一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高转换效率SE‑PERC太阳能电池的制备方法，涉及太阳能电池技术领域，包括以下制备步骤：1）制绒2）；磷扩散；3）激光重掺杂；4）氧化；5）去PSG；6）碱蚀刻抛光：将硅片背面进行碱蚀刻抛光；7）去除硅片正面的硅磷玻璃；8）退火；9）在硅片表面镀双面氧化铝钝化膜；10）正面沉积减反射膜；11）背面沉积钝化膜；12）背面激光开槽；13）丝网印刷；14）烧结；本发明专利技术使用的是碱蚀刻技术，相对于酸蚀刻，可以降低刻蚀酸使用量，减少酸废水成本处理，有利于环保，且在激光重掺杂后、去PSG前增加了一到氧化工序，可以保证PN结不会受损伤，也可以对硅片有良好的钝化效果，对转换效率有明显提升。

A preparation method of high conversion efficiency se-perc solar cell

【技术实现步骤摘要】
一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法。
技术介绍
PERC太阳能电池是目前市场上最主流的高效电池之一。其中SE-PERC电池是在PERC基础上增加的一道激光重掺杂技术(SE)工序，实现了太阳能电池的选择性掺杂。将正面激光重掺杂技术(SE)与细栅线相结合，提升了钝化效果，开路电压明显提升，因此大大提升了太阳能电池的转换效率。现有SE-PERC太阳能制备方法有一种为碱刻蚀背面抛光，其制备流程为：制绒-扩散-激光掺杂-去背面硅磷玻璃-背面碱刻蚀抛光-去正面硅磷玻璃-退火-双面镀氧化铝-正面沉积减反膜-背面沉积钝化膜-背面激光开孔-背电极、背电场和正电极印刷-烧结。然而，激光重掺杂技术要将磷扩散后的PN结进行重掺杂，重掺杂区域的氧化层容易受损，因此重掺杂部分PN结会暴露出来。之后，在进行碱抛光背面过程中，抛光液会侵蚀到正面PN结，导致电池转换效率下降。因此有必要通过一种新的工艺来保护PN结不被抛光液侵蚀。例如，一种在中国专利文献上公开的“一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：/n1）制绒：在硅片的表面形成绒面；/n2）磷扩散：将制绒后的硅片进行磷扩散处理；/n3）激光重掺杂：将扩散后的硅片进行激光重掺杂；/n4）氧化：将激光重掺杂后进行掺杂的那面镀一层氧化膜；/n5）去PSG：去除硅片背面的硅磷玻璃；/n6）碱蚀刻抛光：将硅片背面进行碱蚀刻抛光；/n7）去除硅片正面的硅磷玻璃；/n8）退火：对硅片进行退火处理；/n9）在硅片表面镀双面氧化铝钝化膜；/n10）正面沉积减反射膜：正面镀氮化硅膜；/n11）背面沉积钝化膜：背面镀氮化硅膜；/n12）背面激光开槽：对背面氮化硅和氧化铝进行激...

【技术特征摘要】
1.一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：
1）制绒：在硅片的表面形成绒面；
2）磷扩散：将制绒后的硅片进行磷扩散处理；
3）激光重掺杂：将扩散后的硅片进行激光重掺杂；
4）氧化：将激光重掺杂后进行掺杂的那面镀一层氧化膜；
5）去PSG：去除硅片背面的硅磷玻璃；
6）碱蚀刻抛光：将硅片背面进行碱蚀刻抛光；
7）去除硅片正面的硅磷玻璃；
8）退火：对硅片进行退火处理；
9）在硅片表面镀双面氧化铝钝化膜；
10）正面沉积减反射膜：正面镀氮化硅膜；
11）背面沉积钝化膜：背面镀氮化硅膜；
12）背面激光开槽：对背面氮化硅和氧化铝进行激光开槽；
13）丝网印刷：对背电极、背电场和正电极进行印刷；
14）烧结：对丝网印刷后的硅片进行烧结，得到高转换效率SE-PERC太阳能电池。


2.根据权利要求1所述的一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤1）中制绒后硅片减重为0.3-0.7g，硅片反射率为9-13%。


3.根据权利要求1所述的一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤2）磷扩散后硅片方阻为90-150Ω/□，结深为10-100nm；步骤3）激光重掺杂后硅片的方阻为50-80Ω/□。


4.根据权利要求1所述的一种高转换效率SE-PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，步骤4）氧化的步骤包括：

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，陈健生，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33