一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及靶材绑定控制设备技术领域，尤其是指一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其包括主控柜、独立于主控柜外的发热组件和设置于主控柜内的控制电路，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括一外发热包组和一内发热包组，三相电源输入端并联有两组温控系统，各温控系统分别调控外发热包组和内发热包组的发热温度。本实用新型专利技术经由两套相互独立的温控系统对靶材温度对背管温度按预先设置好的温度曲线独立控制，其绑定效率高，操作方便。

An ITO rotating target binding double system automatic temperature control device

【技术实现步骤摘要】
一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置
本技术涉及靶材绑定控制设备
，尤其是指一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置。
技术介绍
靶材绑定是指通过焊接将靶材和金属背管粘合在一起，在现有的靶材绑定技术通常是将金属背管放置于加热台上，然后靶材贴合于金属背管上，然后在靶材和金属背管之间加上焊料，然后对金属背管加压加温，最终焊接成型。现有技术中主要存在以下两点缺点：1、ITO旋转靶材绑定的加热控制由继电器粗放式控制，无法对加热温度曲线的过程进行有效控制，会造成靶材的骤冷骤热变形，严重影响绑定质量；2、对背管温度和靶材温度没有分开独立控制，使靶材与背管同时加热或冷却，旋转靶材采用热膨胀法绑定在背管上的条件受到限制。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术要解决的技术问题是提供一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，能够对背管温度和靶材温度按预先设置好的温度曲线独立控制，绑定效率和绑定成品率高。本技术采用如下技术方案：一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，包括主控柜、独立于主控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，包括主控柜、独立于主控柜外的发热组件和设置于主控柜内的控制电路，控制电路设置有三相电源输入端(01)，/n其特征在于：发热组件包括一用于加热靶材的外发热包组(02)和一用于加热背管的内发热包组(03)，/n三相电源输入端(01)并联有两组温控系统，两组温控系统分别调控外发热包组(02)和内发热包组(03)的发热温度；/n各温控系统包括三相电源控制单元(1)、发热驱动单元(2)、调温控制单元(3)和温度采集单元(4)，/n温度采集单元(4)电连接于调温控制单元(3)的温度信号采集接口，温度采集单元(4)用于采集外发热包组(02)的温度数据并输出温度数据...

【技术特征摘要】
1.一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，包括主控柜、独立于主控柜外的发热组件和设置于主控柜内的控制电路，控制电路设置有三相电源输入端(01)，
其特征在于：发热组件包括一用于加热靶材的外发热包组(02)和一用于加热背管的内发热包组(03)，
三相电源输入端(01)并联有两组温控系统，两组温控系统分别调控外发热包组(02)和内发热包组(03)的发热温度；
各温控系统包括三相电源控制单元(1)、发热驱动单元(2)、调温控制单元(3)和温度采集单元(4)，
温度采集单元(4)电连接于调温控制单元(3)的温度信号采集接口，温度采集单元(4)用于采集外发热包组(02)的温度数据并输出温度数据至调温控制单元(3)，
调温控制单元(3)通过信号输出接口输出调温信号至发热驱动单元(2)，各发热驱动单元(2)分别电连接于外发热包组(02)和内发热包组(03)，
三相电源控制单元(1)分别与调温控制单元(3)和发热驱动单元(2)电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其特征在于：各所述三相电源控制单元(1)设置有电源钥匙开关SA、电源指示灯、第一过流保护开关，
各所述发热驱动单元(2)设置有第一电源输入端、第一供电端和第一信号接收端；
第一过流保护开关和电源钥匙开关SA串联以形成一供电支路，供电支路的输出端电连接调温控制单元(3)；
三相电源输入端(01)分别电连接第一过流保护开关的第一端和第一电源输入端；
在电源钥匙开关SA闭合导通，供电支路电性导通调温控制单元(3)，
各调温控制单元(3)输出调温信号至第一信号接收端以调控第一供电端的输出电压和/电流或大小，各第一供电端分别电连接于外发热包组(02)或内发热包组(03)；
第一过流保护开关、电源钥匙开关SA和电源指示灯串联以形成一电源指示支路，
在电源钥匙开关SA闭合导通时，电源指示支路电性导通。


3.根据权利要求2所述的一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其特征在于：所述调温控制单元(3)包括温控器和温控记录仪，供电支路分别电连接温控器和温控记录仪的电源接口，
温控记录仪设有操作界面和显示界面，温控记录仪经由操作界面向温控器的通讯接口输入调温信号，温控器根据该调温信号调控第一供电端的输出电压和/电流或大小，
温度采集单元(4)包括一第一热电偶，第一热电偶电连接于温控器的温度采集接口，第一热电偶采集外发热包组(02)或内发热包组(03)的温度数据，且第一热电偶输出该温度数据至温控器的温度采集接口，
温控器根据该温度数据向温控记录仪的通讯接口输入温度显示信号，温控记录仪经由显示界面显示外发热包组(02)或内发热包组(03)的组温度数据。


4.根据权利要求3所述的一种ITO旋转靶绑定双系统自动控温装置，其特征在于：各所述发热驱动单元(2)包括可控硅模块和可控硅触发器，可控硅模块具有阳极、阴极和门极，
各可控硅触发器的数据输入端与各所述温控器的信号输出接口电性连接，各可控硅触发器的使能端与各可控硅模块的门极电性连接，各可控硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兵，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44