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本实用新型涉及一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置...
该专利属于苏州子山半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州子山半导体科技有限公司授权不得商用。

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