滤光器制造技术

技术编号:23341460 阅读:52 留言:0更新日期:2020-02-15 03:17
本公开内容的第一方面公开了一种滤光器,其包括:承载件(102),具有形成于其内的贯通其厚度方向的贯通腔(104);以及滤光膜(106),叠置在所述承载件(102)上并且覆盖所述贯通腔(104)的一个开口,在所述滤光膜上以周期性图案排布有通孔,所述滤光膜(106)以金属玻璃制成。

Optical filter

【技术实现步骤摘要】
滤光器
本公开内容涉及一种滤光器。
技术介绍
金属丝网滤光器是由金属丝网和电介质的叠层来制成的滤光器。作为光路的一部分,它们被用来过滤入射光以允许感兴趣的频率通过,同时反射其他频率的光。金属丝网滤光器具有许多用于电磁频谱的远红外(FIR)和亚毫米波段的应用。像这样的滤光器已用于FIR和亚毫米级天文仪器超过40年,其中它们有两个主要用途:当作为带通或低通滤光器时,被冷却并将多余的热辐射阻挡在观察频带之外,从而降低低温测辐射热计(探测器)的噪声等效功率;当作为带通滤光器时,可用于定义探测器的观察频带。金属丝网滤光器也可以设计成以45°角使用,从而将输入的光信号分到若干个路径上以便观察,或者用作偏振半波片。金属丝网滤波器的滤膜常常被构造成多层结构。构建金属丝网滤光器的多层滤膜通常有两种方法。第一种是将分离的层以层间小间隙的方式悬挂在支撑环中,小间隙填充有空气或处在真空下。然而,这样的滤光器是机械脆弱的。为了补偿滤膜的多层结构的不够高的强度,开发了一种金属丝网滤光器,其中将耐用的SiC或SiN薄膜以金涂覆。然而,这样的金属丝网滤光器仍然本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滤光器,其包括:/n承载件,具有形成于其内的贯通其厚度方向的贯通腔;以及/n滤光膜,叠置在所述承载件上并且覆盖所述贯通腔的一个开口;/n其中所述滤光膜以金属玻璃制成,且在所述滤光膜上以周期性图案排布有通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种滤光器,其包括:
承载件,具有形成于其内的贯通其厚度方向的贯通腔;以及
滤光膜,叠置在所述承载件上并且覆盖所述贯通腔的一个开口;
其中所述滤光膜以金属玻璃制成,且在所述滤光膜上以周期性图案排布有通孔。


2.根据权利要求1所述的滤光器,其特征在于,所述滤光膜是通过极快速冷却,物理气相沉积、电镀、脉冲激光沉积、固态反应、离子辐射和机械合金化的方式来形成的。

【专利技术属性】
技术研发人员:林育菁
申请(专利权)人:歌尔股份有限公司
类型:发明
国别省市:山东;37

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