丙烯汽化器制造技术

本发明专利技术的课题在于防止原料液体的空化。在原料液体以被吹到汽化板(8)的方式流动的原料液体导入路(6)，配置有棒状的电阻器(7)，使原料液体导入路(6)相对于原料液体的电导率下降。由于液体质量流量控制器的出口侧的压力上升，与液体质量流量控制器的入口侧的压力的压力差变小，因而能够防止空化的发生。能够使电阻器(7)以多个构成。

Propylene vaporizer

【技术实现步骤摘要】
丙烯汽化器
本专利技术涉及使丙烯树脂原料汽化的技术，尤其涉及使丙烯树脂原料的气体产生速度稳定的技术。
技术介绍
作为含有具有容易因水分或氧等而劣化的性质的化合物的元件，已知例如有机EL(ElectroLuminescence(电致发光))元件等。关于这样的元件，进行通过形成含有该化合物的层与覆盖该层的保护层的层叠构造而抑制水分等侵入到元件内的尝试。例如，在下述专利文献1中，记载了在上部电极层上具有由无机膜与有机膜的层叠膜构成的保护层的发光元件。当形成丙烯树脂薄膜时，在丙烯汽化器使丙烯树脂的原料液体汽化而生成原料气体，供给至成膜对象物的表面而使其附着于该表面，加热而使丙烯树脂原料聚合，形成丙烯树脂膜。为了使丙烯树脂薄膜的成膜速率稳定，有必要使原料气体的供给速度稳定，因此，在丙烯汽化器与原料罐之间设有液体质量流量控制器，使由液体质量流量控制器(MFC)进行流量控制的原料液体供给至丙烯汽化器。然而，存在从液体质量流量控制器供给的丙烯树脂原料的量有时候瞬间地变动而在短时间的成膜等等的情况下成为问题的可能性。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-73880号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题在对从液体质量流量控制器供给至丙烯汽化器的液体的丙烯树脂原料进行观察，理解在丙烯树脂原料中发生由于压力差而导致的空化(cavitation)，确认从液体质量流量控制器供给的丙烯树脂原料的量瞬间地变动的原因在于空化。关于空化，为了将原料液体从原料罐送出而使用的推压气体溶解于原料液体中被认为是一个原因，因而考虑将难溶性的气体用于推压气体。另外，考虑在液体质量流量控制器与原料罐之间设有真空脱气装置而除去溶解于原料液体中的气体。可是，这些对策为高价的，另外，由于管理的人工也增加而为不理想的。本专利技术的课题在于，提供在从液体质量流量控制器供给的液体的丙烯树脂原料未使空化发生的便宜并且可靠的技术。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术是一种丙烯汽化器，其具有：原料液体导入路，由液体质量流量控制器进行流量控制的丙烯树脂膜的原料液体流动于原料液体导入路；喷出口，流动至前述原料液体导入路的前述原料液体到达喷出口；载气导入路，其将载气供给至前述喷出口；密闭容器，其具有前述原料液体的微量液滴(小液滴的原料液体)和前述载气从前述喷出口喷出的内部空间；汽化板，其配置于前述内部空间，前述原料液体的微量液滴接触汽化板；加热装置，其对前述汽化板进行加热；以及原料气体供给配管，作为前述微量液滴与由前述加热装置进行前述加热后的前述汽化板接触而生成的前述原料液体的气体的原料气体流动于原料气体供给配管，通过在前述原料液体导入路配置有棒状的电阻器，使前述原料液体流动至前述电阻器与前述原料液体导入路的壁面之间的间隙，从而前述原料液体导入路相对于前述原料液体的电导率下降。另外，本专利技术是一种丙烯汽化器，其具有在前述密闭容器设置的原料液体导入配管和在前述密闭容器的前述内部空间侧的壁面设置的喷嘴装置，在前述原料液体导入配管设置的第一液体导入孔、在前述密闭容器的顶板设置的第二液体导入孔、以及在前述喷嘴装置设置的第三液体导入孔连通而形成前述原料液体导入路，前述电阻器配置于前述第一至第三液体导入孔的任一个或多个的内部。另外，本专利技术是前述电阻器分割成两个以上的丙烯汽化器。另外，本专利技术是棒状的前述电阻器的外径比前述原料液体导入路的内径更小的丙烯汽化器。另外，本专利技术是前述电阻器配置于在前述原料液体导入路的内部设置的支撑部上的丙烯汽化器。专利技术的效果由于能够防止空化的发生，因而能够使丙烯树脂膜的原料气体的生成速度稳定。附图说明图1是用于说明使用本专利技术的丙烯汽化器的丙烯树脂膜制造装置的框图；图2是本专利技术的丙烯汽化器。具体实施方式图1是用于说明形成丙烯树脂膜的丙烯树脂膜制造装置10的框图，对于用于在处理对象物的表面形成丙烯树脂膜的原料，在本专利技术中，使用一种原料液体，其为液体的单体，如果聚合，则得到高分子的丙烯树脂。该原料液体储液于原料罐52。首先，如果说明丙烯树脂膜制造装置10的动作的概要，则原料罐52经由液体质量流量控制器53来连接至丙烯汽化器2，如果储液于原料罐52的原料液体在通过液体质量流量控制器53而进行流量控制的状态下供给至丙烯汽化器2，则液体的原料液体在丙烯汽化器2的内部汽化，生成作为丙烯树脂的原料的气体的原料气体。在成膜装置56的内部，配置有成膜对象物，通过真空排气装置57而对成膜装置56的内部进行真空排气。在丙烯汽化器2生成的原料气体供给至成膜装置56，附着于成膜对象物，通过成膜对象物的加热或对成膜对象物的紫外线照射等硬化手段而聚合，在成膜对象物的表面形成丙烯树脂膜。接着，如果说明丙烯汽化器2的动作，则参照图2，丙烯汽化器2具有密闭容器11，在密闭容器11的外部，配置有原料液体导入配管31、载气输送配管34以及原料气体供给配管37。在原料液体导入配管31的内部，形成有第一液体导入孔13，在密闭容器11的壁，形成有第二液体导入孔14、第一气体导入孔26以及原料气体供给孔27。对于密闭容器11的壁，除了侧表面的壁以外，还包含顶板和底板。在此，第二液体导入孔14和第一气体导入孔26设于顶板，原料气体供给孔27设于侧表面的壁，但不限定于此。而且，在第二液体导入孔14，原料液体导入配管31一端固定于密闭容器11，另一端连接至连接部32，使得第一液体导入孔13和第二液体导入孔14连通。原料液体输送配管33(其一端连接至液体质量流量控制器53)的另一端连接至连接部32，原料液体输送配管33的内部的用于液体的常规配管孔35和原料液体导入配管31的第一液体导入孔13在连接部32中连通。此外，在连接部32中，在原料液体导入配管31的上述另一端形成的凸缘61和在原料液体输送配管33的上述另一端形成的凸缘62经由金属垫片64来密合，在两个凸缘61、62装配有带有螺纹的盖63，两个凸缘61、62通过盖63而互相推压。由于该构造而在连接部32中不存在液体泄漏。此外，原料液体导入配管31固定于密闭容器11，当将丙烯汽化器2从原料液体输送配管33拆卸时，将连接部32的盖63拧松，保持着原料液体导入配管31固定于密闭容器11的状态，使原料液体导入配管31从原料液体输送配管33分离。在载气输送配管34的内部，形成有气体配管孔38，载气输送配管34一端固定于密闭容器11，使得气体配管孔38和第一气体导入孔26连通。载气输送配管34的另一端连接至载气源54，载气源54所供给的载气穿过气体配管孔38而到达第一气体导入孔26。在原料气体供给配管37，配置有原料气体导入孔39，原料气体供给配管37一端固定于密闭容器11，使得原料气体导入孔39和原料气体供给孔27连通。原料气体供给配管37的另一端连接至成膜装置56，使得原料气体穿过原料气体导入孔39本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种丙烯汽化器，具有：/n原料液体导入路，由液体质量流量控制器进行流量控制的丙烯树脂膜的原料液体流动于所述原料液体导入路；/n喷出口，流动至所述原料液体导入路的所述原料液体到达所述喷出口；/n载气导入路，其将载气供给至所述喷出口；/n密闭容器，其具有所述原料液体的微量液滴和所述载气从所述喷出口喷出的内部空间；/n汽化板，其配置于所述内部空间，所述原料液体的微量液滴接触所述汽化板；/n加热装置，其对所述汽化板进行加热；以及/n原料气体供给配管，作为所述微量液滴与由所述加热装置进行所述加热后的所述汽化板接触而生成的所述原料液体的气体的原料气体流动于所述原料气体供给配管，/n通过在所述原料液体导入路配置有棒状的电阻器，使所述原料液体流动至所述电阻器与所述原料液体导入路的壁面之间的间隙，从而所述原料液体导入路相对于所述原料液体的电导率下降。/n

【技术特征摘要】
20180911 JP 2018-1693321.一种丙烯汽化器，具有：
原料液体导入路，由液体质量流量控制器进行流量控制的丙烯树脂膜的原料液体流动于所述原料液体导入路；
喷出口，流动至所述原料液体导入路的所述原料液体到达所述喷出口；
载气导入路，其将载气供给至所述喷出口；
密闭容器，其具有所述原料液体的微量液滴和所述载气从所述喷出口喷出的内部空间；
汽化板，其配置于所述内部空间，所述原料液体的微量液滴接触所述汽化板；
加热装置，其对所述汽化板进行加热；以及
原料气体供给配管，作为所述微量液滴与由所述加热装置进行所述加热后的所述汽化板接触而生成的所述原料液体的气体的原料气体流动于所述原料气体供给配管，
通过在所述原料液体导入路配置有棒状的电阻器，使所述原料液体流动至所述电阻器与所述原料液体导入路的壁面之间的间隙，从而...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤裕子，冈山智彦，冈野秀一，矢岛贵浩，越智贵志，平濑刚，千崎刚史，加藤拓司，岸本克彦，增野彻，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，夏普株式会社，堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP