一种红外带通滤波器制造技术

本发明专利技术涉及一种红外带通滤波器，红外带通滤波器具有第一多层膜结构，第一多层膜结构包括多个Si:NH层及多个低折射率层，Si:NH层在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5及其消光系数小于0.0002；多个低折射率层与多个Si:NH层相互堆叠，低折射率层在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小于3；其中Si:NH层的折射率与低折射率层的折射率的差值大于0.5。本发明专利技术的红外带通滤波器具有800nm与1100nm的波长范围内的通带，在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度小于12nm，本发明专利技术的红外带通滤波器应用于三维成像系统时可提升三维影像解析能力。

An infrared band-pass filter

【技术实现步骤摘要】
一种红外带通滤波器
本专利技术涉及一种光学滤波的
，尤其涉及一种红外带通滤波器。
技术介绍
目前红外带通滤波器是将于光学基板的一表面形成多层膜结构，其另一表面形成多层抗反射层，多层膜结构通过多个高折射率层及多个低折射率层交互沉积而成，一般高折射率层的材料选用Ti3O5、Ta2O5、ZrO2、Nb2O5及TiO2中的一者，一般低折射率层的材料选用MgF2及SiO2中的一者。红外带通滤波器具有在800nm与1100nm的波长范围内的通带，在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度为31nm与34nm之间，如此角度改变时通带的中心波长偏移较大，导致红外带通滤波器应用于三维成像系统，于大角度收光时发生无法识别或识别失败的问题。
技术实现思路
针对现有技术中的不足，本专利技术的目的是提供一种红外带通滤波器。为了解决上述技术问题，本专利技术揭示了一种红外带通滤波器，其具有第一多层膜结构，第一多层膜结构包括：多个Si:NH层，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5及其消光系数小于0.0002；以及多个低折射率层，其与多个Si:NH层相互堆叠，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小於3；其中Si:NH层的折射率与低折射率层的折射率的差值大于0.5。根据本专利技术的一实施方式，上述红外带通滤波器更包括基板，基板设置于第一多层膜结构。根据本专利技术的一实施方式，上述红外带通滤波器更包括第二多层膜结构，第二多层膜结构设置于基板，并与第一多层膜结构相对。根据本专利技术的一实施方式，上述第二多层膜结构包括：多个Si:NH层，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5及其消光系数小于0.0002；以及多个低折射率层，其与多个所述Si:NH层相互堆叠，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小於3；其中所述Si:NH层的折射率与所述低折射率层的折射率的差值大于0.5。根据本专利技术的一实施方式，上述红外带通滤波器具有与800nm至1100nm的波长范围部份重叠的通带，所述通带的中心波长位于800nm与1100nm的波长范围内，所述通带外具有在400nm至1100nm的波长范围内大于OD5的阻挡位凖。根据本专利技术的一实施方式，上述红外带通滤波器具有与800nm至1100nm的波长范围部份重叠的通带，通带的中心波长位于800nm与1100nm的波长范围内。根据本专利技术的一实施方式，上述在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度小于12nm。根据本专利技术的一实施方式，上述Si:NH层的层数与低折射率层的层数的总和小于39层。根据本专利技术的一实施方式，上述多个Si:NH层及多个低折射率层的总厚度小于4.5um。根据本专利技术的一实施方式，上述红外带通滤波器的硬度大于莫氏硬度7。根据本专利技术的一实施方式，上述低折射率层的材料选自SiO2、Al2O3、TiO2、Nb2O5、Ta2O5、SiOH及SiNOH中一者。根据本专利技术的一实施方式，上述低折射率层的材料为SiO2，低折射率层在800nm至1100nm的波长范围内的折射率介于1.4与1.5之间。根据本专利技术的一实施方式，上述在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度小于11.8nm。根据本专利技术的一实施方式，上述低折射率层的材料为SiNOH，低折射率层在800nm至1100nm的波长范围内的折射率介于1.5与2之间。根据本专利技术的一实施方式，上述在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度小于11.1nm。根据本专利技术的一实施方式，上述红外带通滤波器的硬度大于莫氏硬度9。根据本专利技术的一实施方式，上述Si:NH层在800nm至1100nm的波长范围内的消光系数小于0.00012。根据本专利技术的一实施方式，上述通带在800nm至1100nm的波长范围内的透射率大于90％。与现有技术相比，本专利技术可以获得包括以下技术效果：本专利技术提供一种红外带通滤波器，本专利技术的红外带通滤波器通过Si:NH层与低折射率层交互堆叠形成，其具有800nm与1100nm的波长范围内的通带，在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度小于12nm，本专利技术的红外带通滤波器应用于三维成像系统时可提升三维影像解析能力。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1是本专利技术第一实施例的红外带通滤波器的示意图。图2是本专利技术第一实施例的Si:NH层的透射光谱的曲线图。图3是本专利技术第一实施例的红外带通滤波器在0度及30度的入射角下的透射光谱的曲线图。图4是本专利技术第二实施例的红外带通滤波器的示意图。图5是本专利技术第二实施例的第一多层膜结构在0度及30度的入射角下的透射光谱的曲线图。图6是本专利技术第二实施例的第二多层膜结构在0度及30度的入射角下的透射光谱的曲线图。图7是本专利技术第二实施例的红外带通滤波器在0度及30度的入射角下之透射光谱的曲线图。具体实施方式以下将以揭露本专利技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本专利技术。也就是说，在本专利技术的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。关于本文中所使用之“第一”、“第二”等，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本专利技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已。请参阅图1，其是本专利技术第一实施例的红外带通滤波器的示意图；如图所示，本实施例提供一种应用于三维成像系统的红外带通滤波器1，红外带通滤波器1具有第一多层膜结构11，第一多层膜结构11包括多个Si:NH层111及多个低折射率层112，多个低折射率层112与多个Si:NH层111相互堆叠。Si:NH层111在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5，其消光系数小于0.0002，其消光系数更能小于0.00012。低折射率层112在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小于3。Si:NH层111的折射率与低折射率层112的折射率的差值大于0.5。本实施例的Si:NH层111的层数与低折射率层112的层数的总和小于39层。多个Si:NH层111及多个低折射率层112的总厚度小于4.5um。本实施例的红外带通滤波器1具有与800nm至1100nm的波长范围部份重叠的通带，通带的中心波长位于800nm与1100nm的波长范围内。在入射角从0度改变至30度时，通带的中心波长的偏移幅度小于12nm。通带在800nm至1100nm的波长范围内的透射率大于90％。本实施例的红外带通滤波器1的硬度大于莫氏硬度7。本实施例的红外带通滤波器1的大角度的中心波长偏移较小能有效解决三维影像解析的问题。同时本实施例的红外带通滤波器1的厚度较现有技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外带通滤波器，其具有第一多层膜结构，其特征在于，所述第一多层膜结构包括：/n多个Si:NH层，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5及其消光系数小于0.0002；以及/n多个低折射率层，其与多个所述Si:NH层相互堆叠，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小於3；/n其中所述Si:NH层的折射率与所述低折射率层的折射率的差值大于0.5。/n

