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本发明提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉,从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机,通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构,能够进行一锅晶体生长...该专利属于南京同溧晶体材料研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京同溧晶体材料研究院有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉,从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机,通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构,能够进行一锅晶体生长...