一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺，包括压力显示器本体，还包括设置在压力显示器本体的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体检测的密封体，压力显示器本体通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。本发明专利技术通过将螺纹连接方式改为与压力显示器本体一体式连接来实现管路的密封严实；每个零部件需要精密的去油清洗、纯净水清洗、超声波加热再用纯净水清洗、加热纯净水漂洗、干燥洁净压缩空气加热烘干零部件再进入洁净组装车间，实现无油无灰无颗粒，密封级别高，体积小，洁净度高。

An integrated electronic super clean pressure display and its cleaning process

【技术实现步骤摘要】
一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺
本专利技术涉及电子压力表领域，具体是一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺。
技术介绍
目前半导体行业使用的压力表，绝大部分都是无油压力表，其连接方式采用锥螺纹连接方式，但优于普通工业级的锥螺压力表，因为其制造工艺的后道工序都是在洁净的环境中，包括组装测试检测、包装、出货，但是实际现场连接到的半导体级别管路均为洁净式超洁净管道，完全不同于现有的工业级或医疗级的洁净范畴，是超洁净环境用锥螺纹连接式的压力表是需要用生料带缠绕螺纹口后拧紧的方式，此方式明显无法完全阻隔生料带对于洁净管道内的二次污染。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提出一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺。一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本体，还包括设置在压力显示器本体的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体检测的密封体，所述的压力显示器本体通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。所述的压力显示器本体为压力显示器或压力变送器。所述的密封体为金属面的VCR接头。所述的密封体为包括与压力显示器本体连接的螺母、设置在压力显示器本体与螺母之间用于保证密封性的后卡箍和前卡箍。所述的密封体为设置在压力显示器本体上的空心管。一种一体式电子级超洁净压力显示器的清洁处理工艺，其具体步骤如下：S1：对密封体通过纯净水加热清洗；S2：对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S3：再次对密封体通过纯净水加热清洗；S4：再次对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S5：通过烘干机对密封体加热吹扫；S6：在洁净室对密封体、压力显示器本体进行组装、标定及包装。本专利技术的有益效果是：本专利技术通过将螺纹连接方式改为与压力显示器本体一体式连接来实现管路的密封严实，避免因传统螺纹方式连接导致密封不好而出现泄露现象的发生；与传统方式制造工艺不同，每个零部件需要精密的去油清洗、纯净水清洗、超声波加热再用纯净水清洗、加热纯净水漂洗、干燥洁净压缩空气加热烘干零部件再进入洁净组装车间，实现无油无灰无颗粒，密封级别高，体积小，洁净度高。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1为本专利技术的采用后卡箍和前卡箍结构示意图一；图2为本专利技术的实采用后卡箍和前卡箍结构示意图二；图3为本专利技术的采用空心管结构示意图；图4为本专利技术的采用金属面的VCR接头结构示意图一；图5为本专利技术的采用金属面的VCR接头结构示意图二；图6为本专利技术的采用金属面的VCR接头结构示意图三；图7为本专利技术的清洁处理工艺流程图。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面对本专利技术进一步阐述。实施例一：如图4至图6所示，一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本体1，还包括设置在压力显示器本体1的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体1检测的密封体，所述的压力显示器本体1通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。所述的压力显示器本体1为压力变送器。所述的密封体为金属面的VCR接头2。通过将螺纹连接方式金属面的VCR接头2密封来实现与管路密封严实，远超过螺纹方式连接导致密封不好出现泄露现象的发生。一种一体式电子级超洁净压力显示器的清洁处理工艺，其具体步骤如下：S1：对密封体通过纯净水加热清洗；S2：对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S3：再次对密封体通过纯净水加热清洗；S4：再次对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S5：通过烘干机对密封体加热吹扫；S6：在洁净室对密封体、压力显示器本体1进行组装、标定及包装。与传统方式制造工艺不同，每个零部件需要精密的去油清洗、纯净水清洗、超声波加热再用纯净水清洗、加热纯净水漂洗、干燥洁净压缩空气加热烘干零部件再进入洁净组装车间，实现无油无灰无颗粒，密封级别高，体积小，洁净度高。超洁净级别的还需要将其接头和压力显示器本体1在洁净室中进行焊接后，再进行洁净清洗拿到组装车间进行组装、测试，在洁净环境中进行真空包装，并出成品和包装。实施例二：如图1和图2所示，一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本体1，还包括设置在压力显示器本体1上用于实现流体的超洁净输送的密封体，所述的密封体与压力显示器本体1一体式连接且与管道连接配合。所述的压力显示器本体1为压力显示器。所述的密封体为包括与压力显示器本体1连接的螺母3、设置在压力显示器本体1与螺母3之间用于保证密封性的后卡箍5和前卡箍4。通过将螺纹连接方式改为双卡套连接方式，即后卡箍5和前卡箍4组成来直接硬性拧紧方式，管道在后卡箍5和前卡箍4锁紧的状态下变形凹进去，使后卡箍5和前卡箍4、管路严严实实的变形贴合并密封严实，远超过螺纹方式连接导致密封不好出现泄露现象的发生。一种一体式电子级超洁净压力显示器的清洁处理工艺，其具体步骤如下：S1：对密封体通过纯净水加热清洗；S2：对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S3：再次对密封体通过纯净水加热清洗；S4：再次对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S5：通过烘干机对密封体加热吹扫；S6：在洁净室对密封体进行组装、标定及包装。与传统方式制造工艺不同，每个零部件需要精密的去油清洗、纯净水清洗、超声波加热再用纯净水清洗、加热纯净水漂洗、干燥洁净压缩空气加热烘干零部件再进入洁净组装车间，实现无油无灰无颗粒，密封级别高，体积小，洁净度高。超洁净级别的还需要将其接头和压力显示器本体1在洁净室中进行焊接后，再进行洁净清洗拿到组装车间进行组装、测试，在洁净环境中进行真空包装，并出成品和包装。实施例三：如图3所示，一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本1，还包括设置在压力显示器本体1上用于实现流体的超洁净输送的密封体，所述的密封体与压力显示器本体1一体式连接且与管道连接配合。所述的压力显示器本体1为压力显示器。所述的密封体为设置在压力显示器本体1上的空心管6。所述的空心管6通过与流体管道上具有的双卡套接头连接，从而实现压力显示器本体1对管路压力的测量。通过将螺纹连接方式改为空心管6短管连接实现管路密封严实，远超过螺纹方式连接导致密封不好出现泄露现象的发生。一种一体式电子级超洁净压力显示器的清洁处理工艺，其具体步骤如下：S1：对密封体通过纯净水加热清洗；S2：对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S3：再次对密封体通过纯净水加热清洗；S4：再次对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；S5：通过烘干机对密封体加热吹扫；S6：在洁净室对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本体(1)，其特征在于：还包括设置在压力显示器本体(1)的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体(1)检测的密封体，所述的压力显示器本体(1)通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。/n

【技术特征摘要】
1.一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本体(1)，其特征在于：还包括设置在压力显示器本体(1)的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体(1)检测的密封体，所述的压力显示器本体(1)通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。


2.根据权利要求1所述的一种一体式电子级超洁净压力显示器，其特征在于：所述的压力显示器本体(1)为压力显示器或压力变送器。


3.根据权利要求1所述的一种一体式电子级超洁净压力显示器，其特征在于：所述的密封体为金属面的VCR接头(2)。


4.根据权利要求1所述的一种一体式电子级超洁净压力显示器，其特征在于：所述的密封体为包括与压力显示器本体(1)连接的螺母(3)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘素兰，
申请(专利权)人：刘素兰，
类型：发明
国别省市：安徽;34