一种真空反应室上的可视窗结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上；本实用新型专利技术通过将石英玻璃直接安装在框架内，不仅拆卸更加方便，且安装过程中，石英玻璃不会产生位置偏移，密封性更好，并且由于受到框架的保护，拆装过程中能防止石英玻璃受到损伤，提高了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种真空反应室上的可视窗结构
本技术涉及真空反应室领域，特指一种真空反应室上的可视窗结构。
技术介绍
如图1-2所示，现有真空反应室1的可视窗由橡胶密封圈23、石英玻璃24、透明塑料外壳21组成，其中石英玻璃24设置在可视窗凹槽22内，橡胶密封圈23设置在密封槽内且与石英玻璃24紧密贴合，起到密封作用，透明塑料21通过螺钉安装在可视窗外用于固定石英玻璃24；由于反应室工作中处于高温状态，且反应室气体中含有CL2、Br2等气体，会对橡胶密封圈有腐蚀作用，为了保证密封效果，会定期对橡胶密封圈进行更换，但由于石英玻璃安装之后不易取出，导致每次拆卸极易损伤石英玻璃，降低使用寿命，且石英玻璃是通过透明塑料外壳固定的，当透明塑料外壳通过螺丝固定时，处于里面的石英玻璃容易发生位置偏移，影响密封效果。
技术实现思路
本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种真空反应室上的可视窗结构。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上。优选的，所述石英玻璃的面积大于密封槽的面积，且其部分突出框架的内侧面。优选的，所述框架内在石英玻璃的外侧还设置有环形挡板。优选的，所述框架、连接边和环形挡板一体成型。优选的，所述框架由金属材料制成。优选的，所述连接边与真空反应室侧壁的连接处还设置有密封垫圈。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1、本技术通过将石英玻璃直接安装在框架内，不仅拆卸更加方便，且安装过程中，石英玻璃不会产生位置偏移，密封性更好；2、本技术由于受到框架的保护，拆装过程中能防止石英玻璃受到损伤，提高了使用寿命。附图说明下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明：附图1为现有可视窗的结构示意图；附图2为现有可视窗的剖视图；附图3为本技术的安装示意图；附图4为图3中A处局部放大图；附图5为中框架的主视图。其中：1、真空反应室；21、透明塑料外壳；22、可视窗凹槽；23、橡胶密封圈；24、石英玻璃；31、窗口；32、橡胶密封圈；33、石英玻璃；34、框架；35、凹槽；36、密封垫圈；37、连接边；38、环形挡板。具体实施方式下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步的详细说明。实施例一：附图3-5为本技术所述的真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室1侧壁上的窗口31、设置在窗口31外侧的凹槽35、设置在凹槽35内且位于窗口31外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈32、部分可置于凹槽35内的框架34、焊接在框架34内的石英玻璃33，其中石英玻璃33焊接在金属上为现有技术，如来自英国赫瑞瓦特大学的科学家团队，日前通过超快激光系统，实现了玻璃和金属的焊接，或者可以高温将石英玻璃33融化注入框架34内，再冷凝，可实现一体成型；所述框架34的外侧四周设置有连接边37；所述连接边37通过多颗螺栓固定在真空反应室1侧壁上。实施例二：附图3-5为本技术所述的真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室1侧壁上的窗口31、设置在窗口31外侧的凹槽35、设置在凹槽35内且位于窗口31外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈32、部分可置于凹槽35内的框架34、通过UV无影胶粘接在框架34内的石英玻璃33，具有使用方便，时间可控，固化速度快，粘接强度高，透光率高，粘接后无色无痕，操作安全等优点；所述框架34的外侧四周设置有连接边37；所述连接边37通过多颗螺栓固定在真空反应室1侧壁上。进一步，所述石英玻璃33的面积大于密封槽的面积，且其部分突出框架34的内侧面，保证石英玻璃33能充分与橡胶密封圈32接触，提高密封效果。进一步，所述框架34内在石英玻璃33的外侧还设置有环形挡板38，起到定位和支撑作用，减少石英玻璃33边缘与框架34之间的受力。进一步，所述框架34、连接边37和环形挡板38一体成型，且由金属材料制成，便于加工。进一步，所述连接边37与真空反应室1侧壁的连接处还设置有密封垫圈36，能进一步提高密封效果。以上仅是本技术的具体应用范例，对本技术的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本技术权利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、以及石英玻璃，其特征在于：还包含部分可置于凹槽内的框架；所述石英玻璃焊接或粘接在框架内；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、以及石英玻璃，其特征在于：还包含部分可置于凹槽内的框架；所述石英玻璃焊接或粘接在框架内；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上。


2.根据权利要求1所述的真空反应室上的可视窗结构，其特征在于：所述石英玻璃的面积大于密封槽的面积，且其部分突出框架的内侧面。

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【专利技术属性】
技术研发人员：王浩明，
申请(专利权)人：苏州子山半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32