闸阀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种结构简单且成本低廉的闸阀装置，其在阀板于一方向上形成长边的情况下，也能使阀板水平地保持该姿态并上下移动。本发明专利技术的闸阀装置(IV)是一种间隔在彼此连续设置的第一室和第二室之间并隔断两室的闸阀装置，其具有：连通块(Bc)，其具有允许第一室和第二室连通的连通路径(1)；以及阀单元(Uv)，其具有在隔断位置和打开位置之间自由进退的阀板(2)，所述隔断位置是坐置在连通路径上设置的座表面(11)上，隔断连通路径的位置、所述打开位置是离开座表面的位置；阀单元具有：有底筒状的阀箱(3)，以从打开位置向隔断位置的阀板的运动方向为上下方向，所述阀单元安装在连通块的上表面，阀板的上端部(21)插设在所述阀单元内，上端部(21)与所述阀单元的内侧壁(31)之间间隔有密封单元(32a，32b)；压力施加部(5)，以与阀箱的上内表面(33)相对的阀板的上表面(21b)为承压面，向该承压面施加气体压力；以及引导部(4)，其引导阀板的进退；当向承压面施加气体压力时，从阀箱突出并局部贯穿连通块的阀板下端部坐置在连通块的连通路径上设置的座表面上。

Gate valve device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闸阀装置
本专利技术涉及一种间隔在彼此连续设置的第一室和第二室之间并隔断两室的闸阀装置。
技术介绍
这种闸阀装置例如由专利文献1已知。该装置具有：连通块(阀主体)，其开设有允许第一室和第二室连通的连通路径；以及阀单元，其具有在隔断位置和打开位置之间自由进退的阀板，所述隔断位置坐置在形成于连通路径上的座表面上，隔断连通路径；所述打开位置离开座表面并打开连通路径。连通路径的宽度通常是根据在第一室和第二室之间输送的被输送物(例如硅基板或玻璃基板)的宽度设置，与之对应地设置阀板的板长。再有，在该装置中，在阀板的下表面上沿该板长方向留出间隔地立设有多个轴，将气缸或电机等驱动装置的动力传递给各个轴并使阀板进退。此时，在将阀板从打开位置移动到隔断位置时，为了设置在阀板上的密封件其整体上大致均匀(优选大约同时)地被压接(施加力使接触)在座表面上，通常会设计例如在阀板上的轴的数量和间隔以及施加在各轴上的动力等要素。此时，在普遍使用上述闸阀装置的真空处理装置中，作为被输送物的待处理基板的尺寸存在大型化的倾向，相应地，真空处理装置乃至基板通过的连通路径的尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种闸阀装置，是间隔设置在彼此连续设置的第一室和第二室之间并将两室隔断的闸阀装置，其特征在于，具有：/n连通块，其具有允许第一室和第二室连通的连通路径；以及/n阀单元，其具有阀板，该阀板可在隔断位置和打开位置之间自由进退，所述隔断位置是坐置在连通路径上设置的座表面上隔断连通路径的位置，所述打开位置是离开座表面的位置；/n阀单元具有：阀箱，以从打开位置向隔断位置的阀板移动的方向作为上下方向，所述阀箱安装在连通块的上表面，阀板的上端部插设在所述阀箱内，在所述上端部和所述阀箱的内侧壁之间间隔有密封单元；压力施加部，其以与阀箱的上内表面相对的阀板的上表面作为承压面，向该承压面施加气体压力；以及引导...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180612 JP 2018-1122981.一种闸阀装置，是间隔设置在彼此连续设置的第一室和第二室之间并将两室隔断的闸阀装置，其特征在于，具有：
连通块，其具有允许第一室和第二室连通的连通路径；以及
阀单元，其具有阀板，该阀板可在隔断位置和打开位置之间自由进退，所述隔断位置是坐置在连通路径上设置的座表面上隔断连通路径的位置，所述打开位置是离开座表面的位置；
阀单元具有：阀箱，以从打开位置向隔断位置的阀板移动的方向作为上下方向，所述阀箱安装在连通块的上表面，阀板的上端部插设在所述阀箱内，在所述上端部和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤修司，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本;JP