一种柔性可拉伸传感器的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性可拉伸传感器的制作方法。本发明专利技术首先通过对硅晶片进行光刻及各向异性蚀刻得到凸台结构的模具。其次，将聚二甲基硅氧烷溶液滴加到硅晶片上，对聚二甲基硅氧烷溶液进行脱气处理后，加热固化后剥离出带有凸台结构的柔性基底。而后，通过对铜片激光直写制作蛇形电路，将蛇形电路转移到柔性基底上作为导线连接敏感区域。最后，将传感器的敏感材料转移或者喷涂到凸台结构表面。本发明专利技术通过岛状凸台结构之间的柔性衬底以及蛇形金属导线提供整体拉伸，并通过凸台结构减小凸台表面的拉伸，使得凸台表面的传感器敏感区域基本不受拉伸的影响，在提高传感器拉伸性能的同时又保护传感器敏感材料不会因为拉伸而降低性能。

A manufacturing method of flexible stretch sensor

【技术实现步骤摘要】
一种柔性可拉伸传感器的制作方法
本专利技术涉及一种新型传感器，具体是一种柔性可拉伸传感器的制作方法。
技术介绍
传统的电子器件依赖于刚性的印刷电路版技术，该技术有利于保护电子元器件，使其在使用过程中不会轻易损坏，但不可避免的制约了电子器件的延展性和柔韧性。柔性电子技术是将有机/无机材料电子器件制作在柔性/可延性塑料或薄金属基板上的新兴电子技术，用以设计各种形状、更贴近人体以及易于使用的电子产品。利用柔性材料或柔性结构设计对电子器件原有功能结构进行替换构成了柔性电子技术的核心。柔性电子器件与刚性电子器件相比最大的不同与优势即是可以在承受较大变形时其电子电路本身不受影响，具备形状可弯曲、可伸缩等柔性性能，在受力情况下电子器件仍可以正常工作。然而，由于性能的不稳定以及制作方法的不普及，由柔性材料制作的电子器件尚未成熟，而传统的硅电子器件虽工艺成熟却无法拉伸。因此，需要使用特殊的结构使电子器件能够进行拉伸。目前，主要使用两种结构为电子器件提供拉伸性能。第一种是将电子元件连接到预拉伸的弹性体基底上。当基底应变被释放时，弹性基底上就会出现褶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性可拉伸传感器的制作方法，该传感器包括一个柔性基底，以及位于柔性基底上呈阵列状的敏感区域，所述的敏感区域位于凸台结构上，敏感区域之间蛇形电路连接，其特征在于：/n首先，通过对硅晶片进行光刻及各向异性蚀刻得到凸台结构的模具；/n其次，将聚二甲基硅氧烷溶液滴加到硅晶片上，对聚二甲基硅氧烷溶液进行脱气处理后，加热固化后剥离出带有凸台结构的柔性基底，所述的凸台结构具有倾斜面；/n而后，通过对铜片激光直写制作蛇形电路，将蛇形电路转移到柔性基底上作为传感器的导线连接各个凸台结构上表面的敏感区域；/n最后，将作为传感器的敏感材料转移或者喷涂到凸台结构上表面得到柔性可拉伸传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种柔性可拉伸传感器的制作方法，该传感器包括一个柔性基底，以及位于柔性基底上呈阵列状的敏感区域，所述的敏感区域位于凸台结构上，敏感区域之间蛇形电路连接，其特征在于：
首先，通过对硅晶片进行光刻及各向异性蚀刻得到凸台结构的模具；
其次，将聚二甲基硅氧烷溶液滴加到硅晶片上，对聚二甲基硅氧烷溶液进行脱气处理后，加热固化后剥离出带有凸台结构的柔性基底，所述的凸台结构具有倾斜面；
而后，通过对铜片激光直写制作蛇形电路，将蛇形电路转移到柔性基底上作为传感器的导线连接各个凸台结构上表面的敏感区域；
最后，将作为传感器的敏感材料转移或者喷涂到凸台结构上表...

【专利技术属性】
技术研发人员：董林玺，管臻智，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33