下载一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉的技术资料

文档序号:23553567

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种多次籽晶可替换的导膜法蓝宝石晶体生长炉,从下到上依次设置有基座、晶体生长炉腔体、坩埚、籽晶杆、密封阀、籽晶备用舱腔体、籽晶替换盘、升降机,通过改进坩埚供料系统、籽晶替换盘、籽晶杆及备用籽晶仓的一系列结构,能够进行一锅晶体生长...
该专利属于南京同溧晶体材料研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京同溧晶体材料研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。