下载有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法的技术资料

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本发明涉及有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法。本发明的目的在于提供一种有机发光二极管面板的老化及光学检查装置、以及方法,能够通过在刚刚进行沉积工序之后进行老化及光学检查工序,在发现缺陷或异常时省略后续工序的进行并反馈给沉积设备...
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