.一种用于硅片背面的抛光液，其特征在于，按重量百分数计，所述抛光液包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈坤，谢毅，苏荣，王岚，李忠涌，张鹏，王璞，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51