专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社尼康
>
校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序制造方法及图纸
>技术资料下载
下载校正装置、编码器装置、驱动装置、载台装置、机械手装置、编码器装置的制造方法及校正程序的技术资料
文档序号:23675568
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的课题是高精度地检测旋转体的旋转位置信息。校正装置具备:位置计算部,其基于分别从对标尺配置的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的检测信号,计算出第1检测部与第2检测部的相对位置,其中标尺安装于旋转体;和误差计算部,其基于检测信号及...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。