一种三光栅级联结构及基于三光栅级联结构的超宽带吸收器制造技术

本发明专利技术涉及一种三光栅级联结构及超宽带吸收器，属于光学器件技术领域。一种三光栅级联结构，由三光栅级联单元构成，三光栅级联单元从左到右依次包括金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨。一种基于三光栅级联结构的超宽带吸收器，包括：基底层；铬膜层，其形成于基底层表面；和氮化硅层，其形成于铬膜层上；和石墨烯层，其形成于氮化硅层上；和三光栅级联结构层，其形成于石墨烯层上。发明专利技术的吸收器能覆盖的光谱范围更宽，跨越部分紫外光、全部可见光、部分红外线；吸收率高，尤其近红外波段，吸收率达90％以上。

A kind of three light gate cascade structure and ultra wide band absorber based on three light gate cascade structure

【技术实现步骤摘要】
一种三光栅级联结构及基于三光栅级联结构的超宽带吸收器
本专利技术涉及一种三光栅级联结构及超宽带吸收器，属于光学器件

技术介绍
超材料是一类人工复合材料，可通过结构设计实现谐振频率及阻抗匹配，致使工作频率和带宽根据需求任意调控；同时其结构本身深度亚波长尺度，使超材料电磁结构的厚度非常小，可达波长的几十分之一，比传统吸收结构更利于实际应用。自2008年Landy等人采用与自由空间阻抗相匹配法减小反射，使得吸收最大化，研制出第一个宽带吸收器以来，由于其在电磁隐身、热辐射、薄膜太阳能电池、传感器和探测等方面有着非常广泛的应用前景，成为研究的热点；尤其高性能跨频段吸收器，可在不同新领域发挥重大作用而备受青睐。如T.等利用三角槽金光栅设计结构获得500-1500横跨部分可见光和近红外光双频段光谱；(T.SergeyI.Bozhevolnyi.Surface-plasmonpolaritonresonancesintriangular-groovemetalgratings.PHYSICALREVIEWB80,195407(2009))，该结构吸收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三光栅级联结构，其特征在于，由三光栅级联单元构成，三光栅级联单元从左到右依次包括金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨。/n

【技术特征摘要】
1.一种三光栅级联结构，其特征在于，由三光栅级联单元构成，三光栅级联单元从左到右依次包括金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨。


2.根据权利要求1所述的三光栅级联结构，其特征在于，所述的金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨的宽度比为3:(1.8-2.5)：(1.5-2.2)。


3.根据权利要求1所述的三光栅级联结构，其特征在于，所述的金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨的高度比为3:(7-10)：(5-8)。


4.根据权利要求1所述的三光栅级联结构，其特征在于，所述的三光栅级联单元的周期为是金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨的宽度总和，总和为900-1120纳米。


5.一种基于权利要求1所述的三光栅级联结...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵洪霞，丁志群，程培红，
申请(专利权)人：宁波工程学院，
类型：发明
国别省市：浙江;33