超薄板透明基板上表面异物检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于LCD、OLED、PDP等FPD的玻璃基板或者用于一部分半导体的蓝宝石晶片等的使光通过的透明基板的制造工序以及使用透明基板的FPD及半导体制造工序中的图案形成工序中用于去除基板下表面的异物而仅检测上表面异物的异物检测装置以及方法。本发明专利技术尤其涉及针对厚度在0.3T以下的超薄板透明基板仅检测上表面异物的异物检测装置以及方法。

Detection device of foreign matters on the surface of ultra thin plate transparent substrate

【技术实现步骤摘要】
超薄板透明基板上表面异物检测装置
本专利技术涉及一种异物检测装置以及方法，在用于LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示器)、OLED(OrganicLightEmittingDiodes，有机发光二极管)、PDP(PlasmaDisplayPanel，等离子显示器面板)等FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)的玻璃基板(Glasssubstrate)或者用于一部分半导体的蓝宝石晶片等的使光透射的透明基板的制造工序以及使用透明基板的FPD及半导体制造工序中的图案形成工序中用于去除基板下表面的异物并仅检测上表面异物。本专利技术尤其涉及针对0.3T以下的厚度的超薄板透明基板仅检测上表面异物的异物检测装置以及方法。
技术介绍
在薄厚度的透明基板的制造工序、包装工序以及使用其的图案形成工序等中，可能会由于各种理由而产生异物。当在这些工序环境下产生的异物附着在基板的上表面时，这些异物会妨碍在之后的工序中将要形成在上表面的像素用微细图案的形成，使得无法在相应位置形成像素生成用电路图案，因此成为不良像素而降低工序成品本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，包括：/n光源部，向透明基板照射光，并且是以与所述透明基板的材质对应的偏振角倾斜地照射光；/n第一检测部，检测附着于所述基板的上表面的异物的因被照射的所述光而产生的第一散射光；/n第二检测部，检测附着于所述基板的下表面的异物的因被照射的所述光而产生的第二散射光；以及/n控制部，对通过所述第一检测部检测到的散射光的亮度、和通过所述第二检测部检测到的散射光的亮度进行比较，来区分附着在所述基板的上表面的异物、和附着在所述基板的下表面的异物。/n

【技术特征摘要】
1.一种超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，包括：
光源部，向透明基板照射光，并且是以与所述透明基板的材质对应的偏振角倾斜地照射光；
第一检测部，检测附着于所述基板的上表面的异物的因被照射的所述光而产生的第一散射光；
第二检测部，检测附着于所述基板的下表面的异物的因被照射的所述光而产生的第二散射光；以及
控制部，对通过所述第一检测部检测到的散射光的亮度、和通过所述第二检测部检测到的散射光的亮度进行比较，来区分附着在所述基板的上表面的异物、和附着在所述基板的下表面的异物。


2.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
所述超薄板透明基板上表面异物检测装置包括：
物镜，配置在透明基板与第一检测部及第二检测部之间；以及
分束器，配置在所述物镜与第一检测部及第二检测部之间，
所述第一散射光借助所述分束器发生反射或者透过而传递到所述第一检测部，所述第二散射光则借助所述分束器发生透过或者反射而传递到所述第二检测部。


3.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
在所述透明基板为玻璃的情况下，所述光源部以入射角倾斜成54～60度的方式照射光。


4.根据权利要求1所述的超薄板透明基板上表面异物检测装置，其特征在于，
对于所述超薄板透明基板上表面异物检测装置而言，在包括光照射于所述透明基板的上表面的第一照射面、...

【专利技术属性】
技术研发人员：李炯锡，蔡哲钰，金镇庸，金成镇，
申请(专利权)人：纳米普泰股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR