一种炉管及LPCVD设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种炉管及LPCVD设备，属于太阳能电池生产技术领域。LPCVD设备包括炉管。该炉管包括管体，管体内设置有进气管，进气管包括炉尾进气管和若干炉口进气管，炉尾进气管从管体的炉尾延伸至管体的中部，炉口进气管从管体的炉口延伸至管体的中部。炉口进气管以管体的中心轴线为中心呈环形均匀分布，炉口进气管的长度依次递减，炉尾进气管与最短的炉口进气管靠近。炉口进气管设置有若干炉口出气孔，炉口出气孔包括叉设置的第一孔和第二孔，第一孔的孔径大于第二孔的孔径。炉尾进气管设有若干炉尾出气孔，炉尾出气孔的孔径沿着炉尾至炉口的方向依次减小。本实用新型专利技术使得气体均匀分布于管体内，大大改善硅片之间和片内薄膜沉积的均匀性。

A furnace tube and LPCVD equipment

【技术实现步骤摘要】
一种炉管及LPCVD设备
本技术涉及太阳能电池生产
，尤其涉及一种炉管及LPCVD设备。
技术介绍
光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。当前，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。从目前的太阳能电池损失分析中，我们可以了解到，其中金属与半导体接触区域造成的损失是电池损失来源的主要部分。目前主要采用在硅片上沉积poly-si薄膜的方式改善金属接触区域的损失，通过这种技术既可以改善电池表面钝化又可以促进多数载流子传输，进而提升电池的开路电压和填充因子。现有技术中通常采用LPCVD(LowPressureChemicalVaporDeposition，低压化学气相沉积)的方式生产poly-si，其中，LPCVD设备是在低压高温条件下，通过混合气体的化学反应生成固体反应物并使其沉积在硅片表面形成薄膜，属于化学气相沉积(CVD)设备当中的一种，该设备的核心在于CVD反应，也就是炉管内的沉积反应。为了进行该沉积反应，LPCVD设备常在炉管的炉口进气，炉尾进行抽气，然而这种方式在硅片上沉积poly-si时，经常出现炉口和炉尾沉积的poly-si偏薄、炉中硅片之间及片内沉积均匀性差异都较大的现象，严重影响电池效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种炉管及LPCVD设备，能够改善硅片沉积薄膜的均匀性。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种炉管，包括管体，所述管体的一端为炉口，另一端为炉尾，所述管体内设置有若干进气管，所述进气管包括至少一个炉尾进气管和若干炉口进气管，所述炉尾进气管从所述管体的炉尾沿平行于所述管体的中心轴线的方向延伸至所述管体的中部，所述炉口进气管从所述管体的炉口沿平行于所述管体的中心轴线的方向延伸至所述管体的中部；若干所述炉口进气管以所述管体的中心轴线为中心呈环形均匀分布，若干所述炉口进气管的长度沿一方向依次递减，所述炉尾进气管的悬置端与最短的所述炉口进气管的悬置端靠近；所述炉口进气管沿其长度方向设置有若干炉口出气孔，所述炉口出气孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔的孔径大于所述第二孔的孔径，所述第一孔和所述第二孔交叉设置；所述炉尾进气管沿其长度方向设有若干炉尾出气孔，所述炉尾出气孔的孔径沿着所述炉尾至所述炉口的方向依次减小。作为优选，所述第一孔的孔径为所述第二孔的孔径的1.2-1.5倍，所述第一孔的孔径为2-4mm。作为优选，所述炉口进气管上相邻的所述第一孔和所述第二孔之间的中心距离为25-35mm。作为优选，设定第i个所述炉口进气管3的长度为S，则其中，i＝1、2、3…N，L为管体的长度，N为所述炉口进气管的个数。作为优选，所述炉口进气管有四个，四个所述炉口进气管的长度分别为5/7L、4/7L、3/7L、2/7L。作为优选，所述炉尾进气管的长度为S0，则5/7×(1-0.1)L≤S0≤5/7×(1+0.1)L。作为优选，相邻两个所述炉尾出气孔之间的中心距离沿着所述炉尾至所述炉口的方向依次增大。作为优选，所述管1内可拆卸连接有内环，所述管体和所述内环之间形成环形空腔，所述进气管均设置于所述空腔中，所述内环的表面开设有若干内环出气孔，所述内环出气孔的孔径沿所述炉口至所述炉尾的方向依次增大。作为优选，所述炉口进气管和所述炉尾进气管的中心轴线与所述管体内壁之间的间距为15-35mm，所述炉口进气管和所述炉尾进气管的中心轴线分别与所述管体的内壁之间的距离均小于所述炉口进气管和所述炉尾进气管的中心轴线与所述内环之间的距离。一种LPCVD设备，包括上述的炉管。本技术的有益效果为：本技术通过在炉口设置炉口进气管，在炉尾设置炉尾进气管，使炉口进气管和炉尾进气管同步进气，进而能够保证炉管的整体长度方向上有足够的进气，能够保持气流的稳定性，进而提高硅片之间和片内薄膜沉积的均匀性，进而提高良品率和太阳能电池的效率。附图说明图1是本技术实施例中的炉管的立体结构示意图；图2是本技术实施例中的炉管的主视结构示意图；图3是本技术实施例中的炉管的侧视结构示意图；图4是本技术实施例中的炉口进气管的结构示意图；图5是本技术实施例中的炉尾进气管的结构示意图；图6是本技术实施例中的安装有内环的炉管的主视结构示意图；图7是图6中的内环的立体结构示意图；图8是图6中的内环与炉尾端部的连接剖视结构示意图；图9是图6中的内环与炉口环形法兰的连接剖视结构示意图；图10是本技术实施例中的悬臂推拉舟的结构示意图；图11是本技术实施例中的炉门的结构示意图。图中：1-管体，2-炉尾进气管，21-炉尾出气孔，3-炉口进气管，30-炉口出气孔，301-第一孔，302-第二孔，31-第一炉口进气管，32-第二炉口进气管，33-第三炉口进气管，34-第四炉口进气管，4-环形法兰，41-环形凹槽，5-抽气孔，6-内环，61-内环出气孔，7-空腔，8-悬臂推拉舟，81-炉门，810-环形凸起，82-驱动装置，83-悬臂，9-炉口。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。本技术提供了一种LPCVD设备，如图1至图3所示，其包括炉管，炉管包括管体1，管体1的一端为炉口9，另一端为炉尾，炉口9处连接有环形法兰4，其中，该环形法兰4通过螺钉与管体1可拆卸连接。炉尾中心开设有抽气孔5。如图1至图3所示，管体1内设置有若干进气管，进气管包括至少一个炉尾进气管2和若干炉口进气管3，若干炉口进气管3的一端连接于环形法兰4。炉尾进气管2的一端连接在炉尾端部。炉尾进气管2从管体1的炉尾沿平行于管体1的中心轴线的方向延伸至管体1的中部，炉口进气管3从管体1的炉口9沿平行于管体1的中心轴线的方向延伸至管体1的中部。炉尾进气管2和若干炉口进气管3的悬置端均封闭。如图4所示，炉口进气管3沿其长度方向设置有若干炉口出气孔30。如图5所示，炉尾进气管2沿其长度方向设有若干炉尾出气孔21。在本实施例中，通过炉口进气管3和炉尾进气管2同步进气，并由炉口进气管3的第一孔301和第二孔302、及炉尾进气管2的炉尾出气孔21同步分段进气，从而在炉管的整体长度上每个区段都能够有足够的进气，进而能够改善因气体从进气管端部出气造成炉口气体浓度小，以及抽气孔5在炉尾抽气导致炉尾气体流动过快造成气体浓度偏低的影响。进一步地，若干炉口进气管3以管体1的中心轴线为中心呈环形均匀分布，可以使气体向管体1中心均匀分散，保证环向区域中气体浓度的均匀性。在此基础上，若干炉口进气管3的长度沿一方向依次递减，炉尾进气管2的悬置端与最短的炉口进气管3的悬置端靠近。这时，通过不同长度的炉口进气管3能够在从炉口9起始至管体1中部的位置的不同区段中形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉管，包括管体(1)，所述管体(1)的一端为炉口(9)，另一端为炉尾，其特征在于，所述管体(1)内设置有若干进气管，所述进气管包括至少一个炉尾进气管(2)和若干炉口进气管(3)，所述炉尾进气管(2)从所述管体(1)的炉尾沿平行于所述管体(1)的中心轴线的方向延伸至所述管体(1)的中部，所述炉口进气管(3)从所述管体(1)的炉口(9)沿平行于所述管体(1)的中心轴线的方向延伸至所述管体(1)的中部；/n若干所述炉口进气管(3)以所述管体(1)的中心轴线为中心呈环形均匀分布，若干所述炉口进气管(3)的长度沿一方向依次递减，所述炉尾进气管(2)的悬置端与最短的所述炉口进气管(3)的悬置端靠近；/n所述炉口进气管(3)沿其长度方向设置有若干炉口出气孔(30)，所述炉口出气孔(30)包括第一孔(301)和第二孔(302)，所述第一孔(301)的孔径大于所述第二孔(302)的孔径，所述第一孔(301)和所述第二孔(302)交叉设置；/n所述炉尾进气管(2)沿其长度方向设有若干炉尾出气孔(21)，所述炉尾出气孔(21)的孔径沿着所述炉尾至所述炉口(9)的方向依次减小。/n

【技术特征摘要】
1.一种炉管，包括管体(1)，所述管体(1)的一端为炉口(9)，另一端为炉尾，其特征在于，所述管体(1)内设置有若干进气管，所述进气管包括至少一个炉尾进气管(2)和若干炉口进气管(3)，所述炉尾进气管(2)从所述管体(1)的炉尾沿平行于所述管体(1)的中心轴线的方向延伸至所述管体(1)的中部，所述炉口进气管(3)从所述管体(1)的炉口(9)沿平行于所述管体(1)的中心轴线的方向延伸至所述管体(1)的中部；
若干所述炉口进气管(3)以所述管体(1)的中心轴线为中心呈环形均匀分布，若干所述炉口进气管(3)的长度沿一方向依次递减，所述炉尾进气管(2)的悬置端与最短的所述炉口进气管(3)的悬置端靠近；
所述炉口进气管(3)沿其长度方向设置有若干炉口出气孔(30)，所述炉口出气孔(30)包括第一孔(301)和第二孔(302)，所述第一孔(301)的孔径大于所述第二孔(302)的孔径，所述第一孔(301)和所述第二孔(302)交叉设置；
所述炉尾进气管(2)沿其长度方向设有若干炉尾出气孔(21)，所述炉尾出气孔(21)的孔径沿着所述炉尾至所述炉口(9)的方向依次减小。


2.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述第一孔(301)的孔径为所述第二孔(302)的孔径的1.2-1.5倍，所述第一孔(301)的孔径为2-4mm。


3.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述炉口进气管(3)上相邻的所述第一孔(301)和所述第二孔(302)之间的中心距离为25-35mm。


4.根据权利要求1所述的炉管，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海燕，李兵，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32