量测机台制造技术

一种量测机台，其主要是于机台本体中的平台载体平坦顶面固设口字形石材平台，平台载体与石材平台皆为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件，构成双重高精度的高荷重、不易变形的稳固承载结构，且能达到量测机台整体的平坦度，机台本体上设置量测装置，量测装置的量测组件能被驱动于石材平台上方运动，并以一体式口字形石材平台提供大型或重型待量测对象的承载部件，使其在量测过程中，能够精准地控制石材平台载重后的下垂量于可容许的坐标量测误差范围内。量测机台还能在口字形石材平台中嵌设透光载板，作为轻型或小型待量测对象的承载部件，使量测机台也能适用于小型或轻型的待量测对象的量测作业。

Measuring machine platform

【技术实现步骤摘要】
量测机台
本技术关于一种量测机台，尤指一种非接触式影像量测机台。
技术介绍
为了快速检测各式复杂、精密零部件的轮廓、表面尺寸、角度与位置等微观检测等，目前皆利用影像测机台来执行前述的微观检测作业。以目前应用于有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示面板制程中的金属屏蔽(shadowmask)量测作业的影像量测机台为例，其主要是于一机台本体的载板上设置钢质架杆制成的定位框架，并以定位框架固定可透光的玻璃板，以玻璃板作为待量测对象放置的载体，另机台本体上设置由驱动机构带动的影像撷取器，进一步搭配设置于玻璃板下方能为驱动机构带动的底光源，使其能受控对待量测对象执行影像量测作业。前述金属屏蔽(shadowmask)配合高分辨率的有机发光二极管(OLED)显示面板的发展趋势，金属屏蔽的图案形状与尺寸等精密度也相对提高。因此，量测机台必需符合高精密度的量测性能，且其承载平台必需具备预定整体平坦度。目前现有的量测机台为了达到预定的整体平坦度，其承载平台采取多部件组合方式并接的构造，并接时必须逐一部件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种量测机台，其特征在于，包括：/n一机台本体，其定义有相互垂直的一X轴、一Y轴及一Z轴，该X轴与该Y轴位于该机台本体的一假想水平面，该Z轴纵向垂直于该假想水平面，该机台本体包括一平台载体，该平台载体为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的石材部件，该平台载体的顶面为平行于该假想水平面的平坦表面；/n一石材平台，其固设于该机台本体的平台载体上，该石材平台为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件，该石材平台的顶面为平坦表面且平行于该假想水平面，该石材平台中设有沿Z轴方向贯通的一中槽；以及/n一量测装置，其能受控运动地装设于机台本体上，该量测装置包括至少一量测组件以及一驱动机构，该量测组件...

【技术特征摘要】
1.一种量测机台，其特征在于，包括：
一机台本体，其定义有相互垂直的一X轴、一Y轴及一Z轴，该X轴与该Y轴位于该机台本体的一假想水平面，该Z轴纵向垂直于该假想水平面，该机台本体包括一平台载体，该平台载体为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的石材部件，该平台载体的顶面为平行于该假想水平面的平坦表面；
一石材平台，其固设于该机台本体的平台载体上，该石材平台为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件，该石材平台的顶面为平坦表面且平行于该假想水平面，该石材平台中设有沿Z轴方向贯通的一中槽；以及
一量测装置，其能受控运动地装设于机台本体上，该量测装置包括至少一量测组件以及一驱动机构，该量测组件能运动地设置于该石材平台的上方，该驱动机构装设于该机台本体上且连接所述量测组件，并能驱动所述量测组件作三维空间的运动。


2.如权利要求1所述的量测机台，其特征在于，该石材平台的中槽中嵌设一透光载板，该透光载板平行于该假想水平面。


3.如权利要求2所述的量测机台，其特征在于，该石材平台于该中槽的周壁顶部形成一环槽以及位于该环槽下方的一环形承载部，该透光载板的周边嵌入该环槽内且抵靠于该环形承载部上。


4.如权利要求3所述的量测机台，其特征在于，该透光载板为厚度大于或等于12mm的玻璃板，该透光载板的顶面与该石材平台的顶面平齐，或低于该石材平台的顶面。


5.如权利要求1所述的量测机台，其特征在于，该量测装置还包括能由驱动机构带动的一底光源，该底光源位于该机台本体的平台载体与该石材平台之间，且位...

【专利技术属性】
技术研发人员：酈唯诚，王金源，
申请(专利权)人：旭晖应用材料股份有限公司，源台精密科技股份有限公司，全洋黄石材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71