有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法。本发明专利技术的目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够通过在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序，在发现缺陷或异常时省略后续工序的进行并反馈给沉积设备，由此实现生产费用的降低及生产效率的提高。本发明专利技术的另一目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够正确地自动对齐(align)多个检查用设备，以在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的过程中，为了防止因与外部大气的接触引起的变质，将老化及光学检查工序均在氮腔室内顺利地自动进行。

Aging and optical inspection device and method of OLED panel

【技术实现步骤摘要】
有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法
本专利技术涉及一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法(Deviceandmethodforagingandvision-inspectingOLED)，用于容易且顺利地进行在出库已制造的有机发光二极管面板之前将其人为地老化特定程度的老化(aging)工序、以及在老化工序之后检查稳定化后的有机发光二极管面板的图像质量、颜色特性、颜色异常等的光学检查工序。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiodes，OLED)是指，利用电流流过荧光有机化合物时发光的电致发光现象来自行发光的自发光有机物质。有机发光二极管具有能够在低的电压下驱动，能够做得薄，并且具有宽的视角及快的响应速度等的优点。由于这样的多个优点，有机发光二极管作为各种电子产品的显示器面板现在被广泛使用，并且其使用范围逐渐扩大。已知通常有机发光二极管具有在初始驱动期间迅速被劣化之后被稳定化的特性。由于这样的特性，在制造有机发光二极管面板之后直接出库的情况下，存在在刚刚出库之后产品的品质或可靠性大幅下降的风险。因此，通常在制造有机发光二极管面板之后在出库之前必不可少地进行老化(aging)工序，在该老化工序中，对有机发光二极管施加规定时间(通常为10～30分钟左右)的高电压来使其全面性发光，由此进行人为地进行老化来将有机发光二极管充分稳定化。通常在制造有机发光二极管面板时，在由玻璃(glass)形成的大型母基板上利用有机物质沉积图案。此时，在要制造的产品的尺寸比母基板小时，可用一个母基板制造多个产品，在这样的情况下可在一个母基板上沉积多个有机物质图案，通常将相当于一个产品的有机物质图案称为单元(cell)。在母基板沉积单元并经过干燥等多个工序之后，通过将粘贴基板重叠于母基板粘贴来将形成有单元的空间称为相对于外部封闭的状态的工序就是如上所述的密封工序。在这样的密封工序之后将基板切割为相当于各单元的尺寸来完成有机发光二极管面板产品的制造。另外，构成有机发光二极管的有机物对水分及氧非常敏感，因此若暴露于空气中则立即会变质。因此，通常只有在经过如上所述的密封工序等多个步骤的制造工序来产品成为能够驱动的状态之后，才进行老化工序。另一方面，在光学检查工序中检查图像质量、颜色特性、颜色异常等，显然这样的检查结果只有在有机发光二极管面板经过老化工序成为稳定化后的状态下才能得到正确的检查结果。即，光学检查工序必须在老化工序之后进行，因此其结果光学检查工序也在密封工序之后进行。在韩国专利申请第1149055号(“OLED面板的老化装置”，2012.05.16，下面称为“现有文献”)中，公开了通过将从母基板切割的多个有机发光二极管面板以面板为单位进行连续的老化处理，由此缩小设备规模并提高生产量的技术，在此技术中也明确记载在完成密封工序并从母基板切割下来之后进行老化工序。但是，在进行检查的结果在某个产品检测出缺陷的情况下，将与该缺陷产品同时生产的所有产品判定为存在缺陷，所以存在制造费用的损失增加且生产效率也大幅下降等的诸多问题。因此，存在在沉积工序之后在进行其他工序之前进行老化工序及光学检查工序的需求。但是，如上所述，若构成有机发光二极管的有机物质暴露于空气中时迅速变质，需要改良在沉积工序之后使得不发生空气中暴露的同时最大程度迅速且正确地进行老化工序及光学检查工序的设备。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国专利申请第1149055号(“OLED面板的老化装置”，2012.05.16)
技术实现思路
(专利技术要解决的课题)因此，本专利技术是为了解决如上所述的以往技术的问题而做出的，本专利技术的目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够通过在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序在发现缺陷或异常时省略后续工序的进行并反馈给沉积设备，由此实现生产费用的降低及生产效率的提高。本专利技术的另一目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法，能够正确地自动对齐(align)多个检查用设备,以在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序的过程中，为了防止因与外部大气的接触引起的变质，将老化及光学检查工序均在氮腔室内顺利地自动进行。(用于解决课题的技术方案)用于达成如上所述的目的的本专利技术的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，是对基板500进行老化及光学检查的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置100，在该基板500的上表面沉积形成有形成有机发光二极管面板的由有机物质图案构成的至少一个单元550、以及由向所述单元550供电的电路图案构成且形成在所述单元550的外围部分的多个连接部555，该该有机发光二极管面板的老化及光学检查装置可包括：真空吸附单元110，配置于所述基板500的下表面，使所述基板500上升或者吸附并固定所述基板500；多个机械对齐单元120，分散配置于所述基板500的下表面的多个位置，直接移动所述基板500来将所述基板500对齐到所述真空吸附单元110上的固定位置；光学对齐单元130，分散配置于所述基板500的下侧的多个位置，光学识别在所述基板500上形成的对齐标识；UVW平台140，配置于所述基板500的上侧，能够沿作为水平方向的X、Y、θ进行3轴驱动，并且能够沿作为垂直方向的Z轴进行驱动；探针板150，通过所述UVW平台140被移动，包括与所述连接部555连接来供电的多个探针销155；探针对齐单元160，分散配置于所述探针板150的上侧的多个位置，光学识别在所述探针板150上形成的对齐销；信号生成单元170，与所述探针板150电连接来按照已设定的信号模式供电；以及光学检查单元180，能够移动地配置于所述基板500的下侧，对所述基板500进行光学检查。此时，所述老化及光学检查装置100可通过所述探针销155与所述连接部555的连接来被传递从所述信号生成单元170施加的电量，由此所述单元550被点亮并进行所述单元550的老化工序，并通过在所述单元550被点亮的状态下由所述光学检查单元180扫描所述单元550的区域，进行所述单元550的光学检查工序。另外，在所述老化及光学检查装置100中，可以以在所述真空吸附单元110、所述UVW平台140及所述探针板150各自的与所述单元550的区域对应的区域能够通过光的方式，在所述真空吸附单元110、所述UVW平台140及所述探针板150分别形成有分别具有与所述单元550的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的真空吸附单元窗111、UVW平台窗141及探针板窗151。另外，在所述老化及光学检查装置100中，可在所述真空吸附单元110形成有贯通路形状的对齐单元配置路径112，所述机械对齐单元120以贯通所述对齐单元配置路径112的方式被配置来直接移动所述基板500。另外，所述光学检查单元180包括：颜色异常检查部181，包括相机及透镜且能够调节分辨率，检查点亮状态的所述单元550的图像质量及颜色异常；以及颜色特性检查部182，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，/n是对基板(500)进行老化及光学检查的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置(100)，在该基板(500)的上表面沉积形成有形成有机发光二极管面板的由有机物质图案构成的至少一个单元(550)、以及由向所述单元(550)供电的电路图案构成且形成在所述单元(550)的外围部分的多个连接部(555)，/n该有机发光二极管面板的老化及光学检查装置的特征在于，包括：/n真空吸附单元(110)，配置于所述基板(500)的下表面，使所述基板(500)上升或者吸附并固定所述基板(500)；/n多个机械对齐单元(120)，分散配置于所述基板(500)的下表面的多个位置，直接移动所述基板(500)来将所述基板(500)对齐到所述真空吸附单元(110)上的固定位置；/n光学对齐单元(130)，分散配置于所述基板(500)的下侧的多个位置，光学识别在所述基板(500)上形成的对齐标识；/nUVW平台(140)，配置于所述基板(500)的上侧，能够沿作为水平方向的X、Y、θ进行3轴驱动，并且能够沿作为垂直方向的Z轴进行驱动；/n探针板(150)，通过所述UVW平台(140)被移动，包括与所述连接部(555)连接来供电的多个探针销(155)；/n探针对齐单元(160)，分散配置于所述探针板(150)的上侧的多个位置，光学识别在所述探针板(150)上形成的对齐销；/n信号生成单元(170)，与所述探针板(150)电连接来按照已设定的信号模式供电；以及/n光学检查单元(180)，能够移动地配置于所述基板(500)的下侧，对所述基板(500)进行光学检查。/n...

