【技术实现步骤摘要】
干涉测量波度检测系统优先权声明本申请要求在2018年8月7日提交的题为“InterferometricWavinessDetectionSystem”的共同拥有的美国临时专利申请序列号62/715,783的优先权和权益，该美国临时专利申请的全部内容通过引用结合于本文中。
本专利技术一般涉及测试和检测平面透明光学元件和显示器的波度（waviness）（表面/折射率不规则性），并且更具体地涉及用于显示器和组装的显示模块的盖玻璃。
技术介绍
平板显示器的波度是用于提供对层压过程控制的洞察和用于提供最终产品质量指示的重要参数。显示模块具有绝对平坦度质量变得越来越重要。特别是在以特定角度观察的情况下，相应的用户可以看到任何不规则图案（波度）。不规则图案将因此降低用户体验。本文中提供的背景描述是用于一般性地呈现本公开的上下文的目的。就在此背景部分中描述的程度上目前署名的专利技术人的工作以及在申请时原本可能不适合作为现有技术的描述的各方面既不明确地也不暗示地被承认为针对本公开的现有技术。正是在这种背景下出现...
【技术保护点】
1.一种干涉仪检测系统，包括：/n分束器，被配置为接收准直光信号并将准直光信号分成沿第一路径行进的第一光信号和沿第二路径行进的第二光信号；/n第一镜，被配置为沿第一路径接收和反射第一光信号；/n第二镜，被配置为经由透明材料沿第二路径接收和反射第二光信号，所述透明材料沿着分束器和第二镜之间的第二路径定位；和/n2D光传感器阵列，被配置为从分束器接收与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号合并的沿着第一路径的反射的第一光信号，并产生干涉条纹图案，/n其中，非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的几何变化。/n
【技术特征摘要】
20180807 US 62/715783;20181217 US 16/2226361.一种干涉仪检测系统，包括：
分束器，被配置为接收准直光信号并将准直光信号分成沿第一路径行进的第一光信号和沿第二路径行进的第二光信号；
第一镜，被配置为沿第一路径接收和反射第一光信号；
第二镜，被配置为经由透明材料沿第二路径接收和反射第二光信号，所述透明材料沿着分束器和第二镜之间的第二路径定位；和
2D光传感器阵列，被配置为从分束器接收与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号合并的沿着第一路径的反射的第一光信号，并产生干涉条纹图案，
其中，非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的几何变化。
2.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述第一镜和所述分束器之间沿着所述第一路径的第一距离等于所述第二镜和所述分束器之间沿着所述第二路径的第二距离。
3.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的相位变化是由透明材料的厚度变化或跨透明材料的折射本领的变化引起的。
4.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述透明材料包括用于显示模块的盖玻璃。
5.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述第二光信号在从所述第二镜反射离开之前从所述分束器行进并穿过所述透明材料，并且在到达所述分束器之前双程通过所述透明材料。
6.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的相位变化由干涉条纹图案中多于一个峰或谷来指示。
7.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述透明材料的平面与所述镜的平面不平行。
8.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中所述透明材料的平面平行于所述镜的平面。
9.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述透明材料沿着所述第二路径放置在所述分束器和所述第二镜之间的任何点处。
10.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，正弦干涉条纹图案指示沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿着第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的相位没有异常变化。
11.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，进一步包括：
产生光信号的光源，所述光信号被准直以产生准直光信号。
12.一种干涉仪检测系统，包括：
分束器，用于接收具有第一线偏振的...
【专利技术属性】
技术研发人员：S金，Y程，
申请(专利权)人：金宝电子印第安纳公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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