一种基于平板对称结构的折射率传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于平板对称结构的折射率传感器，包括基底，基底上设有金属纳米结构，金属纳米结构包括两个沿横向间隔设置的且沿纵向对称设置的金属纳米线单元，各金属纳米线单元均包括沿纵向间隔设置的两个横向金属纳米线和连接于两个横向金属纳米线之间的竖向金属纳米线，各竖向金属纳米线和两个横向金属纳米线之间形成“工”字形结构，各竖向金属纳米线上横向设置有朝向另一个金属纳米线单元靠近并延伸的中间金属纳米线，各条金属纳米线的宽度均相等。将该结构的折射率传感器浸入待测溶液中，在该结构的上方打上一束垂直入射的测试光，就可以检测出溶液折射率并用散射暗态出现位置的波长值表示出来，该传感器灵敏度较高，结构简单，易加工。

A refractive index sensor based on plane symmetry structure

【技术实现步骤摘要】
一种基于平板对称结构的折射率传感器
本专利技术涉及传感器领域，具体涉及一种基于平板对称结构的折射率传感器。
技术介绍
随着微电子技术的发展，传感器在尺寸、寿命、灵敏度、稳定性和响应时间等方面的要求越来越高，采用新材料开发体积更小、反应更灵敏、性能更加稳定的传感器已经成为传感器研究的重要方向。一维纳米材料具有比表面积大、表面活性高等优点，对周围环境十分敏感。使用金属纳米线为材料开发出的新型传感器具有体积小、结构简单、灵敏度高等优点，引起了广泛的关注。SanjidaAkter等在“Highlysensitiveopen-channelsbasedplasmonicbiosensorinvisibletonearinfraredwavelength”中提出了一种由熔融石英层、金层、PML层及孔洞组成的折射率传感器，该折射率传感器结构复杂、制备困难，线性度较差，且敏感度较低，有时无法满足客户的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种结构简单、易于加工且灵敏度高的基于平板对称结构的折射率传感器。r>为实现上述目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于平板对称结构的折射率传感器，其特征在于：包括基底，基底上设置有二聚体结构的金属纳米结构，金属纳米结构包括两个沿横向间隔设置的且沿纵向对称设置的金属纳米线单元，各金属纳米线单元均包括沿纵向间隔设置的两个横向金属纳米线和连接于两个横向金属纳米线之间的竖向金属纳米线，各金属纳米线单元的竖向金属纳米线和两个横向金属纳米线之间形成“工”字形结构，各金属纳米线单元的竖向金属纳米线上横向设置有朝向另一个金属纳米线单元靠近并延伸的中间金属纳米线，各条金属纳米线的宽度均相等。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于平板对称结构的折射率传感器，其特征在于：包括基底，基底上设置有二聚体结构的金属纳米结构，金属纳米结构包括两个沿横向间隔设置的且沿纵向对称设置的金属纳米线单元，各金属纳米线单元均包括沿纵向间隔设置的两个横向金属纳米线和连接于两个横向金属纳米线之间的竖向金属纳米线，各金属纳米线单元的竖向金属纳米线和两个横向金属纳米线之间形成“工”字形结构，各金属纳米线单元的竖向金属纳米线上横向设置有朝向另一个金属纳米线单元靠近并延伸的中间金属纳米线，各条金属纳米线的宽度均相等。


2.根据权利要求1所述的基于平板对称结构的折射率传感器，其特征在于：所述基底上两个金属纳米线单元之间的间隙为20nm。

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊俏，赵文涵，李冉，郜雅，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：发明
国别省市：河南;41