一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉制造技术

本发明专利技术提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机，通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构，能够进行一锅晶体生长完成后设备不降温，采用机械传动方式取出晶体并更换籽晶，再次下种，重复晶体生长过程，与早前的籽晶替换方案相比，本发明专利技术不受籽晶备用舱中籽晶数量的限制，可多次开启籽晶备用舱取出晶体并替换备用籽晶。在坩埚熔体充足的前提下，可持续生长10‑20次，极大的提高蓝宝石晶体的生长效率。

A guide film method for sapphire crystal growth furnace

【技术实现步骤摘要】
一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉
本专利技术属于晶体生长领域，特别涉及一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉。
技术介绍
蓝宝石(Sapphire)是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶，又称刚玉，是一种具有集优良光学、物理和化学性能的独特结合体。作为最硬的氧化物晶体，人造蓝宝石由于其光学和物理特性而被运用于各种要求苛刻的领域，可在高温下保持其高强度、优良的热属性和透过率，有着很好的热特性，极好的电气特性和介电特性，且防化学腐蚀。随着科学技术的迅猛发展，人造蓝宝石(Al2O3)晶体已成为现代工业，尤其是微电子及光电子产业极为重要的基础材料，被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED)，大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。伴随光学革命的到来，人造蓝宝石作为新材料的领军代表，其光学、理化、机械等性能十分优异，在航天、军工、衬底、医疗器械、精密机械、奢侈品等领域应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：从下到上依次设置有基座(1)、晶体生长炉腔体(11)、坩埚(2)、籽晶杆(6)、密封阀(7)、籽晶备用舱腔体(12)、籽晶替换盘(8)、升降机(9)；所述基座(1)一端固定安装在生长炉的外侧最底端，另一端与坩埚(2)底部连接；所述坩埚(2)固定安装在晶体生长炉腔体(11)内侧的底部，坩埚(2)内部装有模具(3)；所述籽晶杆(6)下端连接有籽晶(5)，可下降至模具(3)上方待用，另一端穿过密封阀(7)固定安装在籽晶替换盘(8)上；所述密封阀(7)固定安装在晶体生长炉腔体(11)与籽晶备用舱腔体(12)之间连接端口处；所述籽晶替换盘(8)...

【技术特征摘要】
1.一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：从下到上依次设置有基座(1)、晶体生长炉腔体(11)、坩埚(2)、籽晶杆(6)、密封阀(7)、籽晶备用舱腔体(12)、籽晶替换盘(8)、升降机(9)；所述基座(1)一端固定安装在生长炉的外侧最底端，另一端与坩埚(2)底部连接；所述坩埚(2)固定安装在晶体生长炉腔体(11)内侧的底部，坩埚(2)内部装有模具(3)；所述籽晶杆(6)下端连接有籽晶(5)，可下降至模具(3)上方待用，另一端穿过密封阀(7)固定安装在籽晶替换盘(8)上；所述密封阀(7)固定安装在晶体生长炉腔体(11)与籽晶备用舱腔体(12)之间连接端口处；所述籽晶替换盘(8)固定安装在籽晶备用舱腔体(12)的顶部，贯穿设置有多组槽口，所述籽晶杆(6)固定安装在所述槽口内部；所述密封阀(7)设置有一组通孔，贯穿一组籽晶杆(6)；所述升降机(9)连接籽晶替换盘(8)上的籽晶杆(6)，用于多组籽晶杆(6)的升降调整。


2.根据权利要求1所述的导膜法蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述晶体生长炉腔体(11)与籽晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐军，赵衡煜，王东海，李东振，王庆国，
申请(专利权)人：南京同溧晶体材料研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32