【技术实现步骤摘要】
一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置
本技术涉及真空镀膜设备
，尤其涉及一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置。
技术介绍
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。目前在镀膜时需要将多个工件放置在工件架上，但是现有的工件架只能单纯的提供转动效果，一些工件由于外壳复杂，存在较多的拐角，如不进行角度的调节很难对复杂外壳壁进行镀膜。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，其多个工件放置板能够实现角度自动的往复转动调节，从而对较复杂的外壳有着很好的镀膜效果。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，包括转动连接在真空镀膜机镀膜室内的上转板与下转板，所述上转板与下转板间固定连接有多个固定杆，多根所述固定杆上排列设有多个通过...
【技术保护点】
1.一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，包括转动连接在真空镀膜机镀膜室内的上转板(5)与下转板(1)，其特征在于，所述上转板(5)与下转板(1)间固定连接有多个固定杆(2)，多根所述固定杆(2)上排列设有多个通过转动机构连接的放置板(3)，多个所述放置板(3)上设有多个工件放置槽，所述上转板(5)内设有装置腔(8)，所述装置腔(8)内设有往复机构与复位机构，所述固定杆(2)内设有条形腔(11)，所述条形腔(11)内设有与转动机构连接的角度调节机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，包括转动连接在真空镀膜机镀膜室内的上转板(5)与下转板(1)，其特征在于，所述上转板(5)与下转板(1)间固定连接有多个固定杆(2)，多根所述固定杆(2)上排列设有多个通过转动机构连接的放置板(3)，多个所述放置板(3)上设有多个工件放置槽，所述上转板(5)内设有装置腔(8)，所述装置腔(8)内设有往复机构与复位机构，所述固定杆(2)内设有条形腔(11)，所述条形腔(11)内设有与转动机构连接的角度调节机构。
2.根据权利要求1所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，其特征在于，所述转动机构包括固定在开口(15)内壁之间的转轴，所述转轴贯穿固定杆(2)。
3.根据权利要求1所述的一种应用于真空镀膜设备中可调节角度的支撑装置，其特征在于，所述往复机构包括安装在上转板(5)侧壁上的驱动电机(12)，所述驱动电机(12)的输出轴末端延伸至装置腔(8)内并固定连接有凸轮(7)。
4...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈开龙，
申请(专利权)人：深圳市沃克力技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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