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本实用新型涉及一种硅片输送装置，尤其是单带式硅片分离输送装置，包括输送带，所述输送带上设有多个吸附孔；还包括输送座；主动轮，所述主动轮安装在输送座的一端；从动轮，所述从动轮安装在输送座的另一端，所述输送带套在主动轮和从动轮上；及吸盘，所述吸...
该专利属于无锡市南亚科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市南亚科技有限公司授权不得商用。

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