【技术特征摘要】
1.一种红外带通滤波器，其具有第一多层膜结构，其特征在于，所述第一多层膜结构包括：
多个Si:NH层，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5及其消光系数小于0.0002；以及
多个低折射率层，其与多个所述Si:NH层相互堆叠，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小於3；
其中所述Si:NH层的折射率与所述低折射率层的折射率的差值大于0.5。


2.根据权利要求1所述的红外带通滤波器，其特征在于，更包括基板，所述基板设置于所述第一多层膜结构。


3.根据权利要求2所述的红外带通滤波器，其特征在于，更包括第二多层膜结构，所述第二多层膜结构设置于所述基板，并与所述第一多层膜结构相对。


4.根据权利要求3所述的红外带通滤波器，其特征在于，所述第二多层膜结构包括：
多个Si:NH层，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率大于3.5及其消光系数小于0.0002；以及
多个低折射率层，其与多个所述Si:NH层相互堆叠，其在800nm至1100nm的波长范围内的折射率小於3；
其中所述Si:NH层的折射率与所述低折射率层的折射率的差值大于0.5。


5.根据权利要求3所述的红外带通滤波器，其特征在于，所述红外带通滤波器具有与800nm至1100nm的波长范围部份重叠的通带，所述通带的中心波长位于800nm与1100nm的波长范围内，所述通带外具有在400nm至1100nm的波长范围内大于OD5的阻挡位凖。


6.根据权利要求1所述的红外带通滤波器，其特征在于，所述红外带通滤波器具有与800nm至1100nm的波长范围部份重叠的通带，所述通带的中心波长位于800nm与1100nm的波长范围内。


7.根据权利要求6所述的红外带通滤波器，其特征在于，在入射角从0度改变至30度时，所述通带的中心波长的偏移幅度小于1...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆正堂，苏佑敬，
申请(专利权)人：白金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71