单带式硅片分离输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片输送装置，尤其是单带式硅片分离输送装置，包括输送带，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括输送座；主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。本实用新型专利技术提供的单带式硅片分离输送装置结构简单、使用方便、能准确、平稳地实现硅片分离、输送、易加工装配。

Single belt silicon wafer separation and conveying device

【技术实现步骤摘要】
单带式硅片分离输送装置
本技术涉及一种硅片输送装置，尤其是单带式硅片分离输送装置。
技术介绍
当硅锭线切割完成后需要将层叠在一起的硅片进行分离，目前均是将硅片竖直放置，且位于竖直设置的输送带的一侧，通过送料装置将硅片压向输送带，输送带将分离的硅片带走，但是这种方式硅片输送不理想，硅片容易与输送带脱离，并且由于采用两个输送带，两个输送带容易出现不同步的情况，容易导致硅片碎裂。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种能够有效吸附硅片，且不易损坏硅片的单带式硅片分离装置，具体技术方案为：单带式硅片分离输送装置，包括输送带，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括输送座；主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。通过采用上述技术方案，输送座竖直设置或倾斜一定的角度，层叠的硅片竖直放置，且位于输送带的一侧，送料装置将硅片推向输送带，吸气孔与抽气装置连接，抽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单带式硅片分离输送装置，包括输送带，其特征在于，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括/n输送座；/n主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；/n从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及/n吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。/n

【技术特征摘要】
1.单带式硅片分离输送装置，包括输送带，其特征在于，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括
输送座；
主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；
从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及
吸盘，所述吸盘安装在输送座上，且位于输送带的背面，所述吸盘上设有多个吸气孔，所述吸气孔与吸附孔对应。


2.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，
所述输送带的背面设有同步齿；
所述主动轮和从动轮上均设有同步齿。


3.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，
所述吸附孔为腰形孔。


4.根据权利要求1所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，
所述吸附孔和吸气孔均设有两列。


5.根据权利要求4所述的单带式硅片分离输送装置，其特征在于，
所述吸盘上设有吸气槽和连接孔，所述吸气槽分别与连接孔和吸气孔相...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾韻，
申请(专利权)人：无锡市南亚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32