内存使用量监测方法及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种内存使用量监测方法及基板处理装置，本发明专利技术的内存使用量监测方法包括：内存使用量收集步骤，根据预设的收集周期，收集内存使用量；内存泄漏判断步骤，根据所收集的上述内存使用量，判断是否发生内存泄漏；以及警报处理步骤，根据对上述内存泄漏的判断结果，来生成设备警报，上述内存泄漏判断步骤包括：第一内存泄漏判断步骤，通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较，来判断是否发生内存泄漏；以及第二内存泄漏判断步骤，在上述内存使用量未超过上述预设临界值的情况下，根据上述内存使用量的变化趋势，来判断是否发生内存泄漏。

Memory usage monitoring method and substrate processing device

【技术实现步骤摘要】
内存使用量监测方法及基板处理装置
本专利技术涉及一种内存使用量监测方法及基板处理装置，更详细地，其目的在于，防止因存储器的使用超过允许值而导致设备停止驱动。
技术介绍
在工厂内驱动的基板处理装置连续进行基板处理工序。由于基板处理装置连续进行基板处理工序，因此，基板处理装置的内部零件会发生劣化。在因内部零件劣化而导致基板处理装置停止驱动的情况下，作业人员应掌握基板处理装置停止驱动的原因并更换劣化零件或通过执行其他操作来消除基板处理装置停止驱动的原因。即，在基板处理装置产生硬件问题的情况下，作业人员可通过掌握其原因来消除其原因。与此不同，配置于基板处理装置的主计算机有可能因不明原因而停止，或者基板处理装置驱动程序有可能因不明原因而结束。在主计算机停止或基板处理装置驱动程序结束的情况下，作业人员无法在主计算机中找到停止驱动的原因并消除原因。这是因为，即使作业人员是程序员，要想找到并分析出主计算机停止驱动的原因或基板处理装置驱动程序结束的原因也需要很长时间。由于不能长时间搁置重视生产率的基板处理装置，因此作业人员只能在主计算机上生成日志并连同主计算机一起，对设备进行重置。同时，在基板处理装置上正在进行工序处理的基板有可能被报废处理。即，在基板处理装置产生软件问题的情况下，作业人员既无法掌握其原因，也无法消除其原因。另一方面，导致软件相关问题的原因之一为内存使用量超过了允许值。用于驱动基板处理装置的基板处理装置驱动程序在配置于基板处理装置的主计算机中执行。作业人员需要花费很多时间和精力来监测主计算机的内存使用量，以防止基板处理装置因内存使用量超过允许值而导致停止驱动。这是因为工厂内不是只有一台基板处理装置，而是有多台基板处理装置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种有效的内存使用量监测方法和基板处理装置，以防止因内存使用量超过允许值而导致设备停止驱动。为了实现上述目的，本专利技术的内存使用量监测方法包括：根据预设的收集周期来收集内存使用量的步骤；根据所收集的上述内存使用量来判断是否发生内存泄漏的步骤；以及根据对上述内存泄漏的判断结果来生成设备警报的步骤，上述根据所收集的上述内存使用量来判断是否发生内存泄漏的步骤包括：通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较来判断是否发生内存泄漏的步骤；以及在上述内存使用量未超过上述预设临界值的情况下根据上述内存使用量的变化趋势来判断是否发生内存泄漏的步骤。本专利技术的特征在于，通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较来判断是否发生内存泄漏的步骤为如下的步骤：在上述内存使用量超过上述预设临界值的情况下，判断为发生内存泄漏。本专利技术的特征在于，上述内存使用量为所有应用程序的总内存使用量、上述应用程序各自的内存使用量中的至少一种。本专利技术还包括将内存使用量积累并存储于存储器的步骤，根据上述内存使用量的变化趋势来判断是否发生内存泄漏的步骤包括如下的步骤：对于在每个上述收集周期内积累并存储的内存使用量判断在预设期间内内存使用量的最大值更新次数，在最大内存使用量的上述最大值更新次数在上述预设期间内超过临界更新次数的情况下，判断为发生内存泄漏。本专利技术还包括在每个上述收集周期内将内存使用量积累并存储于存储器的步骤，根据上述内存使用量的变化趋势来判断是否发生内存泄漏的步骤包括如下的步骤：对于在每个上述收集周期内积累并存储的内存使用量判断在预设期间内是否更新内存使用量的最大值，在上述内存使用量的最大值更新在上述预设期间内连续发生的情况下，判断为发生内存泄漏。本专利技术的特征在于，上述内存使用量为所有应用程序的总内存使用量、上述应用程序各自的内存使用量中的至少一种。本专利技术的基板处理装置包括：内存使用量收集部，根据预设的收集周期，收集内存使用量；内存泄漏判断部，根据上述内存使用量，判断是否发生内存泄漏；以及设备警报发生部，根据对上述内存泄漏的判断结果，来生成设备警报，上述内存泄漏判断部通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较来判断是否发生内存泄漏，在上述内存使用量未超过上述预设临界值的情况下，根据上述内存使用量的变化趋势，来判断是否发生内存泄漏。本专利技术的特征在于，当上述内存泄漏判断部通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较来判断是否发生内存泄漏时，在上述内存使用量超过上述预设临界值的情况下，判断为发生内存泄漏。本专利技术的特征在于，上述内存使用量为所有应用程序的总内存使用量、上述应用程序各自的内存使用量中的至少一种。本专利技术的特征在于，还包括积累并存储上述内存使用量的内存使用量存储部，当上述内存泄漏判断部根据上述内存使用量的变化趋势来判断是否发生内存泄漏时，对于在每个上述收集周期内积累并存储的内存使用量判断在预设期间内内存使用量的最大值更新次数，在最大内存使用量的上述最大值更新次数在上述预设期间内超过临界更新次数的情况下，判断为发生内存泄漏。本专利技术的特征在于，还包括积累并存储上述内存使用量的内存使用量存储部，上述内存泄漏判断部对于在每个上述收集周期内积累并存储的内存使用量判断在预设期间内是否更新内存使用量的最大值，在上述内存使用量的最大值更新在上述预设期间内连续发生的情况下，判断为发生内存泄漏。本专利技术的特征在于，上述内存使用量为所有应用程序的总内存使用量、上述应用程序各自的内存使用量中的至少一种。根据本专利技术，可通过判断是否发生内存泄漏来事先防止基板处理装置停止驱动，从而可提高基板处理装置的生产率。并且，根据本专利技术，在判断为存在内存泄漏的情况下，可通过警报来让使用人员事先知晓存在内存泄漏。根据本专利技术，因为不需要使用人员直接进行判断是否发生内存泄漏所需的监测，所以可以节省监测内存使用量的人力、时间、成本等。根据本专利技术，通过对所有应用程序的总内存使用量和每个应用程序的内存使用量判断是否发生内存泄漏，从而可以判断出应用程序中的哪个应用程序使用了超出允许值的存储器。附图说明图1为用于说明本专利技术实施例的内存使用量监测方法的流程图。图2为示例性地表示本专利技术实施例的内存使用量监测方法的基于预设的收集周期收集并存储的内存使用量的图。图3为本专利技术实施例的基板处理装置的简要结构图。具体实施方式参照附图，详细说明本专利技术。图1为用于说明本专利技术实施例的内存使用量监测方法的流程图，图2为示例性地表示本专利技术实施例的内存使用量监测方法的基于预设的收集周期收集并存储的内存使用量的图。参照图1，本专利技术实施例的内存使用量监测方法包括内存使用量收集步骤S100、内存使用量存储步骤S200、内存泄漏判断步骤S300以及警报处理步骤S400。在内存使用量收集步骤S100中，根据预设的收集周期来收集内存使用量。所收集的内存使用量之后在内存泄漏判断步骤S300中成为内存泄漏判断对象。存储器可以包括虚拟存储器和物理存储器中的至少一个。内存使用量可以是在基板处理装置中驱动的所有应用程序的总内存使用量。或者，内存使用量可以是每个应用程序的内存使用量或特定应用程序的内存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种内存使用量监测方法，其特征在于，/n包括：/n内存使用量收集步骤，根据预设的收集周期，收集内存使用量；/n内存泄漏判断步骤，根据所收集的上述内存使用量，判断是否发生内存泄漏；以及/n警报处理步骤，根据对上述内存泄漏的判断结果，来生成设备警报，/n上述内存泄漏判断步骤包括：/n第一内存泄漏判断步骤，通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较，来判断是否发生内存泄漏；以及/n第二内存泄漏判断步骤，在上述内存使用量未超过上述预设临界值的情况下，根据上述内存使用量的变化趋势，来判断是否发生内存泄漏。/n

【技术特征摘要】
20180823 KR 10-2018-00985411.一种内存使用量监测方法，其特征在于，
包括：
内存使用量收集步骤，根据预设的收集周期，收集内存使用量；
内存泄漏判断步骤，根据所收集的上述内存使用量，判断是否发生内存泄漏；以及
警报处理步骤，根据对上述内存泄漏的判断结果，来生成设备警报，
上述内存泄漏判断步骤包括：
第一内存泄漏判断步骤，通过对上述内存使用量和预设临界值进行比较，来判断是否发生内存泄漏；以及
第二内存泄漏判断步骤，在上述内存使用量未超过上述预设临界值的情况下，根据上述内存使用量的变化趋势，来判断是否发生内存泄漏。


2.根据权利要求1所述的内存使用量监测方法，其特征在于，在上述第一内存泄漏判断步骤中，在上述内存使用量超过上述预设临界值的情况下，判断为发生内存泄漏。


3.根据权利要求2所述的内存使用量监测方法，其特征在于，上述内存使用量为所有应用程序的总内存使用量、上述应用程序各自的内存使用量中的至少一种。


4.根据权利要求1所述的内存使用量监测方法，其特征在于，
还包括存储步骤，在上述存储步骤中，将所收集的上述内存使用量存储于存储器，
上述第二内存泄漏判断步骤包括如下的步骤：
对于在每个上述收集周期存储的内存使用量判断在预设期间内内存使用量的最大值更新次数，
在最大内存使用量的上述最大值更新次数在上述预设期间内超过临界更新次数的情况下，判断为发生内存泄漏。


5.根据权利要求1所述的内存使用量监测方法，其特征在于，
还包括存储步骤，在上述存储步骤中，将在每个上述收集周期内所收集的内存使用量存储于存储器，
上述第二内存泄漏判断步骤包括如下的...

【专利技术属性】
技术研发人员：任相满，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR