校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序制造方法及图纸

本发明专利技术的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备：位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置，其中标尺安装于旋转体；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。

Manufacturing method and calibration procedure of calibration device, encoder device, drive device, carrier device, manipulator device and encoder device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序
本专利技术涉及校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序。
技术介绍
检测旋转位置信息的旋转编码器搭载于驱动装置(例如马达装置)等各种装置(例如，参照下述专利文献1)。此外，提出了求出旋转编码器等角度检测器的误差的校正值的技术。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平8-50034号公报
技术实现思路
根据本专利技术的第1方式，提供一种校正装置，其具备：位置计算部，其基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；和误差计算部，其基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。根据本专利技术的第2方式，提供一种编码器装置，其具备：存储部，其存储从第1方式的校正装置输出的误差信息；标尺，其安装于第2旋转体；检测部，其对标尺配置；和修正部，其基于存储在存储部中的误差信息，修正从检测部的检测结果得到的第2旋转体的旋转位置信息。根据本专利技术的第3方式，提供一种编码器装置，其具备：对安装于第2旋转体的标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部；基于分别从第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置的位置计算部；和基于检测信号及位置计算部计算出的相对位置，计算出相对于第2旋转体的旋转位置信息的误差信息的误差计算部。根据本专利技术的第4方式，提供一种编码器装置，其具备：标尺，其安装于旋转轴；第1检测部，其检测标尺并输出第1检测信号；存储部，其存储误差信息，误差信息是使用两个检测部中的至少一个检测部与第1检测部的相对位置而计算出的，其中，两个检测部是不同于第1检测部的检测部，两个检测部中的至少一个检测部与第1检测部的相对位置是基于第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号计算出的，第2检测信号和第3检测信号是两个检测部检测标尺并输出的信号；和修正部，其使用误差信息，对从第1检测信号得到的旋转轴的旋转位置信息进行修正。根据本专利技术的第5方式，提供一种编码器装置，其计算旋转轴的旋转位置信息，该编码器装置具备：标尺，其安装于旋转轴；被校正用检测部，其固定于基板，检测标尺并输出第1检测信号；处理部，其基于第1检测信号计算出旋转位置信息；和修正部，其使用存储在存储部中的误差信息来修正旋转位置信息，编码器装置在计算该误差信息的情况下，两个校正用检测部被安装于基板，误差信息是基于被校正用检测部与至少一个校正用检测部的相对位置而计算出的，被校正用检测部与至少一个校正用检测部的相对位置是使用第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号而计算出的，第2检测信号和第3检测信号是两个校正用检测部检测标尺并输出的信号。根据本专利技术的第6方式，提供一种驱动装置，其具备：第2方式或第3方式的编码器装置；和向第2旋转体供给驱动力的驱动部。根据本专利技术的第7方式，提供一种驱动装置，其具备：第4方式或第5方式的编码器装置；和向旋转轴供给驱动力的驱动部。根据本专利技术的第8方式，提供一种载台装置，其具备：第6方式或第7方式的驱动装置；和利用驱动装置而移动的载台。根据本专利技术的第9方式，提供一种机械手装置，其具备：第6方式或第7方式的驱动装置；和利用驱动装置而移动的臂。根据本专利技术的第10方式，提供一种编码器装置的制造方法，其包括：基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；基于检测信号及计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息；和将误差信息存储到编码器装置的存储部中。根据本专利技术的第11方式，提供一种校正程序，其使计算机执行：基于分别从对标尺(其安装于旋转体)配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出第1检测部与第2检测部的相对位置；和基于检测信号及计算出的相对位置，计算出相对于旋转体的旋转位置信息的误差信息。附图说明图1是表示第1实施方式的编码器装置及校正装置的图。图2是表示第1实施方式的编码器装置及校正装置的图。图3是表示第1实施方式的标尺及检测部的图。图4是表示第1实施方式的相对位置的计算处理的参数的图。图5是表示实施方式的编码器装置的制造方法的流程图。图6是表示第2实施方式的编码器装置及校正装置的图。图7是表示第3实施方式的编码器装置及校正装置的图。图8是表示第4实施方式的编码器装置及校正装置的图。图9是表示第5实施方式的编码器装置及校正装置的图。图10是表示第6实施方式的编码器装置及校正装置的图。图11是表示第7实施方式的编码器装置及校正装置的图。图12是表示第7实施方式的检测部的配置方法的例子的图。图13是表示第8实施方式的编码器装置的图。图14是表示第9实施方式的校正装置的图。图15是表示第10实施方式的校正装置的图。图16是表示实施方式的驱动装置的图。图17是表示实施方式的载台装置的图。图18是表示实施方式的机械手装置的图。具体实施方式[第1实施方式]对第1实施方式进行说明。图1及图2是表示第1实施方式的编码器装置及校正装置的图。编码器装置EC检测测量对象的旋转体的旋转位置信息。旋转位置信息包括多旋转信息及单旋转内的角度位置中的一者或两者。多旋转信息是表示旋转周数的信息(例如1周、2周)。角度位置是表示旋转不满1周的旋转角的信息(例如30[deg]、π[rad])。校正装置1执行对编码器装置EC的校正处理。校正装置1例如在制造编码器装置EC时使用。在校正处理中，校正装置1计算出(生成)对编码器装置EC的检测结果进行修正所使用的误差信息。图1中示出了校正处理中的编码器装置EC的动作及校正装置1的动作。图2中示出了校正处理后的编码器装置EC的动作。如图1所示，在校正装置1执行校正处理时，编码器装置EC被安装在旋转体SF1上。在校正处理中，编码器装置EC对安装于旋转体SF1的标尺S进行检测。校正装置1基于编码器装置EC检测标尺S所得到的检测信号，计算相对于旋转体SF1的旋转位置信息的误差信息。校正装置1将计算出的误差信息存储在校正对象的编码器装置EC中。在上述校正处理结束后，编码器装置EC被从校正装置1拆下。如图2所示，校正处理后的编码器装置EC检测例如旋转体SF2的旋转位置信息。旋转体SF2既可以与校正处理中使用的旋转体SF1相同，也可以是旋转体SF1之外的旋转体。可以在校正处理后，从旋转体SF1(第1旋转体)拆下编码器装置EC，并将编码器装置EC安装到与旋转体SF1不同的检测对象的旋转体SF2(第2旋转体)上。校正处理后的编码器装置EC基于在校正处理中存储的误差信本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种编码器装置，其特征在于，具备：/n标尺，其安装于旋转轴；/n第1检测部，其检测所述标尺并输出第1检测信号；/n存储部，其存储误差信息，所述误差信息是使用两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置而计算出的，其中，所述两个检测部是不同于所述第1检测部的检测部，所述两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置是基于所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个检测部检测所述标尺并输出的信号；和/n修正部，其使用所述误差信息，修正从所述第1检测信号得到的所述旋转轴的旋转位置信息。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170727 JP 2017-1453991.一种编码器装置，其特征在于，具备：
标尺，其安装于旋转轴；
第1检测部，其检测所述标尺并输出第1检测信号；
存储部，其存储误差信息，所述误差信息是使用两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置而计算出的，其中，所述两个检测部是不同于所述第1检测部的检测部，所述两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置是基于所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个检测部检测所述标尺并输出的信号；和
修正部，其使用所述误差信息，修正从所述第1检测信号得到的所述旋转轴的旋转位置信息。


2.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，
具备处理部，所述处理部基于所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息。


3.如权利要求1或2所述的编码器装置，其特征在于，
具备位置计算部，所述位置计算部计算出在从所述旋转轴的旋转轴方向观察时所述第1检测部与所述两个检测部中的一个检测部以所述旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。


4.如权利要求3所述的编码器装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差、及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差，计算出所述相对位置。


5.如权利要求3或4所述的编码器装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差的振幅及相位、以及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差的振幅及相位，计算出所述相对位置。


6.一种编码器装置，计算旋转轴的旋转位置信息，所述编码器装置的特征在于，具备：
标尺，其安装于所述旋转轴；
被校正用检测部，其固定于基板，检测所述标尺并输出第1检测信号；
处理部，其基于所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息；和
修正部，其使用存储于存储部的误差信息对所述旋转位置信息进行修正，
在计算所述误差信息的情况下，两个校正用检测部被安装于所述基板，所述误差信息是基于所述被校正用检测部与至少一个所述校正用检测部的相对位置而计算出的，所述被校正用检测部与至少一个所述校正用检测部的相对位置是使用所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号而计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个校正用检测部检测所述标尺并输出的信号。


7.如权利要求6所述的编码器装置，其特征在于，
在计算所述旋转位置信息的情况下，在所述两个校正用检测部被从所述基板拆下的状态下，所述处理部使用所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息。


8.如权利要求6或7所述的编码器装置，其特征在于，
具备位置计算部，所述位置计算部计算出在从所述旋转轴的旋转轴方向观察时所述被校正用检测部与所述两个校正用检测部中的一个校正用检测部以所述旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。


9.如权利要求8所述的编码器装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差、及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差，计算出所述相对位置。


10.一种校正装置，其特征在于，具备：
位置计算部，其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号，计算出所述第1检测部与所述第2检测部的相对位置，其中所述标尺安装于旋转体；和
误差计算部，其基于所述检测信号及所述位置计算部计算出的所述相对位置，计算出相对于所述旋转体的旋转位置信息的误差信息。


11.如权利要求10所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部计算出在从所述旋转体的旋转轴方向观察时所述第1检测部与所述第2检测部以所述旋转体的旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。


12.如权利要求10或11所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部基于从所述第1检测部得到的第1检测信号与从所述第2检测部得到的第2检测信号之差、及所述第1检测信号与从所述第3检测部得到的第3检测信号之差，计算出所述相对位置。


13.如权利要求12所述的校正装置，其特征在于，
所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差的振幅及相位、以及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差的振幅及相位，计算出所述相对位置。


14.如权利要求10至13中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述误差计算部使用所述位置计算部计算出的所述相对位置，计算相对于从所述第1检测部得到的第1检测信号的第1误差信息来作为所述误差信息。


15.如权利要求14所述的校...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边昭宏，高崎政久，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP