一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构制造技术

一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，主要应用于监测发动机压力、测量绝对压力等技术领域，为了解决现有技术中的高温压力传感器很难兼顾输出稳定、精度高、耐高温等特点，在很多工况的使用上并不理想的问题，包括硅‑蓝宝石芯体、引线转接组件、调理电路、数字信号处理单片机系统，硅‑蓝宝石芯体、引线转接组件、调理电路、数字信号处理单片机系统依次相连；采用压阻效应原理，利用惠斯通电桥，将桥臂上的电阻变化转换成输出电压的变化，实现压力信号到电压信号的转换，再经过对信号进行放大、滤波等处理，最终将压力信号转换为数字总线信号输出，具有输出稳定，精度高，耐高温350℃等特点，随着市场扩大，将产生较大的经济效益。

An adapter ring structure of 350 \u2103 high temperature pressure sensor

【技术实现步骤摘要】
一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构
本专利技术涉及一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，主要应用于监测发动机压力、测量绝对压力等

技术介绍
随着我国工业自动化控制程度的提高，在智能建筑、生产自控、航空航天、石化、机床、油井等许多领域都需要对压力进行监测。压力传感器将压力转换为电信号，以便于系统进行处理，实现精准的自动化控制，这在常规领域已经普遍应用。目前，高温领域对压力的监测的需求越来越多，如监测发动机气体压力和燃油压力的变化等。温压力传感器能够在比较恶略的高温环境下对压力进行精确的、长期的、稳定的监测。然而现有技术中的高温压力传感器转接环很难兼顾输出稳定、精度高、耐高温等特点，在很多工况的使用上并不理想。
技术实现思路
专利技术目的：为了解决现有技术中的高温压力传感器很难兼顾输出稳定、精度高、耐高温等特点，在很多工况的使用上并不理想的问题，本专利技术提供了一种耐℃高温压力传感器的转接环结构。本专利技术采用以下技术方案：一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，它包括压力敏感芯体、引线转接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：它包括压力敏感芯体、引线转接组件、调理电路和数字处理器(22)，所述压力敏感芯体、引线转接组件、调理电路、数字处理器(22)依次相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：它包括压力敏感芯体、引线转接组件、调理电路和数字处理器(22)，所述压力敏感芯体、引线转接组件、调理电路、数字处理器(22)依次相连。


2.根据权利要求1所述的一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：压力敏感芯体包括金属膜片(2)和半导体敏感膜片(3)，金属膜片(2)的一端和半导体敏感膜片(3)的一端连接构成刚性一体结构。


3.根据权利要求2所述的一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：半导体敏感膜片(3)选用硅-蓝宝石耐高温材料制成。


4.根据权利要求3所述的一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：
所述半导体敏感膜片(3)利用微机械加工工艺制作。


5.根据权利要求2所述的一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：金属膜片(2)的截面为E形，金属膜片(2)采用TC4钛合金材料制作，TC4钛合金的屈服强度1×109Pa；
所述金属膜片(2)的平面部分与半导体敏感膜片(3)的输入端相连。


6.根据权利要求2所述的一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：半导体敏感膜片(3)的输出端的边缘设有R1、R2、R3和R4四个电阻条，R2、R4的长度方向以半导体敏感膜片(3)轴线为基准对称设置，R1、R3的长度方向以半导体敏感膜片(3)的轴线为基准对称设置，R1、R2、R3和R4设置的方向互相平行，R1、R2、R3和R4上分别与一根芯体引线(17)的输入端连接。


7.根据权利要求6所述的一种耐350℃高温压力传感器的转接环结构，其特征在于：所述引线转接组件包括陶瓷引线(18)、压接组件(8)和高温电缆(13)；
所述每根芯体引线(17)的输出端与一根陶瓷引线(18)的输入端连接，陶瓷引线(18)的输出端与压接组件(8)的一端连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：宁金明，蒋茜，简荣坤，黄尧，修威国，李冰冰，付士民，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，北京动力机械研究所，
类型：发明
国别省市：黑龙;23