【技术实现步骤摘要】
一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置
本专利技术涉及一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，属微惯性导航的测量仪表零部件
技术介绍
惯性技术是以完全自主方式工作的，不与外界发生联系，具有自主、实时、不受干扰的优势。陀螺是惯性导航技术的核心器件，在现代航空航天，国防军事等领域发挥着至关重要的作用。微惯性系统的核心是陀螺，所以陀螺的体积、成本、精度、过载能力等指标决定微惯性系统的性能。按工作原理可将微陀螺分为机械陀螺、光学陀螺和MEMS陀螺，机械式陀螺精度高但体积较大，抗载能力不强；光学陀螺相对体积较小但成本高，仅能应用于高端领域，在战术导弹、智能炮弹、无人机、无人车、稳像稳瞄等武器系统因成本、体积和过载性能要求局限较大。而MEMS陀螺具备因成本低、体积小、抗冲击能力强等优势，这就使得MEMS陀螺在微惯性系统中得到广泛使用。在现有技术中，微机械陀螺常用的驱动方式有静电式、压电式、电磁式等，微机械陀螺常用的检测方式有压阻式、压电式、电容式、共振隧穿式、电子隧道效应式等。就驱动方式而言，静电驱动稳...
【技术保护点】
1.一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，包括：键合基板(1)和设置在所述键合基板(1)上的支撑框架(4)，所述支撑框架(4)内侧设置有驱动质量块(5)，所述驱动质量块(5)内侧设置有检测质量块(6)，所述驱动质量块(5)的边角通过驱动组合梁组件与外部的支撑框架(4)连接，所述检测质量块(6)的边角通过检测组合梁组件与驱动质量块(5)连接，所述质量检测快(6)中心设置有隧道磁阻元件(7)，其特征在于：/n还包括：压电薄膜驱动电极组件和检测电极(20)，所述压电薄膜驱动电极组件设置在驱动组合梁组件上，所述压电薄膜驱动电极组件包括第一压电薄膜驱动电极(22)、第二压电薄膜...
【技术特征摘要】
1.一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，包括：键合基板(1)和设置在所述键合基板(1)上的支撑框架(4)，所述支撑框架(4)内侧设置有驱动质量块(5)，所述驱动质量块(5)内侧设置有检测质量块(6)，所述驱动质量块(5)的边角通过驱动组合梁组件与外部的支撑框架(4)连接，所述检测质量块(6)的边角通过检测组合梁组件与驱动质量块(5)连接，所述质量检测快(6)中心设置有隧道磁阻元件(7)，其特征在于：
还包括：压电薄膜驱动电极组件和检测电极(20)，所述压电薄膜驱动电极组件设置在驱动组合梁组件上，所述压电薄膜驱动电极组件包括第一压电薄膜驱动电极(22)、第二压电薄膜驱动电极(23)、第三压电薄膜驱动电极(24)、第四压电薄膜驱动电极(25)，所述第一压电薄膜驱动电极(22)、第二压电薄膜驱动电极(23)、第三压电薄膜驱动电极(24)、第四压电薄膜驱动电极(25)分别设置在驱动组合梁组件上，所述检测电极(20)设置在靠近所述第二压电薄膜驱动电极(23)和第三压电薄膜驱动电极(24)的位置，所述隧道磁阻元件(7)通过信号检测导线(21)分别连接所述检测电极(20)。
2.根据权利要求1所述的压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，其特征在于，所述驱动组合梁组件包括：第一驱动组合梁(8)、第二驱动组合梁(9)、第三驱动组合梁(10)、第四驱动组合梁(11)，所述第一驱动组合梁(8)、第二驱动组合梁(9)、第三驱动组合梁(10)、第四驱动组合梁(11)分别设置在所述驱动质量块(5)的四个边角处，所述第一驱动组合梁(8)、第二驱动组合梁(9)、第三驱动组合梁(10)、第四驱动组合梁(11)结构相同，均由第一驱动梁(26)、第二驱动梁(27)和驱动梁连接块(28)组成，第一驱动梁(26)、第二驱动梁(27)分别位于驱动梁连接块(28)两侧并相互平行，所述第一驱动梁(26)一端与所述驱动质量块(5)连接，所述第一驱动梁(26)另一端与支撑框架(4)连接，所述第二驱动梁(27)一端与所述驱动质量块(5)连接，所述第二驱动梁(27)另一端与所述驱动梁连接块(28)的一端连接，所述驱动梁连接块(28)的另一端与支撑框架(4)连接。
3.根据权利要求1所述的压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，其特征在于，所述检测组合梁组件组件包括：第一检测组合梁(12)、第二检测组合梁(13)、第三检测组合梁(14)、第四检测组合梁(15)，所述第一检测组合梁(12)、第二检测组合梁(13)、第三检测组合梁(14)、第四检测组合梁(15)分别没置在所述检测质量块(6)上靠近边角处，所述第一...
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