【技术特征摘要】
20181005 KR 10-2018-01187571.一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，
是对基板(500)进行老化及光学检查的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置(100)，在该基板(500)的上表面沉积形成有形成有机发光二极管面板的由有机物质图案构成的至少一个单元(550)、以及由向所述单元(550)供电的电路图案构成且形成在所述单元(550)的外围部分的多个连接部(555)，
该有机发光二极管面板的老化及光学检查装置的特征在于，包括：
真空吸附单元(110)，配置于所述基板(500)的下表面，使所述基板(500)上升或者吸附并固定所述基板(500)；
多个机械对齐单元(120)，分散配置于所述基板(500)的下表面的多个位置，直接移动所述基板(500)来将所述基板(500)对齐到所述真空吸附单元(110)上的固定位置；
光学对齐单元(130)，分散配置于所述基板(500)的下侧的多个位置，光学识别在所述基板(500)上形成的对齐标识；
UVW平台(140)，配置于所述基板(500)的上侧，能够沿作为水平方向的X、Y、θ进行3轴驱动，并且能够沿作为垂直方向的Z轴进行驱动；
探针板(150)，通过所述UVW平台(140)被移动，包括与所述连接部(555)连接来供电的多个探针销(155)；
探针对齐单元(160)，分散配置于所述探针板(150)的上侧的多个位置，光学识别在所述探针板(150)上形成的对齐销；
信号生成单元(170)，与所述探针板(150)电连接来按照已设定的信号模式供电；以及
光学检查单元(180)，能够移动地配置于所述基板(500)的下侧，对所述基板(500)进行光学检查。


2.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述老化及光学检查装置(100)中，
通过所述探针销(155)与所述连接部(555)的连接来被传递从所述信号生成单元(170)施加的电量，由此所述单元(550)被点亮并进行所述单元(550)的老化工序，
通过在所述单元(550)被点亮的状态下由所述光学检查单元(180)扫描所述单元(550)的区域，进行所述单元(550)的光学检查工序。


3.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述老化及光学检查装置(100)中，
以在所述真空吸附单元(110)、所述UVW平台(140)及所述探针板(150)各自的与所述单元(550)的区域对应的区域能够通过光的方式，
在所述真空吸附单元(110)、所述UVW平台(140)及所述探针板(150)分别形成有分别具有与所述单元(550)的区域对应的位置及面积的贯通孔形状的真空吸附单元窗(111)、UVW平台窗(141)及探针板窗(151)。


4.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述老化及光学检查装置(100)中，
在所述真空吸附单元(110)形成有贯通路形状的对齐单元配置路径(112)，
所述机械对齐单元(120)以贯通所述对齐单元配置路径(112)的方式被配置来直接移动所述基板(500)。


5.根据权利要求1所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述光学检查单元(180)包括：
颜色异常检查部(181)，包括相机及透镜且能够调节分辨率，检查点亮状态的所述单元(550)的图像质量及颜色异常；以及
颜色特性检查部(182)，检查点亮状态的所述单元(550)的包括亮度、灰度及效率的颜色特性。


6.根据权利要求5所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述光学检查单元(180)还包括变焦范围部(183)，该变焦范围部(183)包括变焦透镜且能够调节倍率，并配置于所述颜色异常检查部(181)，推摄点亮状态的所述单元(550)的被选择的区域，以使所述颜色异常检查部(181)再次检查被选择的区域。


7.根据权利要求5所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
在所述光学检查单元(180)中，
所述颜色异常检查部(181)及所述颜色特性检查部(182)分别能够沿水平方向移动，以扫描并检查所述单元(550)的全部面积。


8.根据权利要求7所述的有机发光二极管面板的老化及光学检查装置，其特征在于，
所述光学检查单元(180)包括引导杆(185)，该引导杆(185)沿从X、Y中选择的一轴延伸，并且能够沿另一轴移动，
所述颜色异常检查部(181)及所述颜色特性检查部(182)能够随所述引导杆(185)移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相植，安根湖，高锡准，黄暎福，
申请(专利权)人：科美仪器，
类型：发明
国别省市：韩国;KR