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一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁组件、检测组合梁组件、驱动质量块、检测质量块、检测磁体、隧道磁阻元件、压电薄膜驱动电极组件、导线、电极组成。支撑框架放置在键合基板上，通过驱动组合梁组件连接...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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