【技术实现步骤摘要】
一种消慧差宽带高分辨光谱仪
本专利技术属于光学电子器件
,具体涉及一种多通道宽带高分辨光谱仪。
技术介绍
光谱仪又称分光仪,广泛为认知的为直读光谱仪。以光电倍增管等光探测器测量谱线不同波长位置强度的装置。它由一个入射狭缝,一个色散系统,一个成像系统和一个或多个出射狭缝组成。以色散元件将辐射源的电磁辐射分离出所需要的波长或波长区域,并在选定的波长上(或扫描某一波段)进行强度测定。分为单色仪和多色仪两种。单色仪是一种光子能量和波长选择器,是一种基本的光谱分析和测量仪器,在光学和光电子领域有着广泛的应用,其中应用最广泛的是光栅型单色仪。依据光栅衍射原理:dsinθm=mλ+go式中d是光栅的槽间距,θm是第m级的波长为λ的光子在空间的分布角,go是与光学系统设计有关的常数,取m=1,就可在不同θ角位置上获得相应波长的第一级高效率衍射光子。在传统光栅单色仪设计中,固定入射和出射狭缝位置不变,采用一个机械传动装置,控制光栅的θ角转动,实现对波长进行扫描。采用上述结构的光栅单色仪的主要特点为 ...
【技术保护点】
1.一种消慧差宽带高分辨光谱仪,其特征在于,包括入射狭缝、准直反射镜、集成光栅、二维聚焦成像镜和二维面阵探测器;/n其中,所述集成光栅由多块子光栅组成,各子光栅沿垂直于入射面的y方向排列,每块子光栅在衍射波长分布的x方向具有相同的衍射张角范围;集成光栅的中心设置有一通光孔;/n入射光沿入射狭缝入射,并穿过集成光栅中心的通光孔,入射到准直反射镜上,入射光经准直反射镜准直后沿同轴光路L1入射到集成光栅,经集成光栅的各子光栅衍射后被二维聚焦成像镜聚焦,全光谱区的衍射光沿同轴光路L2,入射到二维面阵探测器的焦平面检测,L1和L2光路的离轴角为零。/n
【技术特征摘要】
1.一种消慧差宽带高分辨光谱仪,其特征在于,包括入射狭缝、准直反射镜、集成光栅、二维聚焦成像镜和二维面阵探测器;
其中,所述集成光栅由多块子光栅组成,各子光栅沿垂直于入射面的y方向排列,每块子光栅在衍射波长分布的x方向具有相同的衍射张角范围;集成光栅的中心设置有一通光孔;
入射光沿入射狭缝入射,并穿过集成光栅中心的通光孔,入射到准直反射镜上,入射光经准直反射镜准直后沿同轴光路L1入射到集成光栅,经集成光栅的各子光栅衍射后被二维聚焦成像镜聚焦,全光谱区的衍射光沿同轴光路L2,入射到二维面阵探测器的焦平面检测,L1和L2光路的离轴角为零。
2.根据权利要求1所述的消慧差宽带高分辨光谱仪,其特征在于,组成集成光栅的子光栅的总数为n,n取决于总的宽光谱区λ和子波长区的宽度△λk,即n=λ/△λk,且每块光栅对应于一个子光谱区。
3.根据权利要求2所述的消慧差宽带高分辨光谱仪,其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈良尧,王松有,赵海斌,郑玉祥,张荣君,杨月梅,陈剑科,江岸青,
申请(专利权)人:复旦大学,
类型:发明
国别省市:上海;31
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